xujia008 |
2008-07-01 21:51 |
基于X-Ray LIGA工艺的三维针状结构的多种制造方法
MEMS的课程论文,写得比较认真,希望对大家有用^_^ 传上来挣点分…… IG / $!*E [a8+( 本文主要对具有代表性的三维结构——针形阵列的多种制造工艺作出介绍。包括: d]M[C[TOX 1、移动掩模深X射线光刻(Moving mask deep X-ray lithography,M2DXL)技术 c)1=U_6 1 2、改变X射线入射方向的二次曝光方法 H,>#|F 3、水平型正交横截面技术(Plane-pattern to cross section transfer,PCT) K~>jApZ% 4、X射线灰色掩模技术 AQci,j" 并对最新的制造方法:X射线灰色掩模(X-ray gray mask)光刻技术做详细介绍。
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