非线性光学晶体的种类和应用
非线性光学晶体分类、特性与行业应用。非线性晶体核心作用:倍频 SHG、三倍频 THG、四倍频 FHG、和频 SFG、差频 DFG、OPO 光参量振荡、电光调 Q,按透光波段分为:紫外 / 深紫外、可见光 - 近红外、中红外三大类,是全固态激光器波长变换核心材料。 [attachment=135614] Y}q~Km 一、紫外 & 深紫外非线性晶体(190~400 nm,光刻、紫外精密加工) </5 1. KDP / DKDP(KD₂PO₄) yA*U^:% ·透光:170 nm~2.5 μm ,afO\oe>MG ·特点:易做大口径单晶、损伤阈值极高、可电光调 Q + 非线性两用;潮解 "+`u ] ·应用:大功率 Nd:YAG 三倍频 355 nm、大型激光装置(神光)倍频元件、普克尔盒电光 Q 开关 ^r(]S% 2. BBO β-BaB₂O₄ 偏硼酸钡 v$JW7CKA ·透光:198 nm~3.5 μm z?VjlA(X ·特点:非线性系数大、可做到 266 nm 四倍频,走离偏大、温度敏感 U7g,@/Qx ·应用:1064→266 nm 深紫外、飞秒激光变频、OPO、染料泵浦源、科研超快光路 P|lDW|}D@ 3. LBO LiB₃O₅ 三硼酸锂 N7}3?wS ·透光:160 nm~2.6 μm =;Co0Q` ·特点:走离小、吸收低、损伤阈值高、不潮解;不能做到 266 nm UA]T7r@ ·应用:工业 532 绿光、355 紫外量产首选,全固态打标机标配倍频晶体,呈欣光电针对LBO量产需求配套标准化定向抛光工艺,稳定控制走离角与表面损耗 <-G3Qgm 4. CLBO CsLiB₆O₁₀ 铯锂硼酸盐 2ve<1+V_ ·透光:180 nm 以上,可实现 193 nm、248 nm DUV #cW:04 ·应用:193nm 准分子固体替代光源、深紫外科研、半导体微加工 'L9hM.+ 5. KBBF(氟代硼铍酸钾,深紫外标杆) 0Krh35R_)F ·唯一可直接倍频获得177.3 nm 深紫外实用晶体 eLgq
) ·应用:深紫外角分辨光电子能谱、超高分辨光谱仪、前沿科研光源 *<[\|L:#]Z 二、可见光~近红外非线性晶体(400 nm~2.5 μm,工业激光主流) TXV^f* 1. KTP KTiOPO₄ 磷酸钛氧钾 <s|.2~ ·透光:350 nm~4.5 μm R- ,L"Vv ·优点:不潮解、机械好、非线性适中、工艺成熟、性价比最高 (]&B'1b ·应用:1064→532 小功率绿光、腔内倍频绿光激光器、电光调制、光波导 3,*A VcQA 注:KTP 无法做 355 紫外。 :f_oN3F p 2. RTP RbTiOPO₄ 铷钛氧磷 B Nb_i H ·电光性能优于 KTP,高压电光调 Q、高速偏振开关,多用于高精度固体激光 M0)0~#?.D 三、中远红外非线性晶体(2~16 μm,红外探测、激光雷达、光电对抗) ^'Rs`e 1. ZnGeP₂ 磷锗锌(ZGP) >\J<` ·透光:2~13 μm,红外非线性系数极大 3fZoF`<a ·应用:2~5 μm 中红外 OPO、军工红外干扰、气体红外光谱检测 $[Nf?`f(t_ 2. AgGaS₂ / AgGaSe₂ 硫银镓、硒银镓 O7.eq524 ·透光:0.5~12 μm,可由 1064 泵浦产生 3~10 μm 红外 ''! j:49 ·应用:红外 OPO、环境红外遥感、激光气体检测 >zw@!1{1 3. GaSe 硒化镓 dN:^RCFzS ·中远红外差频、THz 太赫兹非线性变频,科研实验室常用[attachment=135615] vgg)f~ 四、按功能细分应用场景 =`N 0 1)工业激光(占最大用量) ePaC8sd0 ·绿光 532nm:Nd:YVO₄+KTP/LBO → 玉石雕刻、绿光打标 3A~<|<}t ·紫外 355nm:1064+LBO+LBO → PCB 打码、玻璃 / 晶圆冷加工 55] MRv ·266nm 深紫外:1064+BBO → 高端微电子钻孔、科研 OR'e!{ 2)科研 & 超快光学 MU `!sb* BBO、LBO、KTP 用于 Ti:Sapphire 飞秒激光变频、OPO 连续可调谐光源(400nm~4μm 全覆盖)、泵浦探测系统。 [0kZyjCq@ 3)军工与安防 E&Lml?@ DKDP 大口径用于高能激光系统;ZGP/AgGaSe₂中红外 OPO 用于红外诱饵、大气探测、激光测距。 k.)YFKi 4)医疗激光 $$Ibr]$5 532nm 绿激光(KTP 倍频):眼科、泌尿微创手术;2μm 晶体 + 红外非线性:微创医美、组织切割。 5
/oW/2" 不同使用波段与功率等级对晶体切割角度、镀膜膜系要求差异较大,呈欣光电可根据光路指标匹配对应非线性晶体加工方案。 >Lo'H}[pF 五、选型 -!M>;M@ 1. 量产 532/355 工业机 → LBO r9b(d] 2. 低成本小功率绿光 → KTP @ <4 U & 3. 需要 266nm 四倍频 → BBO h. 4#C}> ) 4. 大型高能装置倍频、电光调 Q → DKDP pa?AKj] 5. 中红外 2~10μm 可调光源 → ZGP、AgGaSe₂
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