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nailiang 2026-07-16 13:53

zns表面破损/脱膜

使用阻蒸在GE基底镀一层ZNS的单层膜，镀膜温度170℃。 6FI`0j=~  
超声清洗后对ZNS膜层进行检测，发现存在白点和破损（如图），尺寸都是um量级。 ,6\oT;G  
m3b?f B  
对白点进行了成分分析，是ZNS膜料。破损是什么原因造成的？破损的位置是否是大颗粒的ZNS点在超声过程中脱膜导致？如何改善？ NEMC  
[attachment=135511] <d hBO  
飞奔的牛 2026-07-17 14:24
emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 w3oe.hWP3N  
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 (<5&<JC{  
nailiang 2026-07-17 15:33
飞奔的牛:emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 |G]M"3^  
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 at `\7YfQp  
 (2026-07-17 14:24)  !;^TW$ G  
#>\+6W17U  
底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 ,t_Fo-i7vI  
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 -{XXU)Z  
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善 KFMEY\6\h  
/_*L8b  
飞奔的牛 2026-07-20 14:01
nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 ]+B#SIC;  
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 \;>idbV  
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善 A,T3%TE  
....... (2026-07-17 15:33)  -l!;PV S|  
?*Kewj  
调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法： 3Yd)Fm  
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少 T?+xx^wYk  
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料 huau(s0um  
3.降低速率，防止蒸发过快 F*_mHYa;  
前两条没试过，最后一条刚验证，确实可以减少这种节瘤缺陷 b)A$lP%`  
你可以先验证一下，或者有其他思路也可以说一下，咱们一起验证
nailiang 2026-07-30 13:44
飞奔的牛:调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法： %cD7}o:u  
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少 '$M=H.  
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料 "~4ULl< i'  
3.降低速率，防止蒸发过快 $+sNjwv^F  
....... (2026-07-20 14:01)  \HDRr*KO  
EM*YN=So  
我们之前用过方形的ZNS料，在底部排布的稍微规则一些，但是做出来的产品良率也没有明显提升。你说的压成块的硫化锌，意思是在舟底部一整块吗？那膜料的内外温度岂不是差异挺大
飞奔的牛 2026-08-03 15:12
nailiang:我们之前用过方形的ZNS料，在底部排布的稍微规则一些，但是做出来的产品良率也没有明显提升。你说的压成块的硫化锌，意思是在舟底部一整块吗？那膜料的内外温度岂不是差异挺大 (2026-07-30 13:44)  j ij:}.d6  
ekfD+X  
你说的温度差，我觉得可以调整镀膜前预熔时间。 5A /G?  
这个缺陷，我在单镀ZNS层出现的，我感觉在蒸发过程中产生的，如：蒸发溅射，蒸发的速率曲线，蒸发的分子附着不规整，基底温度的不均匀，腔体环境，物料的洁净度，这些都有可能，但是不知道怎么去验证，每一锅的机台状态又不一样。
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