α-BBOGlan-laser Polarizer的设计和选型

格兰激光棱镜偏振镜由两个相同的双折射材料棱镜制成。 格兰激光棱镜偏振镜是格兰泰勒（Glan Taylor）型的改进，旨在减少棱镜界面处的反射损耗。 具有两个逸出窗口的偏振器允许被截止的光束从偏振器中逸出，这使其更适合于高能激光器。逸出窗口的表面质量与入射面和出射面相比，相对低一级。α-BBO Glan-Laser 格兰激光偏振棱镜 .?u<|4jE6  
[attachment=135225] RL}?.'!  
一、设计原理 #&.Znk:@.f  
1. 晶体属性 >J;TtNE:  
α-BBO 负单轴晶体，，透光190~3500nm，适配 193/266/355nm 紫外激光，双折射大、偏振性能优异。 ]$g07 7o  
2. 结构形式 ~|"Vl<9  
两块等腰直角 α-BBO 棱镜斜面贴合，光轴相互平行，垂直端面入射。 <,:{Q75
  
3. 分光滤光原理 =K:[26  
自然光分解为 o 光、e 光；利用全反射临界角设计，o 光斜面全反射被滤除，仅 e 光直线透射输出高纯线偏振光。 atZe`0  
结构通光截面窄、光程短，专为高功率激光光路设计。 Ovx *  
4. 结构特点 b|
_e):V|  
入射视场角偏小，抗激光损伤能力强，端面反射低，可承受高峰值功率激光。 ?;RY/[IX6  
二、核心设计参数 _WNbuk0  
·工作波段：190~3500nm，190nm 以下无法使用 k[8F: T-  
·消光比：标准，高精款可达 SA'
g`  
·损伤阈值：355nm 约，同材质里抗损最优 |pHlBzHj  
·视场角：典型 ±3°~±5°，窄角度入射适配 P6_Hz!vE  
·面形精度：常规，精密光路 7>f2P!:  
·贴合工艺 K#k/t"r  
光胶：无胶层，高功率、紫外光路标配，无吸收老化 `i.fm1I]  
胶合：仅 400nm 以上低功率场景使用 u43Mo\"<&%  
·通光孔径：常规 Φ6/8/10/15mm，光束预留 1.2 倍余量 K\ Wzh;  
三、同系列棱镜对比

#r9\.NA!   类型	]0'cdC   波段	(^W}uDPCB   损伤阈值	n=j)M   视场角	{3KY:%6qj   适用定位
0fstEExw   α-BBO 格兰激光	f-#:3k*7S   190~3500nm	U;3t{~Ym   最高	f~l pa7   小	#NyO'   高功率窄束激光起偏检偏
Ngx2N<$<*g   α-BBO 格兰汤普森	\V'fB5   190~3500nm	zU[o_[+7^   中等	}{+?>!qDt   大	pGU.+[|(   大光斑、广角检测光路
/*gs]   MgF₂格兰激光	\x$`/   110~7000nm	5vD\?,f E   极高	U$DZht4>u   偏小	fqbWD)L]   190nm 以下深紫外超高功率
\="U|LzG   石英格兰棱镜	]LsT   200~2300nm	Xqe Qj}2kA   偏低	~:,}?9   中等	k"7ZA>5jk   低成本常规偏振光路

=ZoNkj/^,  
四、核心光学参数（福州呈欣光电有限公司） 3,Z;J5VL4!  
  福州呈欣光电标准型号：GLP60系列 `B&E?x  
·波长范围：190–3500 nm（覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm） V4u4{wU]  
·消光比：<5×10⁻⁶（典型 10⁻⁶，200,000:1） {8":cn j  
·半视场角：＞6° VWd`06'BN'  
·e 光透过率 Tp：>95%（镀膜后） %q r,Ssa/  
·损伤阈值（脉冲）：>500 MW/cm² @1064   nm, 20 ns d|87;;X|u  
·损伤阈值（CW）：>100 W/cm² @1064   nm 2T%sHp~qt  
·波前畸变：<λ/4 @633 nm（Laser 级） V*?QZ;hCP  
·光束偏移：<3 arcmin l`6.(6  
·表面质量：20/10 S-D AD!w:jT
9  
五、主要应用场景 irw5<l  
1. 高功率紫外激光系统 1foG*  
倍频、和频、激光刻蚀、精密打标，腔内偏振锁定与光束净化。 *>2FcoN;  
2. 半导体高端检测 LB.B w  
光刻光路、掩模精密检测、激光散射缺陷扫描。 lV3k4iRH  
3. 非线性光学实验 %Y/;jCY  
偏振选频、光参量振荡、强光偏振控制。 .`u8(S+  
4. 激光测距与精密干涉 S+Ia2O)BA  
抑制偏振杂光，提升测量稳定性与精度。 X16O9qsh  
5. 激光隔离防护光路 1DU l<&4  
阻挡反向回光，保护激光器谐振腔。 $\k)Y(&  
六、选型准则 "`S?q G  
1. 波长＜190nm，更换 MgF₂格兰激光棱镜 1f"}]MbLR  
2. 高峰值功率、窄光束优先选用本型号 7[L%j;)bw  
3. 紫外强光工况必须选用光胶结构 ]4')H;'y  
4. 大光斑、大角度入射改用格兰汤普森型 SY.koW  
5. 匹配对应波段增透镀膜，降低端面反射损耗