α-BBOGlan-laser Polarizer的设计和选型
格兰激光棱镜偏振镜由两个相同的双折射材料棱镜制成。 格兰激光棱镜偏振镜是格兰泰勒(Glan Taylor)型的改进,旨在减少棱镜界面处的反射损耗。 具有两个逸出窗口的偏振器允许被截止的光束从偏振器中逸出,这使其更适合于高能激光器。逸出窗口的表面质量与入射面和出射面相比,相对低一级。α-BBO Glan-Laser 格兰激光偏振棱镜 PCFm@S@Q [attachment=135225] D}_\oE/n 一、设计原理 BgE]xm 1. 晶体属性 O'p7^"M α-BBO 负单轴晶体,,透光190~3500nm,适配 193/266/355nm 紫外激光,双折射大、偏振性能优异。 %i^%D 2. 结构形式 vF*H5\ m<a 两块等腰直角 α-BBO 棱镜斜面贴合,光轴相互平行,垂直端面入射。 5v?6J#]2 3. 分光滤光原理 jsL'O;K/ 自然光分解为 o 光、e 光;利用全反射临界角设计,o 光斜面全反射被滤除,仅 e 光直线透射输出高纯线偏振光。 z~X] v["d 结构通光截面窄、光程短,专为高功率激光光路设计。
r_o2d 8 4. 结构特点 7&+Gv6E 入射视场角偏小,抗激光损伤能力强,端面反射低,可承受高峰值功率激光。 .Wb), 二、核心设计参数 AU
>d1S. ·工作波段:190~3500nm,190nm 以下无法使用 9,F(f}(t ·消光比:标准,高精款可达 'r'uR5jR ·损伤阈值:355nm 约,同材质里抗损最优 *FqNzly ·视场角:典型 ±3°~±5°,窄角度入射适配 ,;{mH]"s ·面形精度:常规,精密光路 z? cRsqf ·贴合工艺 (apAUIE 光胶:无胶层,高功率、紫外光路标配,无吸收老化 |"ck;.) 胶合:仅 400nm 以上低功率场景使用 2Gx&ECa, ·通光孔径:常规 Φ6/8/10/15mm,光束预留 1.2 倍余量 NW~n+uk5v 三、同系列棱镜对比 eZf-i1lJ 四、核心光学参数(福州呈欣光电有限公司) Kf(% aDYq 福州呈欣光电标准型号:GLP60系列 9t;aJFI ·波长范围:190–3500 nm(覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm) Lw-)ijBW ·消光比:<5×10⁻⁶(典型 10⁻⁶,200,000:1) EjvxfqPv ·半视场角:>6° hcM 0?= ·e 光透过率 Tp:>95%(镀膜后) e}aD<EG ·损伤阈值(脉冲):>500 MW/cm² @1064 nm, 20 ns Px)VDs=k ·损伤阈值(CW):>100 W/cm² @1064 nm KLbP;:sr ·波前畸变:<λ/4 @633 nm(Laser 级) ?EKYKLwr ·光束偏移:<3 arcmin p2tBF98 ·表面质量:20/10 S-D %#"uK:(N 五、主要应用场景 6nxf<1 1. 高功率紫外激光系统 Lt=#tu&d 倍频、和频、激光刻蚀、精密打标,腔内偏振锁定与光束净化。 nuXaZRH 2. 半导体高端检测 ou@Dd4 光刻光路、掩模精密检测、激光散射缺陷扫描。 ,]Hn*\@p[c 3. 非线性光学实验 Lv#DIQ8y 偏振选频、光参量振荡、强光偏振控制。 DUY#RJf 4. 激光测距与精密干涉 {s4:V=J 抑制偏振杂光,提升测量稳定性与精度。 G4ZeO:r 5. 激光隔离防护光路 l6a,:*_ 阻挡反向回光,保护激光器谐振腔。 hX~IZ((Hi8 六、选型准则 B*,9{ g0m/ 1. 波长<190nm,更换 MgF₂格兰激光棱镜 MNkysB( 2. 高峰值功率、窄光束优先选用本型号 R1A!ob 3. 紫外强光工况必须选用光胶结构 5GC{)#4 4. 大光斑、大角度入射改用格兰汤普森型 jr'O4bo% 5. 匹配对应波段增透镀膜,降低端面反射损耗
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