α-BBOGlan Thompson Polarizer的设计和选型

格兰汤普森偏振器由两个α-BBO棱镜粘合而成。 有两种类型的格兰汤普森。 一种是标准格式，另一种是长格式。 它们的长度与孔径之比分别为2.5：1和3.0：1。 格兰汤普森棱镜的消光比往往比空偏光片高。 在紫外线光谱中，它们的传输受到双折射材料以及胶层吸收的限制。 α-BBO偏振器可以在约190-900nm范围内使用。α-BBO Glan-Thompson Polarizer的设计和选型。 k2xjcrg  
一、设计原理 U*-%V$3+w5  
1. 晶体基础 ]|-y[iu  
α-BBO 为负单轴晶体，透光范围190~3500nm，覆盖深紫外、可见光、近红外，双折射大，偏振分离能力强。 '8dqJ`Gj  
2. 结构构成 "$WZd  
由两块直角梯形 α-BBO 棱镜斜面贴合组成，两晶体光轴平行排布，光线垂直入射端面。 |_O1V{Q=  
[attachment=135207] S`NH6?/uH  
3. 工作机理 *6uiOtH  
入射自然光分解为 o 光、e 光；o 光在斜面发生全内反射被滤除，e 光直线透射输出，得到高纯度线偏振光。 zP5HTEz  
相较于格兰激光棱镜，通光口径更大、视场角更广，结构紧凑。 +'[iyHBJ  
4. 关键判定条件 *bR _ C"-  
依托临界角原理，设计斜面倾角大于 o 光临界入射角，实现杂偏振彻底拦截，保障出射偏振纯度。 Wjj'yqBO^  
二、核心设计参数 [\I\).  
·适用波段：190~3500nm，适配 193/266/355nm 紫外激光，低于 190nm 无法使用 h322^24-2  
·消光比：常规，精密级可达 Q 5Ln'La$  
·损伤阈值：355nm 约，耐受中高功率紫外激光 vZ*593C8  
·视场角：典型 ±8°~±12°，广角入射兼容性好 f1Rm9
``  
·面形精度：常规，精密检测选用 c^m}ep\F5L  
·拼接工艺 9;:
Lf  
光胶：无胶层，紫外、高功率场景首选，无吸收老化 -`rz[";n  
胶合：低成本，仅用于 400nm 以上低功率光路 ,\Cy'TSz  
·通光孔径：常用 Φ6/8/10/15/20mm，选型预留光束 1.2~1.5 倍余量 ]Fa VKC~3  
二、同类格兰棱镜对比 9D&ocV3QV
 
|`,%%p|T%  

f}o`3v*z   品类	_v_ak4m>   透光区间	XrYz[h*)!   消光比	c: _l+CgeH   损伤阈值	m,-:(82   视场角	 M*%iMz   适用特点
*`|F?wF   α-BBO 格兰汤普森	:c c#e&BO   190~3500nm	b8>rUGA{   高	kGCd!$fsk   较高	!)ee{CwNc   大口径、广角	< =sO@0(<   偏振起偏检偏、大光斑光路
mhh8<BI   α-BBO 格兰激光	^G=s<pp   190~3500nm	Dk/;`sXV   高	ZE4~rq/W   更高	3. Kh   偏小	zxXm9zrLo   超高功率窄光束激光
$n!saPpxS   石英格兰棱镜	IEHAPt'   200~2300nm	&d=j_9    中等	|_Z(}% <o   偏低	m\[r6t]V   中等	.#P'NF(5#   经济型常规偏振光路
Hcuvu[)T"   MgF₂格兰棱镜	{Dqf.w>t   110~7000nm	h8Kri}z;M   高	,LX]   极高	/qEoiL###   中等	v-EcJj%   极深紫外超高功率场景

B xq(+^T  
四、核心光学参数（福州呈欣光电有限公司） iq
=<L
Ox  
  福州呈欣光电标准型号：GMP60系列 *RivZ c9;P  
·波长范围：190–3500 nm（覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm） Fd9ypZs  
·消光比：<5×10⁻⁶（典型 10⁻⁶，200,000:1） YrFB~z.V  
·半视场角：＞15° 3 rV)
JA  
·e 光透过率 Tp：>95%（镀膜后） Fep#Pw1  
·损伤阈值（脉冲）：>500 MW/cm² @1064   nm, 20 ns o{lR_  
·损伤阈值（CW）：>100 W/cm² @1064   nm l>Z"y\l=  
·波前畸变：<λ/4 @633 nm（Laser 级） "I}3*s9Q-  
·光束偏移：<3 arcmin i_Ab0vye  
·表面质量：20/10 S-D pq*W;6(-  
五、典型应用场景 0
DV .1  
1. 深紫外激光系统 I4,C-D  
紫外打标、刻蚀、倍频光路，作为起偏、检偏核心元件，规整光束偏振态。 ]:8:|*w  
2. 半导体光学检测 Rra<MOR  
晶圆缺陷检测、掩模校验、薄膜椭偏测量，高消光比规避杂光干扰。 d@JjqE[  
3. 精密光谱与干涉仪器 QGs\af  
偏振光谱分析、激光干涉测量，保证检测信号稳定性与精度。 }$?xwcPU  
4. 科研光学实验 S2'./!3yv  
非线性光学、偏振调控实验，获取高纯线偏振光源。 qlNK }  
5. 光学成像设备 ssUWr=mD  
偏振成像、形貌扫描，过滤无效偏振光，提升画面对比度。 :>c33X
}  
六、选型要点 ZkSlztL)Tr  
1. 工作波长＜190nm，替换为 MgF₂材质棱镜 :=C-P7  
2. 大光斑、大角度入射光路，优先选格兰汤普森结构 K1Snag  
3. 高功率紫外工况，必须采用光胶贴合工艺 V)
mitRaV  
4. 按需匹配波段增透膜，降低反射损耗 %77v'Pz1  
5. 窄光束超高功率场景，改用格兰激光型更适配