α-BBOGlan Thompson Polarizer的设计和选型

格兰汤普森偏振器由两个α-BBO棱镜粘合而成。 有两种类型的格兰汤普森。 一种是标准格式，另一种是长格式。 它们的长度与孔径之比分别为2.5：1和3.0：1。 格兰汤普森棱镜的消光比往往比空偏光片高。 在紫外线光谱中，它们的传输受到双折射材料以及胶层吸收的限制。 α-BBO偏振器可以在约190-900nm范围内使用。α-BBO Glan-Thompson Polarizer的设计和选型。 A J"/T+g_  
一、设计原理 O\KSPy7YQ  
1. 晶体基础 ~6-6aYhe  
α-BBO 为负单轴晶体，透光范围190~3500nm，覆盖深紫外、可见光、近红外，双折射大，偏振分离能力强。 vQIN#;m4  
2. 结构构成 2rJe
ON  
由两块直角梯形 α-BBO 棱镜斜面贴合组成，两晶体光轴平行排布，光线垂直入射端面。 SebJ}P1x  
[attachment=135207] I`8jJpGA  
3. 工作机理 B!zqvShF  
入射自然光分解为 o 光、e 光；o 光在斜面发生全内反射被滤除，e 光直线透射输出，得到高纯度线偏振光。 O)Mf/P'  
相较于格兰激光棱镜，通光口径更大、视场角更广，结构紧凑。 Wx-vWWx*Q  
4. 关键判定条件 @%sr#YqY  
依托临界角原理，设计斜面倾角大于 o 光临界入射角，实现杂偏振彻底拦截，保障出射偏振纯度。 KK4"H]!.  
二、核心设计参数 7JHS8C<]  
·适用波段：190~3500nm，适配 193/266/355nm 紫外激光，低于 190nm 无法使用 JOm6Zc  
·消光比：常规，精密级可达 A/#Xr  
·损伤阈值：355nm 约，耐受中高功率紫外激光 K JX@?
1"  
·视场角：典型 ±8°~±12°，广角入射兼容性好 Z-B b,8  
·面形精度：常规，精密检测选用 y:3d`E4Xw  
·拼接工艺 v9R"dc]0h  
光胶：无胶层，紫外、高功率场景首选，无吸收老化 DRw;.it2  
胶合：低成本，仅用于 400nm 以上低功率光路 !@vM@Z"  
·通光孔径：常用 Φ6/8/10/15/20mm，选型预留光束 1.2~1.5 倍余量 nfbqJ  
二、同类格兰棱镜对比 wz(D }N5  
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gS@*Tv  

t=Um@;wh   品类	a4L0 Itrp   透光区间	C#A\Rfi   消光比	XU19+mW=P   损伤阈值	|U4t 8   视场角	wu2C!gyBo   适用特点
bR;Zc   α-BBO 格兰汤普森	@ dF]X   190~3500nm	qTl/bFD   高	$ZOKB9QccC   较高	}.R].4gT   大口径、广角	~1yMw.04V   偏振起偏检偏、大光斑光路
8K/o/   α-BBO 格兰激光	w(xRL#%   190~3500nm	^,M&PP6   高	/NDuAjp[@   更高	qm&Z_6Pw   偏小	q T pvz   超高功率窄光束激光
:9Vd=M6,   石英格兰棱镜	(s\":5 C   200~2300nm	@~l?hf   中等	_7M!b9oA   偏低	,LHQ@/}A C   中等	njy^<7;   经济型常规偏振光路
+.b@rU6H   MgF₂格兰棱镜	%VCfcM}5I   110~7000nm	#1C~i}J1   高	j_r7oARL   极高	8uO@S*)0   中等	G2,r%|7ta   极深紫外超高功率场景

h1 D#,  
四、核心光学参数（福州呈欣光电有限公司） gAY%VFBP0  
  福州呈欣光电标准型号：GMP60系列 l?/.uNw  
·波长范围：190–3500 nm（覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm） ,OQ!lI_`R  
·消光比：<5×10⁻⁶（典型 10⁻⁶，200,000:1） ~',}]_'oR-  
·半视场角：＞15° kH4
3 T  
·e 光透过率 Tp：>95%（镀膜后） WSY&\8
 
·损伤阈值（脉冲）：>500 MW/cm² @1064   nm, 20 ns 5w#*JK  
·损伤阈值（CW）：>100 W/cm² @1064   nm ;^,2 QsM  
·波前畸变：<λ/4 @633 nm（Laser 级）  yq?_#r  
·光束偏移：<3 arcmin 4#qjRmt  
·表面质量：20/10 S-D P~+?:buqc  
五、典型应用场景 `37GVo4  
1. 深紫外激光系统 [wM<J$=2
 
紫外打标、刻蚀、倍频光路，作为起偏、检偏核心元件，规整光束偏振态。 B9Dh^9?L  
2. 半导体光学检测 / h6(!-"  
晶圆缺陷检测、掩模校验、薄膜椭偏测量，高消光比规避杂光干扰。 1x07ua@(v  
3. 精密光谱与干涉仪器
x,Cc$C~YP  
偏振光谱分析、激光干涉测量，保证检测信号稳定性与精度。 UEq;}4Bo  
4. 科研光学实验 |-zwl8E  
非线性光学、偏振调控实验，获取高纯线偏振光源。 :);]E-ch  
5. 光学成像设备 !k&~|_$0@  
偏振成像、形貌扫描，过滤无效偏振光，提升画面对比度。 @HfWA
FT  
六、选型要点 I~R<}volu  
1. 工作波长＜190nm，替换为 MgF₂材质棱镜 LaZF=<w(  
2. 大光斑、大角度入射光路，优先选格兰汤普森结构 -%=StWdb   
3. 高功率紫外工况，必须采用光胶贴合工艺 {I|k@  
4. 按需匹配波段增透膜，降低反射损耗 ?CS jn  
5. 窄光束超高功率场景，改用格兰激光型更适配