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2026-05-19 15:00 |
非近轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 joKIrS0y OouPj@r
1&;QyTN *_E|@y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 "YdEE\ D`J6h,=2l/ 设计任务 M?b6'd9f Le<wR
.<tquswg OO?]qZa1 光栅级次分析模块设置 W^3uEm&l!) b@3_L4~ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Y6,Rj:8 1]IQg;q
\#o2\!@` 9j W2 将传输函数转换为结构 lEHzyh}2k p.+ho~sC,. 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 $zB[B;-!$ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 fDG0BNLY 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 d*)CT?d& 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 xss`Y,5? %IC73?
+f*OliMD btdb%Q* 衍射分束器表面 "#( T ;<G=M2
~QvqG{bFB []a[v%PkG 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) aK`@6F,]j G$ _yy:
dnV[ P ~T) Q$ 光栅级次和可编程光栅分析仪 el:9 wq 8]&i-VFof
`--TP 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 K&8dA0i2u2 >A@Y$. D#&q&6P{ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 R+&jD;U{ 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ,t\* ZTt$ 设计与评估结果 [s&$l G! - 相位功能设计 5]M>8ll - 结构设计 >yY'7Ey - TEA评价 :n /@z4# - FMM评估 z{Mr$%'EY - 高度标度(公差) UI>Y0O P(t[
eXe 纯相位传输设计 < yC Ur*6Gi6
=m5SK5vLKT vDH>H^9Y 结构设计 X/N0LU(q 'Ysx=
rk)##) ,=l7:n 进一步分析 Z!U)I-x& •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 %;.;>Y(- •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 !qX_I db\ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 sJ]taY ou :O(^w}sle
?s:d[To6 `[C!L *#, 使用TEA进行性能评估 Q'%PNrN C`5
vap,y $C }<dRj 使用FMM进行性能评估 <n(*Xak{a _1U1(^)
?wO-cnl nxr!`^Mne 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 _cu:aktf2 jAud {m*T
9'r:~O y~75r\"R 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 % rxO_ T8^5=/
E8-P"`Qba j\m_o% 4 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 P{u0ftyX} d9q(xZ5
u?9" jX Q:5KZm[ [ VirtualLab Fusion技术 :rg5Kt& *V+j%^91}
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