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2026-04-30 15:21 |
光·学堂｜基于 VirtualLab Fusion 的光学检测与精密成像（光学检测、精 密成像、显微镜系统）
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时间地点 =Qrz|$_rv
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） x3 | 'jmg
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） &v,p_'k
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 Vi WgX.
课程时长：2 天 Ziimz}WHF
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 `@7tWX0
课程讲师：讯技光电工程团队 gN~y6c:N
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) \<**S SN
课程简介： |U
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本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 G>QTPXcD
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 B:cOcd?p
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 c ? XUb[
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 'OCo1|iK~
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 vq1&8=
观成像的一体化软件开发能力。 ;4$C$ r!t
课程大纲： bl_WN|SQ
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 L0tKIpk
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 2]=I'U<E!
⚫ p)xI5,b$9
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 :* b4/qpYv
⚫ VAGMI+ -
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 nD\os[ 3
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 tYZGf xj
⚫ % PbqASm
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ]xEE7H]\h
⚫ ^1=| (Z/
OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 X388Gs; e
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 }c ;um
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 =pyZ^/}P
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 s A-W^*+
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） x =Jn&4q
⚫ &\|<3 sd(
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 <Cu?$
⚫ 9Pk3}f)a
晶圆两侧光栅图案的成像 ?0<INS~
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 /( ju
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 #UCQiQfP
⚫ vx }Z
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 &iy(oM
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ^@L
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显微镜系统的设计 ug CS &
⚫ jI`To%^ Y
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 Ty0 T7D
⚫ W< |K
荧光显微镜的彩色效应分析 m$mY<Q
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 w <>6>w@GZ
⚫ i z>y u[ |
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF 'ag6B(0Z
⚫ .4re0:V
显微镜系统中来自光圈的衍射 |\n)<r_
5. 光学系统的公差分析 4O_+4yS
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 D4O5@K fL
⚫ ^Xy$is3
镜头粗糙度对 PSF 的影响 |;u%JW$4
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 dF11Rj,~ 8
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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