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2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 &gfQZxT
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） e2Dj%=`EU
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） }, H,ky
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 49 D*U5o
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 Qn7 e6u@V
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 `,O^=HBM
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) %/y/,yd
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课程简介： t30V_`eQ
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 60Z)AQs;+J
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 )_ uK(UNZ5
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 s_N!6$tS
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 =9M-N?cV
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 \l~h#1|%;s
础即可参与学习。 &nYmVwi?"Q
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 V SxLBwXf
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， 8V n Z@*
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 =}[V69a
课程大纲： T+fU +GLD
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Q=[&~^ Y)
➢ 光之数字模型平台原理介绍 o0q{:An_Z
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 (|-/S0AV
2. 衍射光学元件设计与优化 dxA=gL2
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 Q.
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➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 s`{O-
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 = FQH
➢ 衍射光学元件分束设计优化 b m^ou#]|
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 9Y(<W_{/
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 !O\r[c
➢ 衍射光学元件加工文件导出 1g @kHq
3. 周期性微纳结构的优化设计 z y.Ok 49
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 I4$a#;
➢ 微透镜阵列仿真 S=o/n4@}
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 _% x|,vo`(
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 C1_NGOv T
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 B :l(`G
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 1\BECP+
4. 超表面微纳结构 Sb<=ROCg @
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 opBv x>S
➢ 超光栅的构建 h )w<{/p(
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 82$^pg>
➢ 设计和分析超透镜 X,p&S^
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 R_lNC]b0
5. 微纳加工工艺方案 7YsFe6D"
➢ 微纳加工完整流程概述 3 . @W.GG8
➢ 灰度曝光/直写技术 5d)G30
➢ 刻蚀类工艺 OS3J,f}<=
➢ 其他辅助工艺 P iN3t]2
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 4CDmq[AVS[
6. 微纳结构的表征 7 >.^G D
➢ 微纳结构面型检测 )2a!EEHz
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第一天 6 D$xG"c
第二天
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 ' _N >
2. 衍射光学元件设计与优化 3vy5JTCz~
3. 周期性微纳结构的优化设计 @sVBG']p
4.超表面微纳结构 h7g9:1 0
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2. 衍射光学元件设计与优化 RvVnVcn^#
3. 周期性微纳结构的优化设计 ?)9 6YX'
5. 微纳加工工艺方案 8gZ5D
6. 微纳结构的表征 Q
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
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