| infotek |
2026-04-30 15:16 |
基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术）
时间地点 gP`!Ml Y@
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） { &<}*4D
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） |,7J!7T(I
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） N{`l?t0I
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室
A5`7 o9
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 #y*=UV|h
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) EIYM0vls(
aW6+Up+G*
课程简介： \Zh)oUH d
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ( Lu.^
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 QhG-1P3#
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 8x9kF]=
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 $HXB !$d
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 z^Jl4V
础即可参与学习。 3'"M31iA
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 wr$}AX
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， xk*3,J6BK
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 V- cuG.
课程大纲： t@u\ 4bv
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 9V],X=y~
➢ 光之数字模型平台原理介绍 8@fDn(]w
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ft 'iv
2. 衍射光学元件设计与优化 Me}TW!GC
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 C}h@ El
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 YEQW:r_h.S
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 %)/f; T6
➢ 衍射光学元件分束设计优化 XsOOkf\_
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 T N
%"RL
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 jSFN/C.9 h
➢ 衍射光学元件加工文件导出 g& "( - :
3. 周期性微纳结构的优化设计 (v`;ym
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 0 `!Q-G7
➢ 微透镜阵列仿真 }m9LyT=~$
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 7RP_
^Cr+
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 FqTkUWd,#
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 /SXz_ e
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 ;ULC|7rL
4. 超表面微纳结构 Y/S3)o
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 b J|?5
➢ 超光栅的构建 5|R2cc|"9
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 IPO[J^#Me
➢ 设计和分析超透镜 ^)q2\ YE;
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 x
ct U.)p
5. 微纳加工工艺方案 30_ un
➢ 微纳加工完整流程概述 gx*rSS?=N
➢ 灰度曝光/直写技术 s\W
➢ 刻蚀类工艺 ;1.>"zX(
➢ 其他辅助工艺 >fye^Tx
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 d# 3tQ*G/
6. 微纳结构的表征 i$ L]X[
➢ 微纳结构面型检测 aE BP9RX}z
s1vrzze
第一天 5(|M["KK~
第二天 ^V}R(gDu}s
上午 Uk:.2%S2
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 QWHy=(!
2. 衍射光学元件设计与优化 /Tj"Fl\h
3. 周期性微纳结构的优化设计 RW 7oL:$dt
4.超表面微纳结构 b| dCEmFt
下午 Yg)V*%0n
2. 衍射光学元件设计与优化 d=Do@)
m|
3. 周期性微纳结构的优化设计 |2@en=EYk
5. 微纳加工工艺方案 jBv$^L
6. 微纳结构的表征 t;!]z-Y>
P!y`$Ky&
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
|
|