用于光学检测的斐索干涉仪

 `NTM%# w   摘要 "Wxo[I      [9'|7fdU   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 q|?`Gsr   `4se7{'UK`   jo]m12ps   Zjw !In|vC   建模任务 PEK.Kt\M   ':5Trx   gF$1wV]e   ' }y]mFpF   测试表面 F0X5dv   Pm;x]Aj   Vf@S8H   B:B0p+$I   非序列追迹  zjZ;xn   W9:fKP   z0EjIYI[N   .~FKyP>[$   通用探测器和探测器附加组件 `two|gX0K   {ILp[&sL   J r=REa0   6:e}v'q{   总结-组件… *##QXyyg   1jR=h7^=   ahK?]:&QO   #RCZA4>   WsG"x>1n   观测下的倾斜平面 $%N;d>[U,   T) $6H}[c   [,.[gWA   W)G2Cs?p   被观测圆柱面 K|P9uHD   g] 7{5   0R2S@4%Y   IG2`9rR   被观测球面 :pL1F)-*   M6o xtt4

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