用于光学检测的斐索干涉仪

3(>(lk   摘要 )cfp(16      7]R6   斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，例如圆柱形和球形表面。结果表明，表面轮廓对干涉条纹的产生是敏感的。 r! cNc   e<&_tx    dfYYyE   Ih9O Rp7   建模任务 .N'%hh   +-xSuR,   :Q0?ub]   ZdJVs/33Vn   测试表面 n#/U@qVgc   >"2\D|-/   TPN:cA6[c   7=9A_4G!   非序列追迹 BZnp #}f    Ep#<$6>   HXlr   9P,A t8V(   通用探测器和探测器附加组件 98"z0nI%   w>1l@%Uo   ==r?   Y,<WX v   总结-组件… o}j_eHl{   M4L~bK   .~V".tZV[   ,_e/a    ~7)rKHau   观测下的倾斜平面 f6(9wz$Trt   =l?"=HF   z[$9B#P   8xeun~e"vS   被观测圆柱面 kOlI?wc   ZipK;!9by   umHs"d   ~I8"l@H>   被观测球面 ajcPt]f   gn4g 43

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