微透镜阵列CMOS传感器分析

}Y|M+0    摘要 U;*t5l   s;E(51V<>   mdQe)>   ~c] q:pU2   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 !`4ie   w{lj'3z I   建模任务 k.2GIc:5   -3ANNj   eK5~gnv,   ssS"X@VZ \   模拟&设置：单平台互操作性 mPqKk   建模技术的单平台互操作性 h-sO7M0E]   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 c0HPS9N\   Ayv:Pv@   Nn-k hl|11   5O]ZX3z>    平面波光源 ]Hq,Pr_+    微透镜阵列 `B&=ya|bl    彩色滤光片(吸收介质) 98| v.d    通过基底传播 _?y3&4N)    探测 ~3%\8,0   oM^vJ3   连接建模技术：微透镜 Cg%Owe/E?0   2hso6Oy/v{   zY@0R`{@p   kP/<S<h,g   GVu[X?q@|   连接建模技术：彩色滤光片 c`hENPhW   ^c/3!"wK   W8u&5#$I   |'JN<?   连接建模技术：可编程介质 F(Zf=$cx   g.blDOmlc   i%F2^R@!q/   Z__fwv.X[   连接建模技术：自由空间传播 |uz\XK   W1Fhx`   2~7*jA+Ab   [\ Sd*-   连接建模技术：堆栈 m8x?`Gw~jw   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 $%!06w#u   VAjl?\}6   AS:k&t   ( xzruI5P    微透镜阵列 Zn40NKYc    彩色滤光片(吸收介质) ]Ol w6W?%    通过基底传播 +t1+1Zv    探测 [McHl1a   "X._:||8   元件内场分析器：FMM uHbbPtk   $FIJI^Kd7   \L$]2"/v-   [+CFQf>   模拟结果 3D5adI<aq"   bA$ElKT   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 7mv([}Va   >gq=W5vN(   IG;= |   aO?KRn   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -kP2Brm   `mYp?NjR_   a #s Nd   C~K/yLCAi   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Yt:%)&50}-   "?<`]WG\   Xkx&'/QG,U   ,1!Y!,xy   3D仿真与结果比较 ;}KJ[5i-V   vO"E4s   .#a7?LUH   /:BC<]s   3D仿真与结果比较 }TuMMO4+   &gC)%*I4

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