微透镜阵列CMOS传感器分析

c@wSv2o$   摘要 |`+kZ-M*   {Fs}8\z   VgD z:j   /{>$E>N;   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 UbNA|`H   VG0Ty;bV   建模任务 ~b}a|K   NRN3*YGo   W/!M eTU&E   ' 3TwrY?-   模拟&设置：单平台互操作性 Xb?:dlu3   建模技术的单平台互操作性 xP#vAR   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 F0:|uC4   0zQ"5e?qy   " !F)K   Dk8 O*B    平面波光源 Cuu yG8    微透镜阵列 hsG~xRA\    彩色滤光片(吸收介质) 5b>-t#N,    通过基底传播 a~q_2S]h    探测 R[KF${X4   +Ysm6n '   连接建模技术：微透镜 eRU0gvgLu"   &.XlXihnt   ~e*3_l>9   p)6!GdT   Zk,` Iq   连接建模技术：彩色滤光片 j5Kw0Wy7   `EKmp|B_p_   tpu2e*n-|   [.J&@96,b   连接建模技术：可编程介质 lS@0 $   \ #<.&`8B   @Wgd(Ezd   \9"   连接建模技术：自由空间传播 g)0>J   ?*DM|hzOi   paKur%2u   x}\x3U   连接建模技术：堆栈 gJa48 pi   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 %+ln_lgD:   h?_Cv*0q   pH&* 5=t}   w O H{L    微透镜阵列 y8 *MNw    彩色滤光片(吸收介质) #IJm*_J<    通过基底传播 S]!s)q-- z    探测 1oKF-";u(   &T.d"i   元件内场分析器：FMM f(M$m,d   sX8d8d`}   6HroKu   %MG{KG=&o   模拟结果 SEfRU`   G5WQTMzf&   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) V52>K$j   r ^=rs!f@   [U5@m]>^   NS<C"O   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) j1zrjhXI   _V2^0CZ   ^bM\:z"M   oW}nr<G{ <   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) vHJOpQmt~   _+!@c6k)ra   2[!3!@.   $>JfLSyC   3D仿真与结果比较 In[rxT~K}Q   J\@|c.ws   Ky0}phGRu   y^!>'cdV   3D仿真与结果比较  GLO%>&   C/$bgK[ev

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