微透镜阵列CMOS传感器分析

sAc1t`   摘要 _b<;n|^   @K !JE w\   qfXt%6L   b4L7]&   近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 zd%f5L('   [KBa=3>{   建模任务 :!s7B|_U   02Vfg42   *KNfPh#wi}   5[)5K?%   模拟&设置：单平台互操作性 =!L}/Dl   建模技术的单平台互操作性 ^S`hKv&87   在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ].rKfv:   'nPI zK<v   K W&muD   *eH a4I    平面波光源 eW 4[2Q    微透镜阵列 9^DAlY,x.    彩色滤光片(吸收介质) FNUs .d"    通过基底传播 |9XoRGgXU    探测 m4~  |z   )A*53>JV   连接建模技术：微透镜 KH )-=IJ8   O\f`+Q`0   |a03SZx   0 &)6mO   8SRUqe[H]   连接建模技术：彩色滤光片 ^Lb\k|U,\   X~&8^?   gw"SKp!]   .'o=J`|   连接建模技术：可编程介质 !4Zy$69R   ! $mY.uu   kttJTP77t   c/88|k   连接建模技术：自由空间传播 ^f>c_[fR   1\,k^ Je7   \dU.#^ryp   aHC%:)ww:   连接建模技术：堆栈 ??aO3Vm{   在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 z&0[F`U   ^U,iDK_   @+t|Aa^g   'y!qrmMRr    微透镜阵列 P7W|e~]Yq    彩色滤光片(吸收介质) 7WH'GoBh    通过基底传播 nGWy4rY2S    探测 vfn[&WN]   pf'DbY!   元件内场分析器：FMM :Ni#XZ{F-/   #y:F3$c   q !9;JrX   h8O\sKn   模拟结果 GU`q^q@Ea   ?J +jv   像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) B.4e4%BBS   G~C-tAB   | eCVq(R   l8(9?!C   像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) (KN",u6F   xU%]G.k   B&B4 P   qbSI98rw   像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) {hN\=_6*EW   /"="y'Wx   Wn6m$=   u SYI X   3D仿真与结果比较 6bs-&Vf   2hNl_P~z1u   $X;O K   >QJDO ]~V   3D仿真与结果比较 .9Oj+:n   \C~6 '

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