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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 %-A #7\ 7H,p/G?]k Vm3e6Y,K 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 A_:YpQ07@ Vk3xWD~ 任务 qGH
s2Og • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 yjq~O~ • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 N:_U2[V^d ~9tPT0^+ KRL9dD,& 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 o<J_?7c~} 连接建模技术:衍射光束分束器 FHoY=fCI e>GX]tK ;$0)k(c9 通过配置助手和IFTA进行相位设计 H&yK{0H Ah|,`0dw f{[ ]m(X; 将传输函数转化为结构 fw[Z7`\Q5 <<ze84E ~EV7E F 衍射光束分束器表面 ]O\m(of
R XSw!_d IM^K]$q$47 衍射光束求解器 - TEA & FMM xDJs0P4 ]V `L\ 2#^@awJ ? 光栅级数 & 可编程光栅分析器 NrNxI'MG byyzXRO; a$7}41F[~s 设计与评估结果: Z2%ySO • 相位函数设计 i6.HR?n • 结构设计 &B;M.sz~C4 • TEA 评估 figCeJ!W4 • FMM 评估 8}Qmhm`_j= • 高度缩放检查(用于优化/容限) @N?u{|R:d p>O>^R 仅相位传输设计 C5W}
o:jE )-RI RTEzcJ> 结构设计 i8kyYMPP C
`>1x`n -=+@/@nV 使用TEA进行性能评估 Kc%GxD` $v6`5;#u .o&Vu,/H 使用FMM进行性能评估 k3w(KH@ }kCaTI?@# j3J\%7^i 进一步的分析(优化后,容差分析) &* Aems{- [ITtg?]F LRuB&4r8 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ;:Yz7<>Y, ??7c9l5, .[qm>j, 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 zj+.MG04 @gn}J' _tJm0z! 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 \MY`R
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