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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 Zi$ziDz& 6R UrF zdun,`6 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Xk mQBV" x|64l`Vp(: 任务
cS.i • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 .0HZNWRtb • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Oc?+M 5 L#[]I, \$*$='6" 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 (n{wg(R 连接建模技术:衍射光束分束器 [`=LTBt R\Z:n* T5Eseesp 通过配置助手和IFTA进行相位设计 d5I f"8`@ NVV}6TUV hPhZUL% 将传输函数转化为结构 .S\&L-{ SF]@| +?D6T!) 衍射光束分束器表面 lG<hlYckv YA(@5CZ ra ' 衍射光束求解器 - TEA & FMM AF,BwLN m(OvD! n_D8JF 光栅级数 & 可编程光栅分析器 N6oq90G ^D67y% DrW#v-d 设计与评估结果: Ft JjY@# • 相位函数设计 ({}( qm • 结构设计 ?ne_m:J[ • TEA 评估 CR<`ZNuWz • FMM 评估 -]G(ms;}/Y • 高度缩放检查(用于优化/容限) \g)Xt?w0Wo !7B\Xl'S 仅相位传输设计 wt}9B[ 7Ob*Yv=[ 96Wp!]* 结构设计 k5d\w@G"~ N^?9ZO lVH<lp_ZtK 使用TEA进行性能评估 w[Gh+L30=5 or ;f&![w ?@6b>='! 使用FMM进行性能评估 i@"e,7mSG Z@D*1\TG= em@EDMvI 进一步的分析(优化后,容差分析) [BbutGvj e59dVFug.U Si}HX!s 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Mc sTe|X 7J$b$P0} Nf,Z;5e 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 `rY2up#% {C*\O)Gep DsD zkwJE 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 2+8#H.
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