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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 >7roe []-|  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 <BO)E(  
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任务 7HVZZ!>~  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 RJy=pNztm  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 3:{yJdpg  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 |A%<Z(  
连接建模技术:衍射光束分束器 MWNPPYww  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 kNT}dv]<  
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将传输函数转化为结构 n!6Z]\8~$  
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衍射光束分束器表面 8vuCc=  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM SxK:]Aw  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 R.LL#u};  
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设计与评估结果 3+J0!FVla  
• 相位函数设计 M7>(hVEAW'  
• 结构设计 -`f04_@>d  
• TEA 评估 ]#/4Y_d  
• FMM 评估 JlKM+UE :  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) kAM1TWbaVQ  
DMF -Y-h  
仅相位传输设计  KluA  
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结构设计 >xA),^ YT  
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使用TEA进行性能评估 B/Gd(S`@q  
ES<{4<Kpx  
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使用FMM进行性能评估 51# "3S  
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进一步的分析(优化后,容差分析) 4yaxl\2  
IMnP[WA!  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 s7r9,8$  
i#X!#vyc  
o5\b'hR*#  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2X-l{n;>  
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ED$DSz)x  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 j<pw\k{i  
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