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infotek 2026-02-26 07:57

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 Zi$ziDz&  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 XkmQBV"  
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任务 cS .i  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 .0HZNWRtb  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Oc?+M 5  
L #[]I,  
\$*$='6"  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ( n{wg(R  
连接建模技术:衍射光束分束器 [`=LTBt  
  
R\Z: n*  
T5Eseesp  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 d5I f"8`@  
NVV}6TUV  
hPhZUL%  
将传输函数转化为结构 .S\&L-{  
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+?D6T!)  
衍射光束分束器表面 lG<hlYckv  
YA(@5CZ  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM AF,BwLN  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 N6oq90G  
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DrW#v-d  
设计与评估结果 Ft JjY@#  
• 相位函数设计 ({}(qm  
• 结构设计 ?ne_m:J[  
• TEA 评估 C R<`ZNuWz  
• FMM 评估 -]G(ms;}/Y  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) \g)Xt?w0Wo  
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仅相位传输设计 wt }9B[  
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结构设计 k5d\ w@G"~  
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使用TEA进行性能评估 w[Gh+L30=5  
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使用FMM进行性能评估 i@"e,7mSG  
Z@D*1\TG=  
em@EDMvI  
进一步的分析(优化后,容差分析) [Bb utGvj  
e59dVFug.U  
Si}HX!s  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Mc sTe|X  
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Nf,Z;5e  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 `rY2up#%  
{C*\O)Gep  
DsDzkwJE  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 2+8#H.  
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