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2026-02-26 07:57 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 >7roe []-| ^/5XZ} * =l.+,|ZH! 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 <BO)E( rJa$9B*^ 任务 7HVZZ!>~ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 RJy=pNztm • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 3:{yJdpg :5/Uh/sX 49d@! 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 |A%<Z( 连接建模技术:衍射光束分束器 MWNPPYww TRZRYm" oG7q_4+& 通过配置助手和IFTA进行相位设计 kNT}dv]< Kf 2jD4z} /t6X(*xoy 将传输函数转化为结构 n!6Z]\8~$ hLDA]s d*oUfiW 衍射光束分束器表面 8vuCc= H'MJ{r0, ZhNdB 衍射光束求解器 - TEA & FMM SxK:]Aw SlSM+F zZiJ 9 e 光栅级数 & 可编程光栅分析器 R.LL#u}; w_ {,<[# _/S?# 设计与评估结果: 3+J0!FVla • 相位函数设计 M7>(hVEAW' • 结构设计 -`f04_@>d • TEA 评估 ]#/4Y_d • FMM 评估 JlKM+UE: • 高度缩放检查(用于优化/容限) kAM1TWbaVQ DMF
-Y-h 仅相位传输设计 KluA =`Y.=RL+'n f'q 28lVf 结构设计 >xA),^ YT =SD\Q!fA o$C|J]% 使用TEA进行性能评估 B/Gd(S`@q ES<{4<Kpx $|$e% 使用FMM进行性能评估 51#"3S $|KaBx1 pPVRsXy 进一步的分析(优化后,容差分析) 4yaxl\2 IMnP[WA! *n(> ^ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 s7r9,8$ i#X!#vyc o5\b'hR*# 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2X-l{n;> nK3k]gLc{ ED$DSz)x 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 j<pw\k{i
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