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infotek 2026-02-04 08:01

构造二维周期性光栅结构

复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 fP tm0.r  
• 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 Y={&5Mir  
• 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 |py6pek|  
y-p70.'{U  
初始化光栅工具箱 {U 'd}Q  
• 初始化 W3vi@kb]  
− 开始菜单栏 (Start) <2!v(EkI  
光栅菜单栏(Grating)  E3@QI?n^^  
通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) \Gm-MpW  
• 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, 1Gt/Tq$_b  
可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 {7cX#1  
图(三维光栅)(Pillar Grating Light 4!asT;`'  
Path Diagram(3D Gratings)) l no vykR  
{GvTfZfp  
设置光栅结构 )eUW5 tS  
I$Qs;- (  
• 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 qQpnLV4  
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 -/_L*oYli  
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
5Zmw} M  
• 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。
y@j,a  
基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) !zPG? q]3  
堆栈编辑器 VIP7OHJh  
EF pIp4_Y  
=X?\MVWB  
在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 ELh8ltLY  
• 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。
2<&Bw2  
WwC 5!kZ  
两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 UA[,2MBp  
• 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
柱形光栅介质 1 )}=bhT  
2L AYDaS  
h/x0]@M&  
• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 J7C4V'_  
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 QDpEb=|S  
• 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 < Dx]b*H  
• 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 kOvDl!^  
(颜色越深,折射率越高)。 :16P.z1L  
• 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
%{3 aW>yx  
2tROT][J%  
• 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 >7!6nF3x,  
• 选中的界面会以红色突出显示。 *lef=:&,,  
• 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 oG$)UTzGc  
最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 izKfU?2]X@  
• 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
7W6cM%_B  
,!V]jP)  
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 X2tk[Kr  
• 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 [^8n0{JiN  
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 vP7K9K x  
• 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。
e4~>G?rM_  
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