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infotek 2026-01-20 07:56

VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 b\"2O4K,)  
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 }PzYt~Z`@  
N;av  
设计任务 "OKsl2e  
-QydUr/(o  
>\ym{@+*  
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
8+~|!)a  
L_YY,  
光栅级次分析模块设置 (Bfy   
z:tu_5w!,  
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
pdR&2fp  
~ @s$  
1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ?37Kc,o  
2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 TCO^9RP<  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 I^y,@EHR  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
S$fCO$bU  
衍射分束器表面 CbRl/ 68HY  
为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Ll6|WhX  
 W-U[7n  
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) !TuMrA *  
GfT`>M?QGK  
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 LMte,zs>  
 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 K5q9u-7  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
(A8X|Y  
}q@Jh*  
光栅级次和可编程光栅分析仪 uYwJ[1 C  
xyTjK.N  
1QH5<)Oa  
设计与评估结果 ,a,coeL  
相位功能设计  ^'c[HVJ  
结构设计 3YPoObY  
TEA评价 }Pe0zx.Ge  
FMM评估 U ()36  
sHulaX{  
通用设置 {e8.E<f-  
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 8CKI9  
通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
w;Na9tR  
[Y]\sF;J  
纯相位传输设计 0dgp<  
u=h/l!lR  
hpJi,4r.d  
结构设计 ;M"JN:J8  
HGpj(U:`c  
 qTL]  
更深的分析 @{!c [{x,T  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 {` Lem  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 J0M7f]  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 1Lb+ &  
aJ1<X8  
使用TEA进行性能评估
H:BWv08~5  
^SKuX?f\  
k%)QrRnB  
使用FMM进行性能评估 {?' DZR s  
V '4sOn  
C. Hr  
进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 v(/T<^{cuk  
^?H3:CS  
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 SablF2doa  
EI*B(  
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 wBUn*L  
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