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tfcalc68	2025-12-18 14:28
吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 #gaQaUjR [attachment=133797]

ouyuu

2025-12-18 20:48

一般是杂质或者膜质不均匀造成的。
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。
离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。
调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。

tfcalc68	2025-12-19 10:09
我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶

tfcalc68

2025-12-19 10:10

ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 cj|*_}
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 =}fd6ea(o
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 Q_"\Q/=?Do
离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 O0*e)i8
调整温度可以改善，但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48) }2r+%V&4

我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶。。

度魔银	2025-12-20 10:27
建议降低温度，调节充氧量试试

ouyuu	2025-12-23 23:48
温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。

yzhuang	2026-01-22 15:46
钛的镀膜温度250℃左右比较合适，吸收的话可通过调节充氧量，调节离子源参数，调节蒸发速度等来进行解决，但要做到无吸收基本上不可能，如果需要尽量小的吸收，Ta2O5材料更合适，虽然折射率会小不少。

bilong	2026-03-10 18:27
[attachment=134371] >Dg#9 6ZqgY1 我们这个新科隆设备也是这样，150度，射频离子源，钛前面有吸收，镀可见光高反，前面400-550都上不去 A?"h@-~2

xiezhizhi	2026-03-18 10:13
氧气温度速率离子源功率一个个来 2o[IHO]

ouyuu

2026-03-18 18:43

bilong:[图片] q:HoKJv4
我们这个新科隆设备也是这样，150度，射频离子源，钛前面有吸收，镀可见光高反，前面400-550都上不去 WY)^1Gb$ux
(2026-03-10 18:27) 0%)5.=6

你们那台机是栅网问题。
国产栅网或者旧栅网的效率太低了。
数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。
新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。

bilong	2026-04-08 17:33
ouyuu:你们那台机是栅网问题。 /Y^7Rl 国产栅网或者旧栅网的效率太低了。 :A$wX$H01 数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。 'Fzuc^G(d 新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。 (2026-03-18 18:43) 7+]F^ 6 vj@V !j? 好的，感谢指导

qj沧海	2026-06-01 22:54
ouyuu:你们那台机是栅网问题。 3Y=,r!F.h 国产栅网或者旧栅网的效率太低了。 fLc!Sn.Y 数值是1000mA，实际可能500mA的离子都没有。 paUyS1i 新的原厂栅网一般能达到90%以上的效率。 (2026-03-18 18:43) =`ywd]\7 E{?L= ^cU 经验之谈啊，感觉学习到了

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