用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 {pE")O7~P
!+=jD3HTJ

斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。

建模任务 <s)+V6\E
\y"!`.E7\d

观测倾斜平面 KYu3dC'/,&
Vq -!1.v3

观测柱面 o[!]xmj
0^?(;AK

观测球面 ]ta]OK{s"
\[%[`m

走进VirtualLab Fusion 3)Wi? -
)PVX)2P_C

VirtualLab Fusion的工作流程
 设置输入场
- 基本光源模型 [教学视频]
 使用表面构造真实元件

 定义元件的位置和方向
- LPD II：位置和方向 [教学视频]
 为非序列场追迹设置合适的通道
- 非序列场追迹的频道设置 [用例]

VirtualLab Fusion技术

查看本帖完整版本: [-- 用于光学检测的斐索干涉仪 --] [-- top --]