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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 0l[52eZ/ HP]5"ziA -#9et30 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 dB6,pY( R&.&x'< 任务 U[x$QG6 m! • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 iKrk?B< • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 2H.g!( Oza
i,<'AL ) ;hDk gp 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ;X<Ez5v3 连接建模技术:衍射光束分束器 ?s$d("~ a($7J6]M r_$*euh@ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 W%>T{}4 <DR|r MZQDFuvDxZ 将传输函数转化为结构 %Hd[,duwO 4RVqfD mTtaqo_Bh 衍射光束分束器表面 EOu[X'gLr Vq]ixag2^ H~s8M 衍射光束求解器 - TEA & FMM G8+&fn6 tcXXo&ZS #)~u
YQ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 $aJ6i7C,j} k5aB|xo C\5G43` 设计与评估结果: 6ScB:8M • 相位函数设计 )TiM>{ • 结构设计 XjL3Ar* • TEA 评估 @!dIa1Q" • FMM 评估 o-H?q! • 高度缩放检查(用于优化/容限) Up?RN %gq
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MYZ 仅相位传输设计 [G$ #jUt/O <(>t"< i \NV<I
结构设计 Ny7*MZ- WC<[<uI* q,)V0Ffe[| 使用TEA进行性能评估 *h0D,O"0 M#o.O?.`
:2nsi4 使用FMM进行性能评估 1Mp-)-e 8Y`g$2SZ^8 LcvczST 进一步的分析(优化后,容差分析) <9X@\uvU.< \ZADY.ha 7OmT^jV2 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .kFO@: O>pX(DS
L dVB#Np 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 WlQCP C ;GG,Z#\m >D!R)W` 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7P3pjgh
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