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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 yS)- &t!;  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 h41$|lonU%  
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任务 Y@]);MyL  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 J3~hzgY  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 T)(e!Xz  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 eu}Fd@GO  
连接建模技术:衍射光束分束器 %6A-OF  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 +ze}0lrEL  
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将传输函数转化为结构 G@!_ZM8h  
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}XCR+uAz  
衍射光束分束器表面 ]*2EK9<  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM gX@nPZjg  
H(15vlOD  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 -F"d0a,  
3P//H8 8LY  
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设计与评估结果 ^\M dl  
• 相位函数设计 '7xxCj/*  
• 结构设计 CAUijMI@  
• TEA 评估 7qP4B9S  
• FMM 评估 rI0)F  
• 高度缩放检查(用于优化/容限)  VQ`,#`wV  
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仅相位传输设计 Hp\Ddx >Jd  
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结构设计 IQ3n@  
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使用TEA进行性能评估 [ULwzjss#L  
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S:ls[9G[3  
使用FMM进行性能评估 0VzXDb>`  
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进一步的分析(优化后,容差分析) 8 +"10q-  
\n#]%X5c  
EdEoXY-2  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 Z'Kd^`mt 9  
q@w{c=  
(%[Tk[  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 a3Y{lc#z}  
X Vw-G }5  
^8:VWJM  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 '!!e+\h#  
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