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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要
Pvt!G pi#a!Quf\ )nj fqg 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 3ww\Z8UeK =ca[*0^Z7 任务 ^;s/4 • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Gukvd6-g9b • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 .IY@Q b|Ge#o 9a]o?>`E 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 SKNHLE} 连接建模技术:衍射光束分束器 (vD==n9Hd pYAKA1F VrfEa d 通过配置助手和IFTA进行相位设计 M,ybj5:6 _s0)Dl6K 8|\ -(:v 将传输函数转化为结构 -Q<OSa=' kxEq_FX V"K.s2U^ 衍射光束分束器表面 @Z#h?: tQT<1Q02i 1GkoE 衍射光束求解器 - TEA & FMM dD39?K/ FwB xag:u *>[q*SF 光栅级数 & 可编程光栅分析器 iI'ib-d bcuUej: nB :i G 设计与评估结果: Ny`SE\B+/ • 相位函数设计 1lA? 5: • 结构设计 ]xb2W~ • TEA 评估 >Q"3dw • FMM 评估 O#J7GbrHO • 高度缩放检查(用于优化/容限) }c=Y<Cdh
v&9:Wd*Iz' 仅相位传输设计 mrKIiaU<J *Ev8f11i& ?=_w5D.3J 结构设计 TL$w~dY y9@j-m& 5__B
M5| 使用TEA进行性能评估 "5N$u(: b x2b
t^!t. :]8A;`G} 使用FMM进行性能评估 9MQwc +yk 0ez aDLlL?r3 进一步的分析(优化后,容差分析) O\]{6+$fm! r@'~cF]m :y{@=E=XSC 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 [{`&a#Q C4dCaiX mmNn,>AO! 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 x @9rc,by \qG` ts EQHCw<e 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 {=3'H?$
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