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infotek 2025-07-22 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 0l[52eZ/  
HP]5"ziA  
   -#9et30  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 dB6 ,pY(  
R&.&x'<  
任务 U[x$QG6m!  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 iKrk?B<  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 2H.g!( Oza  
i,<'AL )  
;hDk gp  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ;X<Ez5v3  
连接建模技术:衍射光束分束器 ?s$d("~  
  
a($7J6]M  
r_$*euh@  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 W%>T{}4  
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MZQDFuvDxZ  
将传输函数转化为结构 %Hd[,duwO  
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mTtaqo_Bh  
衍射光束分束器表面 E Ou[X'gLr  
Vq]ixag2^  
H~s8M  
衍射光束求解器 - TEA & FMM G8+&fn6  
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#)~u YQ  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 $aJ6i7C,j}  
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C\5G43`  
设计与评估结果 6 ScB:8M  
• 相位函数设计 )TiM>{  
• 结构设计 XjL3Ar*  
• TEA 评估 @!dIa1Q"  
• FMM 评估 o-H?q!  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) Up?RN%gq  
 "LB MYZ  
仅相位传输设计 [G$#jUt/O  
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结构设计 Ny7*MZ-  
WC<[<uI*  
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使用TEA进行性能评估 *h0D,O"0  
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使用FMM进行性能评估 1Mp-)-e  
8Y`g$2SZ^8  
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进一步的分析(优化后,容差分析) <9X@\uvU.<  
\ZADY.ha  
7OmT^jV2  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 .kFO@:  
O>pX(DS L  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 WlQCPC  
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>D!R)W`  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 7P3pjgh  
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