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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 1^60I#Vr@ 1Oca@E\Z. jgo<#AJ/E 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 @RoRNat .i3lG(
YG 任务 WJY4>7}{B@ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 PK2Rj% • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 @O<@f8- }[KDE{,V [aWDD[#j~ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 ;vI*ThzdD 连接建模技术:衍射光束分束器 YM`:L D*XZT{1g PV]k3&y 通过配置助手和IFTA进行相位设计 "%}Gy>; lC /Hib qr'x0r|<> 将传输函数转化为结构 N
o_$!)J. PzMlua 43{_Y] 衍射光束分束器表面 4Wi8$ n?ZL"!$ kyRh k\X 衍射光束求解器 - TEA & FMM \8> #Cg}!38 \tiUEE|k 光栅级数 & 可编程光栅分析器 +3/k/W
+gbX}jF0% z\Pe{J 设计与评估结果: xs2,t*
• 相位函数设计 f%Z;05 • 结构设计 TbKP8zw{ • TEA 评估 ~),;QQ, • FMM 评估 >bX-!<S • 高度缩放检查(用于优化/容限) k9^+9P^L ,Lt~u_ lve 仅相位传输设计 IFd )OZ5 inr%XS/m ?AeHVQ
:C 结构设计 H )BOSZD ;NiArcAS! Ie G7@ 使用TEA进行性能评估 4|zdXS wMH[QYb<* {h/OnBwG 使用FMM进行性能评估 h`
irO5 E3~,+68U kfMhw M8kP 进一步的分析(优化后,容差分析) <mv7HKVg 5u2{n rc E;6Y? vJ 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 54
M!Fq-
_'!aj+{ rao</jN.9 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 I! h(` iGG6Myp- Qqd6.F 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 @k=cN>ZMc
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