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2025-07-22 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 } #$Y^ +UN ^&.F! ^D6 JckW 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 {)`5*sd zf^!Zqn[8z 任务 ##FN0|e& • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 AR)&W/S)7, • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 X3q'x}{ gBrIqM i5 `<
VoZ/v 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 /LJ?JwAvg5 连接建模技术:衍射光束分束器 >yT:eG *S;v406 dmf~w_(7 通过配置助手和IFTA进行相位设计 N>@AsI WT!%FQ9 /(vT49(] 将传输函数转化为结构 r$*k-c9Bf -V<i4X<|,+ d<#Xqc 衍射光束分束器表面 G;,2cu
K 0;V2>! G*Qk9bk9 衍射光束求解器 - TEA & FMM ~Fisno Tqm9><!r O@Xl_QNxc! 光栅级数 & 可编程光栅分析器 `qX'9e3VP+ cITQ,ah LkJ3 :3O 设计与评估结果: jLcW;7OAC • 相位函数设计 %B#Ewt@[ • 结构设计 #XNe4# • TEA 评估 .XS rLb? • FMM 评估 BYwG\2?~ • 高度缩放检查(用于优化/容限) 7CNEP2}:R $] w&`F- 仅相位传输设计 w_e Las% a*=\-;HaZ ()XL}~I{!A 结构设计 00<iv"8 E]"ePdZZ/ DUY#RJf 使用TEA进行性能评估 K2)),_,@5+ CJ
KFNa bCc^)o/w 使用FMM进行性能评估 e,8C}
2 XKMJsEPsW 4uDz=B+8y 进一步的分析(优化后,容差分析) `} Q+: oDA1#- ]Kil/Y 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 @lBR;B" Ujb||(W `P"-9Ue= 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 b\H~Ot[i 5(TI2,4 BL,YJM(y 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 L,Uqt,
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