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infotek 2025-07-02 08:06

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             asT*Z"/Q!  
A%H"a+  
xE/r:D#  
o&2(xI2  
由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             c(@V t&gE  
U 00}jH  
仿真任务                                                                             ya7/&Z )0  
   (rfU=E  
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连接建模技术:倾斜光栅 UEeD Nl$^u  
=]r<xON%S  
                                                                    
HorFQ?8  
gC-3ghmgS  
可用的微结构建模技术: _~m@ SI  
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T_}9b  
                                                                                 @di mZsi1  
光栅阶数分析仪 Y#3<w  
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s)HLFdis@  
参数变化分析仪                                                                            
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   \XaKq8uE  
                                                                             m44Ab6gpsb  
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参数优化                                                                             "M.\Z9BCt  
msKWb311u  
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优化结果-平均效率 k WVaHZr  
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优化结果-对比度 N#(p_7M  
#bN'N@|  
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