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2025-06-18 08:01 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 Zgt, 'T mKtZ@r)u
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GE+DjeA S&8gZ~B 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 rAwq$!x x \f1r/e(G| 建模任务 \CM( u }D.yI8
zFqH)/ 3zp)!QJi 模拟&设置:单平台互操作性 nZ hL 建模技术的单平台互操作性 .JZoZ.FAb 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 S3i%7f^C?N QQ!%lbMK]
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g03i kYl$V= 平面波光源 uz".!K[,wE 微透镜阵列 EE#4,d`J 彩色滤光片(吸收介质) nM34zVy 通过基底传播 Z$kff-Y4 探测 Xz4!#,z/ m.EI("n"J 连接建模技术:微透镜 >,Zjlkh3 N?U;G*G q-eC=!#}
/$'tO3 I1BVqIt1i 连接建模技术:彩色滤光片 Kjc"K36{L +'2Mj|d@p
mEv<r6qDT 9xyj,;P> 连接建模技术:可编程介质 63QMv[`, !
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IUAx*R ,>V|%tD' 连接建模技术:自由空间传播 s[NkPh9& $FZ~]Ef
"n,"> m{x[q 连接建模技术:堆栈 zJ93EtlF 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 jxL}tS{j (BEGt'7
w<<>XIL v{$X2z_$w 微透镜阵列 21bvSK 彩色滤光片(吸收介质) U2 通过基底传播 wUW^
O 探测 ]@vX4G/ X#'DS&{ 元件内场分析器:FMM )."_i64 YD
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?>cx;"xF Hgu$)yhlj 模拟结果 a$yAF4HR< ('xIFi 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6O
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