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微透镜阵列CMOS传感器分析
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infotek
2025-06-18 08:01
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要
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\ NSw<.
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。
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ah"MzU)
建模任务
]G o~]7(5|
Z=Y_;dS9
sEJ;t0.LX
3G/ mB
模拟&设置:单平台互操作性
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建模技术的单平台互操作性
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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{L-aXe{
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平面波光源
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微透镜阵列
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彩色滤光片(吸收介质)
)av'u.]%c
通过基底传播
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探测
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XG\a-dq[
连接建模技术:微透镜
L[D/#0qp
6v2RS
2*FWIHyf
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连接建模技术:彩色滤光片
E%2!C/+B
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连接建模技术:可编程介质
_Dcc<-.
Z>w^j.(
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.M53, 8X
连接建模技术:自由空间传播
6aF'^6+a
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$YGIN7_Gg
连接建模技术:堆栈
2) /k`Na
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
$G-N0LV
z^a!C#IX
C@UJOB
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微透镜阵列
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彩色滤光片(吸收介质)
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通过基底传播
6Er0o{iI
探测
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/,uSCITD
元件内场分析器:FMM
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gGI#QPT`X
]2xx+P#Y
模拟结果
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟)
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟)
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Oj4u!SY\j
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B::4Qme
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)
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3D仿真与结果比较
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_@BRpLs:4
Hlt8al3
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3D仿真与结果比较
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