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2025-06-18 08:01 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 [OBj2= ;o]'7qGb
ZzPlIl}\ Ql sMMIax 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 -M}#-qwf U2z1HIs 建模任务 \D(6t!Ox PLR[nB7K
Z- ;<R$ /v"u4Ipj 模拟&设置:单平台互操作性 l-4T Tg 建模技术的单平台互操作性 I`kaAOe 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ZKTOif} +h^>?U,
@ROMHMd} $wUFHEl 平面波光源 MkZm
=Sf 微透镜阵列 Cw]&B 彩色滤光片(吸收介质) y&Sl#IQ L 通过基底传播 p%~#~5t, 探测 {aP5Mem b=v 连接建模技术:微透镜 z><=F,W K.c6n,' 22S4q`j
o@j]yA.5) ^l|{*oj2 连接建模技术:彩色滤光片 H%NIdgo} FI++A`
K5gh7 +@[T0cXp 连接建模技术:可编程介质 ?#"rI6 4hdxqI!y2
,2T&33m
R{GOlxKs C 连接建模技术:自由空间传播 PPO*&=!] e9/:q"*)/
aP^,@RrL Sc'z vlq 连接建模技术:堆栈 t%Hg8oya 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 89T xd9X I\E`xkbBu
,K=\Y9l3 >aXyi3B 微透镜阵列 U 2am1} 彩色滤光片(吸收介质) *4#)or 通过基底传播 ?t++IEoP 探测 %LeG.~? b,"gBg 元件内场分析器:FMM %D_2; Jm&7&si7
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y[nMEE $qG;^1$ 模拟结果 KdIX` !gA<9h 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) RGFanP ;0DTf
nNJU@<|{* F#_JcEE 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) UFBggT\ FJo?~
7(cRm$)L L+,p#w 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) [4L[.N@ |O3wAxc3W
!J`>;& As0E'n85 3D仿真与结果比较 &R+/Ie#0dz wSoIU,I
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