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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 >/eV4ma"  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 iM'rl0  
}bM=)eUfX  
建模任务 ! {c"C  
J*}Qnl+  
S#g=;hD  
]Ac&h aAP  
模拟&设置:单平台互操作性 @b2JR^  
建模技术的单平台互操作性 ^`< %Pk  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。  XeRbn  
(Ymj  
W^sH|2g  
p^/6Rb"e  
 平面波光源 25m6/Y  
 微透镜阵列 T 7EkRcb  
 彩色滤光片(吸收介质) n |Is&fy  
 通过基底传播 ) HPe}(ypt  
 探测 !W?6,i-]  
KB6'sj  
连接建模技术:微透镜 cq-UVk"Gl  
OEwKT7CX  
!b:;O +[  
>|!s7.H/J/  
EKTn$k=  
连接建模技术:彩色滤光片 WK)2/$7@  
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uFH ]w] X  
4,.B#: 8  
连接建模技术:可编程介质 E%tGwbi7  
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NKJ+DD:'  
IJz=SV  
连接建模技术:自由空间传播 f 3t&Bcw$  
c^a D r  
1GA$nFBVC  
64jFbbd-/  
连接建模技术:堆栈 nJ{vO{N  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 "T+oXK\B  
V\4zK$]  
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 微透镜阵列 ,Q>Rt V  
 彩色滤光片(吸收介质) u:[vqlU  
 通过基底传播 =FfxHo1k  
 探测 hCvK2Xu   
+* AdSzX  
元件内场分析器:FMM /6@~XO) w  
I C?bqC+  
h:qt?$]J  
!da [#zK  
模拟结果 x;; =+)Gg  
ZQV,gIFys  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) |MEu"pY)  
gZ b +m  
Z'F=Xw6;b  
tITx+i  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 5UU1HC;C  
rz'A#-?'oG  
:e|[gEA  
XoZPz  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Q(gc(bJV  
C[0*>W8o  
B<}0r 4T}  
{ t1|6R0  
3D仿真与结果比较 %hnv go:^g  
ML9nfB^z!  
4x;vn8 yh  
`Fn6*_n  
3D仿真与结果比较 G{C27k>wa  
F[HMX4  
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