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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 Zgt, 'T  
mKtZ@r)u  
f GE+DjeA  
S& 8gZ~B  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 rAwq$!xx  
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建模任务 \CM(  
u}D.yI8  
zFqH)/  
3 zp)!QJi  
模拟&设置:单平台互操作性 nZhL  
建模技术的单平台互操作性 .JZoZ.FAb  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 S3i%7f^C?N  
QQ!%lbMK]  
YQ g03i  
kYl$V =  
 平面波光源 uz".!K[,wE  
 微透镜阵列 EE#4,d`J  
 彩色滤光片(吸收介质) nM34zVy  
 通过基底传播 Z$kff-Y4  
 探测 Xz4!#,z/  
m.EI("n"J  
连接建模技术:微透镜 >,Zjlkh3  
N?U;G*G  
q-eC=!#}  
/$'tO3  
I1BVqIt1i  
连接建模技术:彩色滤光片 Kjc"K36{L  
+'2Mj|d@p  
mEv<r6qDT  
9xyj,;P>  
连接建模技术:可编程介质 63QMv[`,  
! pR&&uG  
IUAx*R  
,>V|%tD'  
连接建模技术:自由空间传播 s[NkPh9&  
$FZ~]Ef  
"n," >  
m{x[q  
连接建模技术:堆栈 z J93EtlF  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 jxL} tS{j  
(BEGt '7  
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 微透镜阵列 21bvSK  
 彩色滤光片(吸收介质)  U2  
 通过基底传播 wUW^ O  
 探测 ]@vX4G/  
X#'DS&{  
元件内场分析器:FMM )."_i64  
YD H!N l  
?>cx; "xF  
Hgu$)yhlj  
模拟结果 a$yAF4HR<  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6O bB/*h  
rCGXHbj%  
D+P(  
+%7v#CY &  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 9Bvi2 3  
@X+m,u  
]W~\%`#8?  
.T 6 NMIp*  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) <k!M+}a 9V  
ayfR{RYi  
FkY}6  
y$|%K3  
3D仿真与结果比较 >h1 3i@`r  
XLb lVi@  
5. 5<.")  
4~xKW2*`K  
3D仿真与结果比较 -0r 0M )  
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