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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 Q4C28-#  
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~[Mm0L}8  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 uEH&]M>d_  
!|hv49!H  
建模任务 YX,y7Uhn  
_yumUk-QW  
 UuW"  
5nQ*%u\$Z  
模拟&设置：单平台互操作性 -Y{P"!p0  
建模技术的单平台互操作性 "^yTH/m  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 xn}sh[<:P  
$Ic: c  
hC=9%u{r?  
YeK PoW  
 平面波光源 ,vl][MhM  
 微透镜阵列 zaf%%  
 彩色滤光片(吸收介质) ul1#_xp  
 通过基底传播 nJNdq`y2  
 探测 LS*^TA(I[  
 k/ls!e?  
连接建模技术：微透镜 Pl9/1YhD/  
kK>PFk(  
.|;`qU o  
]N,n7v+}  
7'k+/rAO  
连接建模技术：彩色滤光片 ,~p'p)  
eJIBkFW/3y  
MPhO#;v  
)=8MO-{  
连接建模技术：可编程介质 LcI,Dy|P  
l 2y_Nz-;  
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O|}97a^  
连接建模技术：自由空间传播 J.N%=-8  
IDyf9Zra?  
be}^}w=  
< {$zOF}  
连接建模技术：堆栈 *+{umfZy  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 $fR[zBxA  
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X!KjRP\\  
a=>PGriL  
 微透镜阵列 s~W:N .}*  
 彩色滤光片(吸收介质) `}Ssc-A  
 通过基底传播 =yJJq=!  
 探测 e p* (  
D7T(B=S6  
元件内场分析器：FMM J39,x=8LL  
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VC,wQb1J/  
C(qqGK{  
模拟结果 ~_OtbNj#  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) <iDqt5)N  
Z<T%:F  
`'H"|WsT  
C%}}~Y  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) wyvrNru<l4  
N,6(|,m  
 LT']3w  
 [R:\  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 8(J&_7u  
KAH9?zI)M  
 hY X H9:  
,R_ KLd  
3D仿真与结果比较 Q$ r1beA  
!c,=%4Pb  
 s_xWvx8?4.  
(lBgW z  
3D仿真与结果比较 AdMA|!|:hc  
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