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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 [OBj2=  
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Ql sMMIax  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 -M}#-qwf  
U2z1HIs  
建模任务 \D(6t!Ox  
PLR[nB7K  
Z-;<R$  
/v"u4Ipj  
模拟&设置:单平台互操作性 l-4T Tg  
建模技术的单平台互操作性 I`kaAOe  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ZKTOif}  
+h^>?U,  
@ROMHMd}  
$wUFHEl  
 平面波光源 MkZm =Sf  
 微透镜阵列 Cw]& B  
 彩色滤光片(吸收介质) y&Sl#IQ L  
 通过基底传播 p%~#~5t,  
 探测 {aP5Mem  
 b=v  
连接建模技术:微透镜 z><=F,W  
K.c6n,'  
22S4q`j  
o@j]yA.5)  
^l|{*oj2  
连接建模技术:彩色滤光片 H%NIdgo}  
FI++A`  
K5gh7  
+@[T0cXp  
连接建模技术:可编程介质 ?#"rI6  
4hdxqI!y2  
,2T&33m  
R{GOlxKs C  
连接建模技术:自由空间传播 PPO*&=!]  
e9/:q"*)/  
aP^,@RrL  
Sc'z vlq  
连接建模技术:堆栈 t%Hg8oya  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 89T xd9X  
I\E`xkbBu  
,K=\Y9l3  
>aXyi3B  
 微透镜阵列 U 2am1}  
 彩色滤光片(吸收介质) *4#)or  
 通过基底传播 ?t++IEoP  
 探测 % LeG.~?  
b,"gBg  
元件内场分析器:FMM %D_2;  
Jm&7&si7  
- y[nMEE  
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模拟结果 KdI X`  
!gA<9h  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) RGFanP  
;0DT f  
nNJU@<|{*  
F#_JcEE  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) UFBggT\  
FJo  ?~  
7(cRm$)L  
L+,p#w  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) [4 L[.N@  
|O3wAxc3W  
! J`>;&  
As0E'n85  
3D仿真与结果比较 &R+/Ie#0dz  
wSoIU,I  
 h>\T1PM  
6'CZfs\  
3D仿真与结果比较 jMv qKJ(<  
" &2Kvsz  
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