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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 FlA\Ad;v  
i~Ob( YIH  
iLd"tn'  
\ NSw<.  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 (:bCOEZ  
ah"MzU)  
建模任务 ]G o~]7(5|  
Z=Y_;dS9  
sEJ;t0.LX  
3G/ mB  
模拟&设置:单平台互操作性 lp0T\ %  
建模技术的单平台互操作性 OG?j6q hpl  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 a2=uM}Hsp  
{L-aXe{  
L!b0y7yR  
{{[jC"4AY  
 平面波光源 p5# P r  
 微透镜阵列 ~iR!3+yg4  
 彩色滤光片(吸收介质) )av'u.]%c  
 通过基底传播 NZ+?Ydr8k  
 探测 -}qGb}F8!  
XG\a-dq[  
连接建模技术:微透镜 L[D/#0qp  
6v2RS  
2*FWIHyf  
EBDC'^  
xX&>5 "  
连接建模技术:彩色滤光片 E%2!C/+B  
q%kj[ZOY$]  
<j1d~XU}  
N4` 9TN7  
连接建模技术:可编程介质 _Dcc<-.  
Z>w^j.(  
@F(3*5c_Y  
.M53, 8X  
连接建模技术:自由空间传播 6aF'^6+a  
8T.5Mhx0jS  
{7![3`%7  
$YGIN7_Gg  
连接建模技术:堆栈 2 ) /k`Na  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 $G-N0LV  
z^a!C#IX  
C@UJOB  
?;r8SowZ7  
 微透镜阵列 kTi PZZI  
 彩色滤光片(吸收介质) =4M.QA@lI!  
 通过基底传播 6Er0o{iI  
 探测 ghJ,s|lH  
/,uSCITD  
元件内场分析器:FMM #EQx  
ll<9f)  
gGI#QPT`X  
]2xx+P#Y  
模拟结果 JJ N(M*;  
EYJi6#  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) WDoKbTv  
-|k&L}\OB0  
~*PK080N}  
'!yS72{$2  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) =UB*xm%!  
Oj4u!SY\j  
.n)!ZN  
B::4Qme  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) -e`oW.+  
aX[1H6&=7  
a$xeiy9  
oXQ<9t1(  
3D仿真与结果比较 F; MF:;mM  
_@BRpLs:4  
Hlt8al3  
!0!U01SWa  
3D仿真与结果比较 MR?*GI's  
'Ffy8z{&3  
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