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infotek 2025-06-18 08:01

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 d!46`b$rd  
+_kA&Q(t  
sv&^sARN  
*p=enflU  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 q7r b3d  
Hj(K*z  
建模任务 g\?v 5  
cIQbu#[@  
<.Pt%Kg^BS  
OSfT\8YA  
模拟&设置:单平台互操作性 tSux5 yV  
建模技术的单平台互操作性 v%c/eAF  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 3~7!=s\v  
:iLRCK3 C  
"G~!J\  
B'Jf&v  
 平面波光源 6K )K%a,9  
 微透镜阵列 #t;]s<  
 彩色滤光片(吸收介质) kI9I{ &J&  
 通过基底传播 zc=G4F01  
 探测 !H@HgJ -  
:4-,Ru1C"  
连接建模技术:微透镜 ';Q8x?BS  
+ue1+#  
\q*-9_M  
JV@G9PT  
KO7&dM  
连接建模技术:彩色滤光片 ~Kt1%&3{a?  
Woj5 yr  
kX+9U"` C  
Sgv_YoD?-  
连接建模技术:可编程介质 ]{# =WTp]  
tc/  
W7'<Jom|?  
m< )`@6a/  
连接建模技术:自由空间传播 NJE*/_S  
{d*OJ/4  
7M4J{}9  
UimofFmI%  
连接建模技术:堆栈 AX$r,KmE  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 hSw=Oq82  
~##FW|N)  
MJqWc6{ n  
?T_MP"  
 微透镜阵列 #+p-  
 彩色滤光片(吸收介质) 1++g @8  
 通过基底传播 \eNB L[  
 探测 Q.$Rhjb  
o+}k$i!6  
元件内场分析器:FMM 8U(o@1PT  
V4NQcy? H  
=k.%#h{  
ZIa,pON  
模拟结果 =?0v,;F9|  
te2vv]W1  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 2b"DkJj'  
|u?VlRt  
2/r8% Sq  
!hZ: \&V  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ~a[ /l  
+pme]V|<  
Ad>81=Z  
u%e~a]  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 3.?be.cq  
18sc|t  
eGq7+  
YmaS,Q-  
3D仿真与结果比较 Uzzm2OS`  
tF} ^  
(1[59<cg]  
z8ZQL.z%h  
3D仿真与结果比较 j; y~vX b  
lTqlQ<`V  
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