JCMsuite应用:孤立线栅
这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 ?% X9XH/! iR_Syk`G*A O1ha'@qID 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 b c4x"]! (p?3#|^
S偏振光照明的近场强度 =5/;h+bk+3  P偏振光照明的近场强度 "[?/I3{E 后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 B0
I? ]~.J@ 1? 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 pzax~Vp ~fF} PostProcess { X@:fW @ OpticalImaging { u`'z~N4} InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" RsD`9>6) OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" &v-V_.0(H OpticalSystem { F=om^6G%X5 SpotMagnification = 2.0 XH *tChf< } \l:g{GnoT } /hM>dkwu IeB6r+4| 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 xI:
'Hk1 \zI&n &T
线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) D,n}Qf!GYk (K6`nWk2  线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
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