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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 *1Bq>h:  
                                    
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F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 u.|%@  
~CT]&({  
建模任务 U+qyS|i  
(_|*&au J  
系统构建块-扫描源                                                
]7Du/)$  
o S=!6h  
How to Set Up a Scanning Source QK?V^E  
                                                                               eM_;rMCr}  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 j &,Gv@  
kBhjqI*  
系统构建块-参数耦合 5"@>>"3U  
   e,epKtL  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion m_*wqNFA6  
                                                                              
>U,&V%y  
系统构建块-失真分析仪 +Ps.HW#NY  
                                                                      
U!o7Nw@ z  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ns%gb!FBJX  
S?d<P  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               QZ l#^-on  
<HoCt8>U  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
F| eWHw?t  
4WvW11q8U  
Q3ty K{JE  
U@NCN2 I  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: c 9f"5~  
]B,tCBt  
Universal Detector ,_u7@Ix  
                                                                               JY2<ECO  
总结-组件 a$|U4Eqo  
(O{OQk;CF  
vSR&>Q%X  
系统观感   wx*?@f>u^  
`s)4F~aVo  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 KE3`5Y!  
gSwV:hm  
e&;e<6l&{  
性能评估-点位偏差 04-_ K  
a2B71RT~  
                              
dhtH&:J< ;  
性能评估-光斑直径测量                                                       uC;_?Bve  
_ l|%~  
QcL@3QC  
RG{T\9]n  
`f;w  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 ;[::&qf  
Sv M\9  
VirtualLab Fusion技术 `-uE(qp  
!^% 3  
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