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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 h7( R/Rf  
                                    
u H}cvshv  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 _dT,%q  
/GK1}h  
建模任务 f\ wP}c'  
nQ0g,'o  
系统构建块-扫描源                                                
?3Ytn+Py  
o2FQ/EIE  
How to Set Up a Scanning Source <mm. b  
                                                                               0u]!C"VX  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 'nOc_b0  
W?5u O  
系统构建块-参数耦合 r>=)Y32Q  
   HMQi:s7%  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion i)Hjmf3  
                                                                              
73kF=*m  
系统构建块-失真分析仪 n5Ad@Bg  
                                                                      
6dG:3n}  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 w`kn!k8  
"t4$%7L]  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               @S/jVXA  
NuLyu=.?  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
l2))StEm  
!ejLqb  
VP|ga }(  
wf4?{H  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: +Ar=89  
B'( /W@  
Universal Detector nE!h&}(  
                                                                               m{(G%n>E&  
总结-组件 {5tb.{  
_e%jM[  
c2aX_ "  
系统观感   lkNaSz[  
bLrC_  
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 0{0|M8  
b5kw*h+/'h  
ZT>?[`Vgc  
性能评估-点位偏差 )/BI :)  
"pdq_35  
                              
~)';[Ha  
性能评估-光斑直径测量                                                       xz1jRI$  
XH_XGzBQS  
e;1n!_l\  
9>y6zFTV  
7Sc._G{[%  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 RP}.Ei  
H-&Z+4 +Xs  
VirtualLab Fusion技术 2hOr#I$/  
%nU8 Ca  
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