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infotek 2025-05-29 08:37

F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要 #8i DM5:EQ  
                                    
ACctyGd  
F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 fX2sjfk  
xG/B$DLn  
建模任务 4hz T4!15  
"A6m-xE~  
系统构建块-扫描源                                                
=+DfIO  
g1Ed:V]_  
How to Set Up a Scanning Source kNR -eG  
                                                                               0*]n#+=  
系统构建块-透镜系统组件                                                                 UQ c!"D  
Py y!B  
系统构建块-参数耦合 nm Y_)s  
   C3)*Mn3%P  
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion J}BN}|Y@2  
                                                                              
-n FKP&P  
系统构建块-失真分析仪 m Q4(<,F  
                                                                      
/W9(}Id6  
实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 \2)D  
y)vK=,"  
虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               %;_94!(hC  
fG9 ;7KG  
通用探测器和探测器附加组件                                                    
4PjC[A*  
i' V("  
E@,m +  
K*I!:1;3N  
Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: mX 3p   
6~c#G{kc  
Universal Detector 5.1z9[z  
                                                                               5(>SFxz"t  
总结-组件 ]-8WM5\qJM  
qYoB;gp  
l^F ?^kP  
系统观感   d|?Xo\+  
7UIf   
通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 V6Mt;e)C  
y+3+iT@i  
&S,_Z/BS;  
性能评估-点位偏差 *4/FN TC  
m< H{@ZgN(  
                              
TZ *>MySiF  
性能评估-光斑直径测量                                                       G/*;h,NbNr  
|Dt_lQp#  
mG"xo^1_H  
cbN;Kv?ak}  
nr2 Q[9~  
此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 CP~mKmMV  
o^XDG^35`  
VirtualLab Fusion技术 {{jV!8wK  
c {/J.  
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