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infotek 2025-05-22 08:04

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 e5\1k#@  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 dz.MH  
                                                             0`Qs=R`OM  
建模任务                                                         (Jr;:[4XC  
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光栅元件   lxJ.h&"P  
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通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: F(n))`(  
• FMM/RCWA p2?+[d  
• Diffractive Lens Component _4#psxl[M  
                                                             (Q} ijwj  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       cG"<*Xi<  
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XD>@EYN<X  
正弦光栅-传输相位形态     ^/YAokj  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         Yx/~8K_%M?  
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正弦光栅-衍射效率 VDN]P3   
Mo=-P2)>lt  
                                                        
U,(+rMeY0  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ~"B[6^sW  
Nr+1N83S}  
  
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xf SvvCy  
正弦光栅—选定周期的相位形态   gJv^v`X  
                                  
nxRrmR}F  
/ /rWc,c  
                                                             !XC7F UO  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) e5]0<s$  
uV:;y}T^Z  
                                                      
q|2C>{8  
闪耀光栅-传输相位形态                                                         /L Tyiiz6  
0g)mf6}o  
9R3=h5Y  
m"}G-#  
闪耀光栅-衍射效率                                                         GTe9@d  
U.x.gZRo[  
0:8'Ov(  
                                                             Ut=y`]F  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         tB7aHZ|  
p}z0(lQ*~  
"j>0A Hem  
                                                             !*-cf$  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                          S_6;e|  
s1q d/  
_m-r}9au   
                                                             vX%gcs/@  
VirtualLab Fusion技术   95&HsgdxJ  
P.7B]&T6  
                                                    
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