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infotek 2025-05-22 08:04

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 mZ"4&U  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 >y:,9;  
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建模任务                                                         CDR@ `1-  
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光栅元件   (7=!+'T"  
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通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: M>ruKHipFE  
• FMM/RCWA Opc ZU{4 b  
• Diffractive Lens Component 0-yp,G  
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正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       c?&X?<  
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                                                 OL,TFLn4  
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正弦光栅-传输相位形态     8jo p_PG'  
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正弦光栅-传输相位形态                                                         E`de7  
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正弦光栅-衍射效率 T1Z;r*}  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       JJ2_hVU  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   ]J$eDbaEjT  
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闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ADP%QTdqFJ  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         VE {3}S  
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闪耀光栅-衍射效率                                                         W~~7 C,!  
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闪耀光栅-效率vs.周期                                                         'H&2HXw&2  
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                                                             9~mh@Kgv  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         n%C>E.Tq  
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VirtualLab Fusion技术   ")dH,:#S  
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