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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 A:[La#h|p  
A- IpE  
vV.'&."g  
Hk8:7"4Q  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 i>r4Rz!  
z.oDH<1  
建模任务 <=n$oMO  
s0v?*GRX  
ovzIJbf  
r|cl6s!P  
模拟&设置:单平台互操作性 WaF<qhu*  
建模技术的单平台互操作性 +jO1?:Lr  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 DzO0V"+H}k  
neJNMdv@T  
=|S8.|r+  
Q bfm*JP~  
 平面波光源 nCh9IF[BL/  
 微透镜阵列 QkZT%!7  
 彩色滤光片(吸收介质) C\dQ6(3}\  
 通过基底传播 lF5;K c  
 探测 UP 1Y3  
6Z ~>d;&9  
连接建模技术:微透镜 r ^_8y8&l  
uCF+Mp  
: RnjcnR  
VXZdRsV8T  
rI o`n2  
连接建模技术:彩色滤光片 X<K[` =I  
qD7(+a  
$@Zb]gavt?  
(<s7X$(]e  
连接建模技术:可编程介质 huWUd)Po%  
JxiLjvIq  
b.47KJzt  
E,shTh%&~  
连接建模技术:自由空间传播 44f8Hc1g  
u3Z*hs)Z%  
&at>pV3_  
 7.CzS  
连接建模技术:堆栈 (3 8.s:-  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 G'MYTq  
gEIjG  
6|X  
vUS$DU F  
 微透镜阵列 !9356) cV  
 彩色滤光片(吸收介质)  ?Vbe  
 通过基底传播 ,8;;#XR3  
 探测 q-/A_5>!;f  
^(V!vI*  
元件内场分析器:FMM ZL#4X*zT  
#AyM!   
 v#IW;Rj8  
(+4gq6b  
模拟结果 *oY59Yf  
(=CV")tF  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) W~.1f1)  
[ k^6#TQcn  
r|fJ~0z  
/e|`mu%  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -869$  
i:&Y{iPQp  
3VCyq7 B^  
4Yt:PN2  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) tU!"CX  
@0A0\2  
%~4R)bsJ'  
S!#7]wtbP  
3D仿真与结果比较 4_&$isq  
/ ]>&OSV  
O2:m)@  
ti`z:8n7  
3D仿真与结果比较 k^C;"awh  
qX0IHe  
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