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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 M{U{iS  
D];%Ey  
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,EyZ2`|  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 {*VCR  
`I(#.*  
建模任务 s? /#8 `  
2IgTB|2  
OI3UC=G  
`T H0*:aI  
模拟&设置:单平台互操作性 cd36f26`"w  
建模技术的单平台互操作性 G.2ij%Zz  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 W+3ZuAP\n  
H6ff b)&  
K1rF;7Y6  
3[kY:5-  
 平面波光源 ^qL2Q*  
 微透镜阵列 Oj<.3U[C  
 彩色滤光片(吸收介质) 8}m bfu o1  
 通过基底传播 `=A*ei5  
 探测 k r0PL)$  
0GR\iw$[J  
连接建模技术:微透镜 zGrUl|j  
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aa8xo5tIp  
8*rd`k1 |g  
3,~M`~B  
连接建模技术:彩色滤光片 MWv_BXQ  
[KA&KI^hF  
F+A"-k_\T#  
VUXG%511T  
连接建模技术:可编程介质 "mbcZ5 _  
TrxZS_  
K!/"&RjW.  
S<"M5e  
连接建模技术:自由空间传播 2 s,[DC  
x`@!hJc:[e  
^,L vQW4  
csg:# -gE  
连接建模技术:堆栈 z=TaB^-)  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 p[BF4h{E  
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 微透镜阵列 k=,,s(]tx  
 彩色滤光片(吸收介质) lWS @<j  
 通过基底传播 l6Hu(.Ls;j  
 探测 =[8EQdR  
jU2Dpxkt  
元件内场分析器:FMM 8H4"mxO  
5~T`R~Uqb  
5t]}(.0+  
`IQ01FuP  
模拟结果 `oP<mLxle  
%"GF+  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) mA|&K8H  
-lHSojq~H  
NvH9?Ek"  
(vm &&a@  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Js7(TFQE  
OU;R;=/]  
*<k8H5z8]  
dR"H,$UH  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) E~?0Yrm F  
q[4{Xh  
T"1H%65`V  
m+p}Qi8i)  
3D仿真与结果比较 su]CaHU  
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3D仿真与结果比较 }:u" ?v=|j  
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