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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 cMv3` $  
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 CmTJa5:  
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建模任务 #t O!3=0  
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模拟&设置:单平台互操作性 |>4{4  
建模技术的单平台互操作性 ^Ram8fW  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 msylb~^  
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 平面波光源 #k)\e;,X  
 微透镜阵列 `2PT 8UM  
 彩色滤光片(吸收介质) r . ^&%D  
 通过基底传播 ZTZE_[  
 探测 n&]w* (,  
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连接建模技术:微透镜 %u}sVRJ  
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连接建模技术:彩色滤光片 sXxO{aeev  
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连接建模技术:可编程介质 t^hkGYj!2  
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连接建模技术:自由空间传播 IJ; *N  
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连接建模技术:堆栈 7p6J   
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 !`lqWO_/ :  
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 微透镜阵列 N&=2 /  
 彩色滤光片(吸收介质) +ctv]'P_  
 通过基底传播 K8Zk{on  
 探测 hm>*eJNp]  
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元件内场分析器:FMM BtChG] N|  
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模拟结果 zi .,?Q  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) RCXSz  
R"`{E,yj  
Q%Q?q)x  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) u V7Hsg9l  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ~79Qg{+]N  
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3D仿真与结果比较 }TJ|d=  
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3D仿真与结果比较 k^c=y<I  
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