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infotek 2025-04-07 08:10

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 H?8'(  
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X!^|Tass  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 Z[d13G;  
4C%pKV  
建模任务 25-h5$s  
/ + %  
-X~|jF  
|g)>6+?]W  
模拟&设置:单平台互操作性 I 4?oBq  
建模技术的单平台互操作性 \|HNFxT`  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 FA$32*v  
j]<K%lwp  
SeDk/}/~e  
7#%Pry  
 平面波光源 ^PezV5(  
 微透镜阵列 J;8 d-R5  
 彩色滤光片(吸收介质) T-6<qh  
 通过基底传播 3u$1W@T(  
 探测 qrw  
PBCGC^0{  
连接建模技术:微透镜 6{HCF-cQd  
U|%}B(  
W Eif&<Y  
,:A;4  
|oXd4  
连接建模技术:彩色滤光片 BB(6[V"SV  
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p\ ;|Z+0=  
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连接建模技术:可编程介质 bC1G5`v_D  
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连接建模技术:自由空间传播 T TN!$?G3  
Q'jw=w!|g  
ud$-A  
3>@VPMi  
连接建模技术:堆栈 yW= +6@A4  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 O.(2  
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 微透镜阵列 (;},~( 2B  
 彩色滤光片(吸收介质) za@/4z  
 通过基底传播 V9BW@G@9  
 探测 5MAfuHq^  
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元件内场分析器:FMM &b tI#  
CC`_e^~y=F  
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模拟结果 Xi98:0<=  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]$[sfPKA  
)_=2lu3%{  
c Rq2 re  
D![v{0er  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) p/HDG ^T:u  
^ U*y*l$  
rQVX^  
73D< wMgZF  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Lz'VQO1U=  
w31Ox1>s  
1*TbgxS~W  
Z,.Hz\y1D  
3D仿真与结果比较 ^!&6 =rb  
E=p+z"Ui  
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3D仿真与结果比较 PC#^L$cg}  
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