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infotek 2025-02-19 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             tqK=\{U  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             B={/nC}G~  
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仿真任务                                                                             [FGgkd}  
   zLP],wB  
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连接建模技术:倾斜光栅 MSl&?}Bj  
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                                                                     8x9Rm  
"3SWO3-x  
可用的微结构建模技术: )R~aA#<>  
I~)cYl:|G  
d/S+(<g  
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光栅阶数分析仪 X(]Zr  
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z>G;(F2  
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参数变化分析仪                                                                             H d*}k6  
   7:TO\0]2n  
                                                                             Lj8)' [K"  
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参数优化                                                                             %(`#A.yaE  
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优化结果-平均效率 %k2FPmA6  
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优化结果-对比度 `4V"s-T'  
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