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infotek 2025-02-19 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             c?f4Q,%|  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             :j9l"5"  
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仿真任务                                                                             l[mWf  
   M)J5;^["  
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连接建模技术:倾斜光栅 q 6:dy  
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可用的微结构建模技术: zsEc(  
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                                                                                 p,5i)nEFj  
光栅阶数分析仪 59LZv-l  
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,8S/t+H  
O@T9x$  
参数变化分析仪                                                                             GvtG(u~  
   `&r+F/Ap2  
                                                                             gD-d29pQ  
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参数优化                                                                             Avge eJi  
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优化结果-平均效率 uanhr)Ys  
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优化结果-对比度 ,Q3T Tno ,  
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