VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
,hE989x<iI 时间地点 f7&9IW`7F^ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 sAoxLI 苏州黉论教育咨询有限公司 mTL JajE/ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 T _fM\jdI 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 A}(o1wuw 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 L.: 8qY 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) <4582x,G ?$VkMu$2k 课程简介 -0P9|;h5 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 !i\ gCLg2_ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 Sv!JA#Ag 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 ZKai*q4? \q^:$iY~ 课程大纲 Cl!9/l?z 第一天 xL"O~jTS 1. 基本干涉原理 d-TpY*v 干涉发生的条件 iWIq~t*,H] 杨氏双缝特性 kq@~QI?9 2. 典型的干涉仪系统建模 R$;TX^r'o& 光学层析扫描在面型检测中的应用 *NC@o* 基于涡旋光的干涉测量系统 TQ=HFs
~ 激光准直镜的测量 \} _,g 基础Mirau干涉仪的仿真 w@LLxL>Y Q&A ygQe'S{!S\ 第二天 MfO:BX@$ 1. 干涉系统的应用 .AZwVP< 光学系统部分相干性测试 tTWEhHQ` 法布里腔干涉仪分辨光谱 B:Hr{%O 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) I+
Y{_yw"f 全息曝光干涉 OsKtxtLO 2. 多尺度系统建模仿真 _tE55X& 衍射光栅干涉测量 JX{_,2*$ 阿贝成像理论 ^9kx3Pw?8 单色仪/光谱仪系统仿真 2+ywl}9 用于微结构晶圆检测的光学系统 2OQ\ z;s 不同轮廓亚波长光栅的成像 F6aC'<#/ 结构光照明显微镜与STED显微镜 8 [D" SPR表面等离子共振效应
Z58{YC Y 3. 摩尔纹系统 <T&v\DN 摩尔纹检测系统 \>X!n2rLZe Q&A Y=5P=wE  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
|