VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
]z5gC`E0 时间地点 hFr?84sAd 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 @G0j/@v 苏州黉论教育咨询有限公司 Auf2JH~ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 [9xUMX^} 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 ($Y6hn+ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 \F8*HPM=* 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) R{A$hnhW6 9UeK}Rl^n 课程简介 9|RR;k[ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 oN
" /w~ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 ,MdK "Qa> 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 4^Ghn }dO^q-t$3 课程大纲 K\`>'C2_V 第一天 fS(IN~ 1. 基本干涉原理 l-RwCw4f 干涉发生的条件 isR|K9qf^ 杨氏双缝特性 0N19R 5NN8 2. 典型的干涉仪系统建模 l:H}Y3_I 光学层析扫描在面型检测中的应用 p@+r&Mg%W" 基于涡旋光的干涉测量系统 ds" q1 激光准直镜的测量 +$H`/^a. 基础Mirau干涉仪的仿真 &o$Pwk\p/ Q&A Zjx:1c= b 第二天 PK<+tIm\ 1. 干涉系统的应用 MUfhk)" 光学系统部分相干性测试 BR [3i}Ud 法布里腔干涉仪分辨光谱 b 6B5 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) mh=YrDU+L 全息曝光干涉 9akIu.H 2. 多尺度系统建模仿真 PhOtSml0 衍射光栅干涉测量 q2C._{ 0' 阿贝成像理论 Xv'5%o^i* 单色仪/光谱仪系统仿真 ;VAHgIpx; 用于微结构晶圆检测的光学系统 oWo/QNw9 不同轮廓亚波长光栅的成像 I>( \B| \6 结构光照明显微镜与STED显微镜 *c6o#[l SPR表面等离子共振效应 p 3*y8g- 3. 摩尔纹系统 rW(<[2 vg 摩尔纹检测系统 N\9Wxz$ Q&A 7; e$ sr  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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