VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
9vDOSwU* 时间地点 \@h$|nb 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 &CXk=Wj 苏州黉论教育咨询有限公司 862rol 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 /TB{|_HbW 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 $Q'LDmot 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 |XQ_4{ 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 7 J6Z? 6; )5v 课程简介 M?P\ YAn$ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 x_-V{
k 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 Fo;J3<U) 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 BaP'y8dVN bxO/FrwTj{ 课程大纲 1Lje.%(E. 第一天 v/~&n 1. 基本干涉原理 qG~6YCqii 干涉发生的条件 s%vy^x29 杨氏双缝特性 `) ],FE*: 2. 典型的干涉仪系统建模 {=J: 光学层析扫描在面型检测中的应用 #k d9} 基于涡旋光的干涉测量系统 y}={S,z%22 激光准直镜的测量 GZx*A S]+ 基础Mirau干涉仪的仿真 f9y+-GhaD Q&A Dz2Z
(EXI~ 第二天 c,)]!{c 1. 干涉系统的应用 ]^wr+9zd 光学系统部分相干性测试 >hG*=4oh 法布里腔干涉仪分辨光谱 <0~1 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) up8d3 全息曝光干涉 y.8nzlkE{ 2. 多尺度系统建模仿真 X$Q.A^9 衍射光栅干涉测量 hHDLrr 阿贝成像理论 vQ2{+5!| 单色仪/光谱仪系统仿真 L"S2+F)n 用于微结构晶圆检测的光学系统 \C>vj+!cJ 不同轮廓亚波长光栅的成像 v}AjW%rB
结构光照明显微镜与STED显微镜 WL,2<[)Ew SPR表面等离子共振效应 (IjM 3. 摩尔纹系统 CHO_3QIz 摩尔纹检测系统 Xj30bt Q&A <|G!Qn?2-  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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