VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
&<x.D]FA] 时间地点 %ufh 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 ~4pP(
JP 苏州黉论教育咨询有限公司 IITUM) 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 =n5n 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 9/!1J 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 =\_gT=tZ 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) $[}EV(#y `LNhamp 课程简介 Fsm6gE`|n 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
`!t-$i 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 Q5ff&CE 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 B2oKvgw ^D5Jqh)
课程大纲 ^GAJ9AF@( 第一天 r<vy6 1. 基本干涉原理 rrr_{d/
干涉发生的条件 -$?t+ "/E 杨氏双缝特性 4uzMO < 2. 典型的干涉仪系统建模 ~uH_y- 光学层析扫描在面型检测中的应用 g0bYO!gCr 基于涡旋光的干涉测量系统 nj0sh"~+ 激光准直镜的测量 9Q^cE\j 基础Mirau干涉仪的仿真 Bcarx<P-p Q&A 'UUj(1
f 第二天 Vi: ^bv 1. 干涉系统的应用 :IU7dpwDl 光学系统部分相干性测试 :^Pks R 法布里腔干涉仪分辨光谱 hrtz>qN 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) c\2rKqFD8 全息曝光干涉 qxb]UV,R 2. 多尺度系统建模仿真 4MS#`E7LrC 衍射光栅干涉测量 =$Mf:F@ 阿贝成像理论 "5Y6.$Cuf! 单色仪/光谱仪系统仿真 ghWWJx9 用于微结构晶圆检测的光学系统 Qw:!Rw,x 不同轮廓亚波长光栅的成像 >xabn*Kq 结构光照明显微镜与STED显微镜 R?O)vLmd SPR表面等离子共振效应 +:uz=~mo` 3. 摩尔纹系统 MNWI%*0LO 摩尔纹检测系统 3q}j"x? Q&A ?/"|tuQMW  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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