VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
Y)1/fEM 时间地点 c*)T4n[e 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 ,m=G9QcN 苏州黉论教育咨询有限公司 /TpTR-\I0 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 }3{eVct#| 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 ,u
`xneOs 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 7[1Lh'u 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) M@cFcykK =
wD#H@ h 课程简介 uyWheR 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 Z~J]I|R: 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 "N}t =3i$ 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 PQ4mNjXN <,M"kF: 课程大纲 PFJ$Ia| 第一天 Hh%!4_AMw 1. 基本干涉原理 i1B!oZ3q 干涉发生的条件 O-(V`BZe 杨氏双缝特性 =LaEEL 2. 典型的干涉仪系统建模 ?8-Am[xH 光学层析扫描在面型检测中的应用 t8*Jdd^3Z/ 基于涡旋光的干涉测量系统 4C*ywP 激光准直镜的测量 $%~JG( 基础Mirau干涉仪的仿真 <8:h%%$? Q&A ' h7Faj 第二天 )pHtsd. eP 1. 干涉系统的应用 YbZbA >| 光学系统部分相干性测试 VhO%4[Jl 法布里腔干涉仪分辨光谱 g+#awi7 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) T`x|=} 全息曝光干涉 36=aahXd\ 2. 多尺度系统建模仿真 AQ'%}(#0 衍射光栅干涉测量 L_Ok?9$ 阿贝成像理论 -ZaeX]^&Q\ 单色仪/光谱仪系统仿真 9nG^_.}| 用于微结构晶圆检测的光学系统 {,%&}kd> 不同轮廓亚波长光栅的成像 OH
t)z.
结构光照明显微镜与STED显微镜 G=:/v SPR表面等离子共振效应 I\mF dE 3. 摩尔纹系统 oqJYbim 摩尔纹检测系统 +hN>Q$E Q&A cw<IL  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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