VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
j_::#?o!/ 时间地点 d5zv8?|X+ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 {}r#s> 苏州黉论教育咨询有限公司 KxyD{W1 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 ?b?6/_W~R 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 dNH6%1(s]0 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 sw<mmayN 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) f{
;L"*L :@BAiKa[wa 课程简介 Af~>}-`a 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 z+ch-L^K4 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 =:)p\{B 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 vL>cYbJ< W7bA#p( 课程大纲 ?T]` X
第一天 =<,>dBs}\ 1. 基本干涉原理 cK()_RB# 干涉发生的条件 |;~kHc$W 杨氏双缝特性 DhN{Y8'~ 2. 典型的干涉仪系统建模 j#}wg`P"A 光学层析扫描在面型检测中的应用 I4[sf 基于涡旋光的干涉测量系统 1r!o,0!d-' 激光准直镜的测量 #~3$4j2U(y 基础Mirau干涉仪的仿真 L#t^:% Q&A >K|<hzZ 第二天 I-?PTr 1. 干涉系统的应用 .[%^~q7 光学系统部分相干性测试 =t[hs l 法布里腔干涉仪分辨光谱 OV@MT^ 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) Y^ Of 全息曝光干涉 u'Od~x^z 2. 多尺度系统建模仿真 /wt!c?wR 衍射光栅干涉测量 d@sAB1: 阿贝成像理论 OoW,mmthj> 单色仪/光谱仪系统仿真 (d9G` 用于微结构晶圆检测的光学系统 7T\LYDT 不同轮廓亚波长光栅的成像 rM?O 2n 结构光照明显微镜与STED显微镜 c@eQSy SPR表面等离子共振效应 8C,}nh 3. 摩尔纹系统 kn$2_I9 摩尔纹检测系统 !hMD>B2Z Q&A N>zpxU {  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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