VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
ipS:)4QFxJ 时间地点 ~re~Ys 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 _7'5I A 苏州黉论教育咨询有限公司
es< 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 $4BvDZDk`B 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 JB'XH~4H 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 l_Zx'm 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) #Sg"/Cc bbT$$b- 课程简介 664D5f#EJ 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 -s]@8VJA" 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 |^"0bu" 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 *NC@o* TQ=HFs
~ 课程大纲 \} _,g 第一天 w@LLxL>Y 1. 基本干涉原理 "Cs36k 干涉发生的条件 J M`[|"R% 杨氏双缝特性 gj
I>tz} 2. 典型的干涉仪系统建模 'UM *7 光学层析扫描在面型检测中的应用 }
| 基于涡旋光的干涉测量系统 oXUb_/ 激光准直镜的测量 <LN7+7} 基础Mirau干涉仪的仿真 6"R'z#{OF Q&A 5GGO: 第二天 nlA:C>= 1. 干涉系统的应用 'c# }^@G 光学系统部分相干性测试 gU1Pb]] 法布里腔干涉仪分辨光谱 {(I":rt# 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) !;0K=~(Y^ 全息曝光干涉 "F[7b!>R 2. 多尺度系统建模仿真 D"%> 衍射光栅干涉测量 BvUiH<-D 阿贝成像理论 Fu5c_"! 单色仪/光谱仪系统仿真 m"QDc[^Ge 用于微结构晶圆检测的光学系统 n~.$iN 不同轮廓亚波长光栅的成像 M=3gV?N 结构光照明显微镜与STED显微镜 aemi;61T\ SPR表面等离子共振效应 ck\W'Y*Q7 3. 摩尔纹系统 Ej1<T,w_ 摩尔纹检测系统 c94=>p6 Q&A 'by+hXk  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131535]
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