VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
Cus=UzL 时间地点 J<DV7zV 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 |Y3!Lix 苏州黉论教育咨询有限公司 o;Ijv\Em 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 6QdNGpN 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 /R#-mY 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 ':#?YQ}2 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) .;WJ(kB\U 2>Kq)Ii 课程简介: a:@9GmtV& 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 Ku LZg zF/}s_><* 课程大纲: i]GBu 第一天 7HPLD&WPt 1. 光栅结构建模 etf ft8 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 6A M,1 光栅的建模 tYIHsm\b 2. 光栅仿真算法比较 %Hv$PsSJ 薄元近似法(Thin Element Approximation) $gDp-7 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) 0kgK~\^,.O 3. 光栅严格分析实例 LoHWkNZ5: 闪耀光栅 a#H=dIj 光栅与偏振 [e)81yZG> 非傍轴衍射分束器分析 Wy#`*h, 4. 光栅设计与优化 r0G#BPgdR 倾斜光栅结构参数优化 Af=%5% 公差分析 q" wi.&| 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 mDE{s",q/ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 o0 -e,F>u Q&A WAY<X:|We cYx=8~- 第二天 N-^\X3X 1. 二维光栅结构建模 =D5@PHpv( 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) 2BH>TmS 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 sxL;o>{ 2. 二维光栅设计优化 P@9>4}r$ 抗反射蛾眼结构设计 X1<)B]y 公差分析 4:r^6m%% 纳米柱的严格分析 >|0yH9af 共振光子晶格仿真 P},S[GaZ 3. 超表面微纳结构 y NV$IN% 超表面分光光栅设计 _zh}%#6L 设计和分析超透镜 R,Zuy(g 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 Y@eHp-[ 4. 包含光栅的光学系统仿真 lk.Q6saI1 光栅衍射测量 ]p'Qk 结构光照明的显微镜系统 fH`1dU 微结构晶圆检测系统 7P/j\frW 泰伯效应 nWFp$tJ/R Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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