VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
f/=0 时间地点 |FcG$[ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 .Ftml' ! 苏州黉论教育咨询有限公司 l s_i)X 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 zO+nEsf^O 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 -,i1T(p1 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 wWm#[f],? 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) JZ<O-G+ 7v?Ygtv 课程简介: Z@h]dU5%a 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 QHQj6] L3W
^ip4 课程大纲: V]<dh|x 第一天 8=SNLO 1. 光栅结构建模 =X1$K_cN 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 V}JW@ 光栅的建模 tL3(( W" 2. 光栅仿真算法比较 6F<L4*4U
薄元近似法(Thin Element Approximation) D,)~j6OG8 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) {:rU5 !n 3. 光栅严格分析实例 <h;P<4JX 闪耀光栅 r&H>JCRZ<= 光栅与偏振 X%gJ,c(4 非傍轴衍射分束器分析 Z>{8FzP.F 4. 光栅设计与优化 7_{x '#7 倾斜光栅结构参数优化 d82IEhZ# 公差分析 f{+8]VA 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 0J_ x*k6 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 [oYe/<3 Q&A adxJA}K} kg-%:;y. 第二天 wF&\@H 1. 二维光栅结构建模 aTPpE9Pa& 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) sC}/?^q 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 ";zl6g" 2. 二维光栅设计优化 !"1bV
[^ 抗反射蛾眼结构设计 J=Jw"? f 公差分析 9np<r82 纳米柱的严格分析 [s2%t"H-y 共振光子晶格仿真 8m9G^s`[ 3. 超表面微纳结构 ,CvU#ab8$ 超表面分光光栅设计 L,:U _\HQ 设计和分析超透镜 p;'vOb 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 IAtZ-cM< 4. 包含光栅的光学系统仿真 X)|%[aX}q 光栅衍射测量 9R E;50h 结构光照明的显微镜系统 "5e]-u' 微结构晶圆检测系统 LZ@^ A]U 泰伯效应 %?cPqRHJ ~ Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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