VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
|H<|{{E 时间地点 sV&`0N 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 }P16Xb)p 苏州黉论教育咨询有限公司 qY# m*R 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 @#1cx 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 `GP3D~ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 F1/6&u9I 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) gnYnL8l`J )ZviS. 课程简介: wiKCr/ 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 D@2Ya/c dV$3u"9 课程大纲: mMga"I9 第一天 iczs8gj* 1. 光栅结构建模 a_xQ~:H 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 |F3vRt@ 光栅的建模 'wegipK~R 2. 光栅仿真算法比较 uFMs^^# 薄元近似法(Thin Element Approximation) Q1K"% 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) D1"1MUSod 3. 光栅严格分析实例 a\.//? 闪耀光栅 'et(:}i 光栅与偏振 l85O-g}M 非傍轴衍射分束器分析 $Gr4sh!cE 4. 光栅设计与优化 IQo]9Lx 倾斜光栅结构参数优化 Cq
TH!'N 公差分析 yIM.j;5:~5 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 #!(Zn:[ 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 +'!h-x1y~ Q&A ,ZLG7e 7 _X&5ni 第二天 :t_}_!~ 1. 二维光栅结构建模 2#,8evH 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) 2K5}3<KD/ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 p!. / 2. 二维光栅设计优化 W^-hMT]uD 抗反射蛾眼结构设计 Jv-zB]3& 公差分析 W,0KBkkp 纳米柱的严格分析 {\
A_% 共振光子晶格仿真 k?!TjBKm 3. 超表面微纳结构 ")fOup@ ^a 超表面分光光栅设计 IEKMa 设计和分析超透镜 s{b0#[ 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 O@G<B8U,K 4. 包含光栅的光学系统仿真 8JQ<LrIt9 光栅衍射测量
J(H??9(s 结构光照明的显微镜系统 _:oMyK' 微结构晶圆检测系统 H&"_} 泰伯效应 X20<r?^,, Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131534]
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