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infotek 2025-02-18 15:10

VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

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时间地点 kzgH p,;R{  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 fy9{W@E3p  
苏州黉论教育咨询有限公司 /]<0`nI.  
授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 eJ$?T7aUf  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 BeaX 0#\  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 ANn {*h  
课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) [,|KVc=&H  
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课程简介 J'^BxN&  
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 XC0G5rtB  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 #=Q/<r.~G  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 W&BwBp]K  
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课程大纲 HSp*lHU  
第一天
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1. 基本干涉原理 oQWS$\Rr.  
 干涉发生的条件 ^=E4~22q  
 杨氏双缝特性 %v : a  
2. 典型的干涉仪系统建模 \9@*Jgpd6*  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 w&`gx6?-na  
 基于涡旋光的干涉测量系统 z=BX-)  
 激光准直镜的测量  Rb\=\  
 基础Mirau干涉仪的仿真 1\kOjF)l  
Q&A zZki9P   
第二天
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1. 干涉系统的应用 {foF[M  
 光学系统部分相干性测试 .Eh~$wm  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 a5L#c=  
 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) REnRpp$  
 全息曝光干涉 ~e,  
2. 多尺度系统建模仿真 c<DsCzX  
 衍射光栅干涉测量 C<6u}czA  
 阿贝成像理论 &Mo=V4i>  
 单色仪/光谱仪系统仿真 {B?%r[nW  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 Qj[4gN?}=  
 不同轮廓亚波长光栅的成像  @*%Q,$  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 vlp]!7v  
 SPR表面等离子共振效应 &Vvy`JE  
3. 摩尔纹系统 Xdq2.:\  
 摩尔纹检测系统 b (;"p-^  
Q&A
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