VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
N1x~-2( 时间地点 J?4dafkw 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 t47;X}y f 苏州黉论教育咨询有限公司 q$ j 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 iHQ$L# 7 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 g~9b_PY9 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 EW`WFBjj 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) H_1&>@ 3 wCj)@3F 课程简介 T5:xia>8O 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 /pLf?m9 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 cw0uLMqr` 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 z 61F q z|(<Co8#. 课程大纲 8"V1h72vcW 第一天 g$/7km{TP 1. 基本干涉原理 Bcb
'4*: 干涉发生的条件 ztp2j%' 杨氏双缝特性 QWC C 2. 典型的干涉仪系统建模 g-m,n=qu 光学层析扫描在面型检测中的应用 :}gEt?TUhs 基于涡旋光的干涉测量系统 5rQu^6& 激光准直镜的测量 Qz$nWsD 基础Mirau干涉仪的仿真 zq3f@xOK Q&A 53bVhPGv 第二天 6%wlz%Fp 1. 干涉系统的应用 yDRi 光学系统部分相干性测试 lWP]}Uy=5~ 法布里腔干涉仪分辨光谱 'Ddzlip 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) E9@Sc>e 全息曝光干涉 z;N`jqo 2. 多尺度系统建模仿真 '0I> 衍射光栅干涉测量 )6o%6$c 阿贝成像理论 l2Rnyb<;; 单色仪/光谱仪系统仿真 x>T+k8[n 用于微结构晶圆检测的光学系统 3Lv5>[MnN 不同轮廓亚波长光栅的成像 <P]%{msGH 结构光照明显微镜与STED显微镜 |U$ "GI SPR表面等离子共振效应 3hA5"G+7 3. 摩尔纹系统 ?<Mx* l 摩尔纹检测系统 'tX}6wurf Q&A g+?2@L$L  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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