VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真
"F&Tnhh4 时间地点 "AT&!t[J 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 EwTS!gL 苏州黉论教育咨询有限公司 qsI{ b<n 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 *
zd. 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 @; W<dJ<X 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 y' 2<qj 课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) \U==f&G?J xg(<oDn+\ 课程简介 PqTYAN&F 纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 `ffj8U 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 UP\8w#~ 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 P1dN32H
o lTn;3' 课程大纲 )$MS
0[? 第一天 g<M0|eX@~ 1. 基本干涉原理 #N; $ 干涉发生的条件 w(aUEWYL 杨氏双缝特性
*hV4[= 2. 典型的干涉仪系统建模 G?>qd}]y0L 光学层析扫描在面型检测中的应用 !$xzAX,
基于涡旋光的干涉测量系统 ZQ@3P7T 激光准直镜的测量 !>\9t9 基础Mirau干涉仪的仿真 @=CLeQG` Q&A pMOD\J:l, 第二天 IoQr+:_R 1. 干涉系统的应用 P<8LAc$T 光学系统部分相干性测试 ,&0Z]* 法布里腔干涉仪分辨光谱 'zE:
fLo 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) EH(tUwY%{ 全息曝光干涉 g .3f2w 2. 多尺度系统建模仿真 XnD0eua# 衍射光栅干涉测量 S<*' ;{5~ 阿贝成像理论 Nc,*hsx' 单色仪/光谱仪系统仿真 AD(xaQ&T 用于微结构晶圆检测的光学系统 m^z,,t9 不同轮廓亚波长光栅的成像 e "_&z#
2_ 结构光照明显微镜与STED显微镜 e!6eZ)l SPR表面等离子共振效应 d"Bo8`_ 3. 摩尔纹系统 r8sdzz% 摩尔纹检测系统 0xv\D0 Q&A Yi[4DfA  对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131529]
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