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infotek 2025-02-18 15:10

VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真

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时间地点 =gVMt  
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 Xm#W}Y'  
苏州黉论教育咨询有限公司 /.]u%;%r[  
授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 E;Z(v  
授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 ^ 4`aONydl  
课程讲师:讯技光电工程师团队成员 8~Kq "wrbu  
课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ;,77|]<XE  
_dKMBcl)E  
课程简介 DTO_IP  
纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 P@v"aa\@2)  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 5,Fq:j)MxW  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 24J c`%7,=  
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课程大纲 JSL&` `  
第一天
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1. 基本干涉原理 WARiw[  
 干涉发生的条件 H_&to3b(  
 杨氏双缝特性 w)7y{ya$  
2. 典型的干涉仪系统建模 7 yE\,  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 gTj,I=3$?e  
 基于涡旋光的干涉测量系统 a2P)@R  
 激光准直镜的测量 /EjXyrn2  
 基础Mirau干涉仪的仿真 C^ZoYf8+"m  
Q&A G_+/ e]P  
第二天
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1. 干涉系统的应用 M'%4BOpI6`  
 光学系统部分相干性测试 ,C,nNaW  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 Ta\F~$M  
 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) 8?Rp2n*o  
 全息曝光干涉 'V]C.`9c  
2. 多尺度系统建模仿真 2"D4q(@  
 衍射光栅干涉测量 f1vD{M ;  
 阿贝成像理论 l8G1N[  
 单色仪/光谱仪系统仿真 r^m&<)Ca  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 Va )W[I  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 30v xOkS  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 l`"?K D  
 SPR表面等离子共振效应 P!79{8  
3. 摩尔纹系统 .Y6v#VI  
 摩尔纹检测系统 lie,A  
Q&A
-))S  
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