VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
7"a`-]Ap 时间地点 LH3N}J({ 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 1WUFk ?p 苏州黉论教育咨询有限公司 66^1&D" 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 s3MMICRT. 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 E]u'MX 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 O]Ry3j 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) BDRYip[Sa A]tf>H#1 课程简介: I |<+'G 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 Z!*8JaMT /+<%,c$n 课程大纲: A/$KA'jX 第一天 |7S4; 1. 光栅结构建模 ~q8V<@? 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 #U!(I#^3 光栅的建模 U<gUX07 2. 光栅仿真算法比较 Y6;0khp 薄元近似法(Thin Element Approximation) A<YZBR_ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) D)O6|DiO 3. 光栅严格分析实例 Zeme`/aBb 闪耀光栅 l# !@{ < 光栅与偏振 {x&jh|f`g 非傍轴衍射分束器分析 282+1X 4. 光栅设计与优化 +]S;U&vQ 倾斜光栅结构参数优化 -hG 9 公差分析 (AM,4)lW, 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 m m J)m 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 SVg@xu+ Q&A Top#u
< o'7{ 第二天 bn*{*=(| 1. 二维光栅结构建模 ](9{}DHV 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) f1]AfH# 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 XY+aunLf
2. 二维光栅设计优化 N}l]Ilm$34 抗反射蛾眼结构设计 xPfnyAo?%z 公差分析 +3o)L?:g 纳米柱的严格分析 St3(1mApl 共振光子晶格仿真 Ltic_cjYd? 3. 超表面微纳结构 j0pvLZjM 超表面分光光栅设计 >+;
b> 设计和分析超透镜 ktw!T{ 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 #a'x)$2;R| 4. 包含光栅的光学系统仿真 7>2j=Y_Kp 光栅衍射测量 j3rv2W\ 结构光照明的显微镜系统 :S+U}Sm[ 微结构晶圆检测系统 V&,<,iNN 泰伯效应 L>5!3b=b Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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