VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
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主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 h85kQ^% 苏州黉论教育咨询有限公司 {e]ktj#+{ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 ?GT,Y5 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 c9/&A 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 |#i|BVnoE 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) xq@_'
3X br3r!Vuz/- 课程简介: hI6Tp>b*~ 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 _Dq,\} ,v@C=4'm 课程大纲: `fM]3]x> 第一天 Bw Cwy 1. 光栅结构建模 EK 8r V 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 Ge_Gx*R 光栅的建模 "K)ue@? 2. 光栅仿真算法比较 2~B9 (| 薄元近似法(Thin Element Approximation) &P:2`\' 傅里叶模态法(Fourier Modal Method) bdYx81 3. 光栅严格分析实例 8?4/ 闪耀光栅 a<CJ#B2K 光栅与偏振 QLLMSa+! \ 非傍轴衍射分束器分析 }trQ<*D 4. 光栅设计与优化 >c30kpGg 倾斜光栅结构参数优化 >HRL@~~Z 公差分析 aH'=k?Of; 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 &6O0h0Vy 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 U$m[{r2M Q&A 4?',E ddo /cC4K\M 第二天 q/eod 1. 二维光栅结构建模 .|c=]_{ 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) f+V^q4 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 L7"B`oa(p 2. 二维光栅设计优化 +Ua.\1"6 抗反射蛾眼结构设计 \J-}Dp\0b 公差分析 1zGhX]z 纳米柱的严格分析 S%IhpTSe6 共振光子晶格仿真 g!I0UAm 3. 超表面微纳结构 Wagb|B\ 超表面分光光栅设计 .vov ,J!Y 设计和分析超透镜 b{(= C
3 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 ,cFBLj(@ 4. 包含光栅的光学系统仿真 <!a%GI 光栅衍射测量 |_u|Td(n 结构光照明的显微镜系统 fl+dL#] 微结构晶圆检测系统 e3=-7FU 泰伯效应 W{X5~w( Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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