VirtualLab Fusion系列课程-专题二:光栅及超表面微纳结构的设计与仿真
dN/ "1%9) 时间地点 Q1\k`J 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 x$J.SbW 苏州黉论教育咨询有限公司 U3+_'" 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00 pQ^,. [[ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 wW! r}I# 课程讲师:讯技光电工程师团队成员 D6)Cjc>a 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) C2=iZ`Z>T yki51rOI* 课程简介: [aZ v?Z 光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 8w8I:* ^ lc}FN 课程大纲:
QXxLe* 第一天 cm 9oG 1. 光栅结构建模 i,Wm{+H-O 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 iVi3 :7* 光栅的建模 )cqDvH 2. 光栅仿真算法比较 ngY+Ym 薄元近似法(Thin Element Approximation) $:BK{,\
傅里叶模态法(Fourier Modal Method) :e<`U~8m 3. 光栅严格分析实例 h$7Fe +#I# 闪耀光栅 H"q`k5R 光栅与偏振 ]pR fY9w 非傍轴衍射分束器分析 <+-Yh_D 4. 光栅设计与优化 qz=#;&ZU 倾斜光栅结构参数优化 jFNs=D&( 公差分析
&QOWW} 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 <.=#EV^i 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 H(NT| Q&A 9oz (=R qM1)3.)[: 第二天 Jm(&G 1. 二维光栅结构建模 &I}T<v{f 体全息光栅(点光源和平行光之间干涉曝光) Rw/JPC" 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 _L4<^Etfm 2. 二维光栅设计优化 B=gsd0^] 抗反射蛾眼结构设计 NrJ_6sjF0g 公差分析 gF,[u 纳米柱的严格分析 k$-~_^4m 共振光子晶格仿真 }6CXJ+-UR 3. 超表面微纳结构 "0H56#eW 超表面分光光栅设计 [UJEU~XC 设计和分析超透镜 si^4<$Nr%j 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 gVnwsE 4. 包含光栅的光学系统仿真 1]
%W\RHxo 光栅衍射测量 Kl aZZJ 结构光照明的显微镜系统 ne"?90~ 微结构晶圆检测系统 zD)IU_GWa 泰伯效应 P!FEh'. Q&A对此课程感兴趣可以扫码加微联系[attachment=131528]
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