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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
}VetaO2* 内容简介 [pAW' : Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 reO^_q' 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `X mT)C 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 \DDRl{ ZKk*2EK]2z
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 :h(r2?=7 目录 ggQB Q/ L Preface 1 K
|Z] 内容简介 2 0P?\eoB@8 目录 i z8n=\xL 1 引言 1 ZJZKCdT@ 2 光学薄膜基础 2 [H-r0Ah 2.1 一般规则 2 h#EksX 2.2 正交入射规则 3 J/-&Fa\( 2.3 斜入射规则 6 2PaRbh{" 2.4 精确计算 7 iUH{rh! 2.5 相干性 8 I4Y;9Gg 2.6 参考文献 10 =W*Js %4 3 Essential Macleod的快速预览 10 <aScA`\B# 4 Essential Macleod的特点 32 cVR#\OM 4.1 容量和局限性 33 +f+#W 4.2 程序在哪里? 33 _--kK+rU 4.3 数据文件 35 (hb\1wZ 4.4 设计规则 35 qhIO7h 4.5 材料数据库和资料库 37 JGZxNUr^ 4.5.1材料损失 38 -C 4.5.1材料数据库和导入材料 39 SniKCqmC] 4.5.2 材料库 41 3Mlwq'pzD 4.5.3导出材料数据 43 +^@;J?O 4.6 常用单位 43 $h)VKW^\ 4.7 插值和外推法 46 VK~ OL 4.8 材料数据的平滑 50 ?J1x'/G 4.9 更多光学常数模型 54 m0$4 4.10 文档的一般编辑规则 55 N.l\2S} 4.11 撤销和重做 56 qRX:eo 4.12 设计文档 57 8*-N@j8 4.10.1 公式 58 @An "ClDa 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 l7p*::(9 4.10.3 沉积密度 59 uyfH;9L5$ 4.10.4 平行和楔形介质 60 0=,vdT 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 4!3mS WNV 4.10.4 性能 61 Z:e|~# 4.10.5 保存设计和性能 64 3P&K<M#\ 4.10.6 默认设计 64 R,
J(]ew 4.11 图表 64 =Y-ZI 4.11.1 合并曲线图 67 5PCMxjon 4.11.2 自适应绘制 68 X
(0`"rjg 4.11.3 动态绘图 68 ;FI"N@z 4.11.4 3D绘图 69 |J_kS90= 4.12 导入和导出 73 U`-]U2" 4.12.1 剪贴板 73 xGU~FU 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -$Ad#Eu]M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 :VB{@ED 4.13 背景 77 ryKc7< 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 O0i)Iu(J7; 4.15 生成Rugate 84 hM/:zC: 4.16 参考文献 91 1638U1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 7YLG<G!v)] 5.1 Jobs 92 55<f 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2y"|l 5.3 输入材料 94 q\xT 5.4 设计数据文件夹 95 ZB|y 5.5 默认设计 95 VuiK5?m 6 细化和合成 97 ahnQq9 6.1 优化介绍 97 VEtdp*ot 6.2 细化 (Refinement) 98 'Drz6K_KrP 6.3 合成 (Synthesis) 100 /3>5ex>PN 6.4 目标和评价函数 101 .8I\=+Zi 6.4.1 目标输入 102 c[n4{q1 6.4.2 目标 103 1X7tN2tQ 6.4.3 特殊的评价函数 104 jIOrB} 6.5 层锁定和连接 104 3<L>BakD 6.6 细化技术 104 Y#A0ud, 6.6.1 单纯形 105 ;hcOD4or 6.6.1.1 单纯形参数 106 :K#z~#n 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 YgFmJ.1 6.6.2.1 Optimac参数 108
oRbG6Vv/ 6.6.3 模拟退火算法 109 ;@&mR<5j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %xH2jf 6.6.4 共轭梯度 111 ];n3H~2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7"iUyZ( 6.6.5 拟牛顿法 112 )uJu.foE 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~%8T_R /3 6.6.6 针合成 113 x_yQoae
6.6.6.1 针合成参数 114 tzKIi_2 6.6.7 差分进化 114 .ZzxW 6.6.8非局部细化 115 F"?OLV1B& 6.6.8.1非局部细化参数 115 w}`TJijl 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /&`sB| 6.7.1 细化 116 Vp5i i]B4 6.7.2 合成 117 !qF U 6.8 参考文献 117 *nj={Ss& 7 导纳图及其他工具 118 >&mNC\PA 7.1 简介 118 2A5R3x=\ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,
Ac
gsC 7.2.1 四分之一波长规则 119 I1Jo 8s 7.2.2 导纳图 120 l[G&=/R@H 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 1%R8q=_ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 B]""%&! O 7.5 斜入射导纳图 141 f2abee 7.6 对称周期 141 l4:5(1 7.7 参考文献 142 2^\67@9 8 典型的镀膜实例 143 A5A4*.C 8.1 单层抗反射薄膜 145 tE~OWjL 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 R'#1|eWCa 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p#yq 'kY 8.4 W-膜层 148 sFvu@Wm'7W 8.5 V-膜层 149 PU"C('AP 8.6 V-膜层高折射基底 150 }#0i1]n$D 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 D (>,#F 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 G1vg2'A 8.9 四层抗反射薄膜 153 WaaF;|,( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 R[%ZyQ_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 TH%J=1d 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 - s} 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 V5ySOgzw, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 19r4J(pV
8.15十五层宽带抗反射膜 159 mw[T[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~g6`Cp` 8.17 1/4波长堆栈 162 H;eGBVi 8.18 陷波滤波器 163 O>h,u[0 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 X*Qtbm, 8.20 褶皱 165 ^iHwv*ss 8.21 消偏振分光器1 169 4IT`8n~ 8.22 消偏振分光器2 171 4=Wtv/
3 8.23 消偏振立体分光器 172 ]I+"";oQGB 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^uDNArDmj5 8.25 立体偏振分束器1 174 s.zfiJ 8.26 立方偏振分束器2 177 b%TS37`^[ 8.27 相位延迟器 178 hhqSfafUX 8.28 红外截止器 179 EGY'a*]cU 8.29 21层长波带通滤波器 180 ~$bkWb*RJ 8.30 49层长波带通滤波器 181 E/OJ}3Rf 8.31 55层短波带通滤波器 182 Ci}v + 8.32 47 红外截止器 183 vq.~8c1 8.33 宽带通滤波器 184 ? 0}M'L 8.34 诱导透射滤波器 186
C,;hNg[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 >R9_; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 t=K;/1 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 >\/H2j 8.35 增益平坦滤波器 193 X:un4B}O 8.38 啁啾反射镜 1 196 1&Fty'p 8.39 啁啾反射镜2 198 n{b(~eL? 8.40 啁啾反射镜3 199 5
aT>8@$Z^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 }Sxuc/%: 8.42 增加铝反射率膜 201 :cvZk|b% 8.43 参考文献 202 Ez= Q{g 9 多层膜 204 iPD5
KsAOA 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 9L"Z
~CUL 9.2 内部透过率 204 s y ]k 9.3 内部透射率数据 205 [\Ks+S 9.4 实例 206 {hXIP` 9.5 实例2 210 5Oa`1?C1 9.6 圆锥和带宽计算 212 (eG9b pqr 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 "<#-#j 10 光学薄膜的颜色 216 pq3W.7z;b 10.1 导言 216 iEA$`LhO\A 10.2 色彩 216
`.Oj^H6 10.3 主波长和纯度 220 $s*nh>@7 10.4 色相和纯度 221 o|tq&&! < 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 j[^(<R8 10.6 色差 226 /|kR=
~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ="k9
y 10.8 颜色渲染指数 234 ]YO &_# 10.9 色差计算 235 gJ;
*?Uq( 10.10 参考文献 236 {pV\]E\] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 sULCYiT|Hn 11.1 短脉冲 238 4;rt|X77 11.2 群速度 239 FnoE\2}9 11.3 群速度色散 241 +*O$]Hh 11.4 啁啾(chirped) 245 hPb erc2 11.5 光学薄膜—相变 245 %gd{u\h^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 ZQ%4]=w 11.7 色度色散 246 9*thqs3J#d 11.8 色散补偿 249 b`lLqV<[cB 11.9 空间光线偏移 256 sDylSYq 11.10 参考文献 258 4TPAD)C 12 公差与误差 260 rx$B(z(c 12.1 蒙特卡罗模型 260 JGJy_.C 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 D?)^{)49 12.2.1 误差工具 267 NSsLuM=. 12.2.2 灵敏度工具 271 _SW_I{fjr 12.2.2.1 独立灵敏度 271 L.E6~Rv 12.2.2.2 灵敏度分布 275 E1=WH-iA0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 kF1Tg KSd 12.3 参考文献 276 3ih3O 13 Runsheet 与Simulator 277 1TOT}h5 13.1 原理介绍 277 oy;g;dtq 13.2 截止滤光片设计 277 <hJ%]] 14 光学常数提取 289 Q^B !^_M 14.1 介绍 289 d,hKy2 14.2 电介质薄膜 289 ;$VQRXq 14.3 n 和k 的提取工具 295 \8KAK3i' 14.4 基底的参数提取 302 l{2Y[&% 14.5 金属的参数提取 306 hxXl0egI 14.6 不正确的模型 306 =SY`Xkj[ 14.7 参考文献 311 Wubvvm8U 15 反演工程 313 Oi?+Z:lak 15.1 随机性和系统性 313 %u)niY-g 15.2 常见的系统性问题 314
w~3~:w$ 15.3 单层膜 314 5>S<9A|Q 15.4 多层膜 314 "B$r{ vG 15.5 含义 319 Y`U[Y Hx 15.6 反演工程实例 319 9On0om> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [!<W{ ($5 15.6.2 反演工程提取折射率 327 q2pq~LI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 k|r+/gIV 16.1 光学性质的热致偏移 329 LE'8R~4.< 16.2 应力工具 335 )6t=Bel 16.3 均匀性误差 339 3YFbT
Z 16.3.1 圆锥工具 339 ;b-d2R 16.3.2 波前问题 341 RqONVytx 16.4 参考文献 343 1luRTI8^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 g5\EVcHkz 17.1 引言 345 (oUh:w.]Gw 17.2 操作数 345 [yEH!7 18 如何在Function中编写脚本 351 )R- e^Cb 18.1 简介 351 ~vL`[JiK 18.2 什么是脚本? 351 /'ukeK+' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,drcJ 18.4 基础 352 GY~Q) Z 18.4.1 Classes(类别) 352 ]46-TuH 18.4.2 对象 352 >$g+Gx\v4 18.4.3 信息(Messages) 352 ` 465
H 18.4.4 属性 352 T2%{pcdV/ 18.4.5 方法 353 (Cc!Iw'0M 18.4.6 变量声明 353 (H_YYZ3ZX 18.5 创建对象 354 D2@J4;UW*W 18.5.1 创建对象函数 355 x+%(z8wD 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]E:P-xTwaI 18.5.3 丢弃对象 356 [8Yoz1(smA 18.5.4 总结 356 =8p *Ijs 18.6 脚本中的表格 357 0C,2gcq 18.6.1 方法1 357 0&W*U{0F\ 18.6.2 方法2 357 *=KX0%3 18.7 2D Plots in Scripts 358 c:@lR/oe" 18.8 3D Plots in Scripts 359 k7R}]hq]"" 18.9 注释 360 U.kTdNSp 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9[9
ZI1*s 18.11 一个更高级的脚本 362 bo]= * 18.12 <esc>键 364 &l | |