用于光学测量的菲索干涉仪

摘要

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。

建模任务

倾斜平面下的观测条纹 Dz$dJF1 8
G[d]t$f=

圆柱面下的观测条纹

球面下的观测条纹

VirtualLab Fusion 视窗

VirtualLab Fusion 流程

设置入射场

- 基本光源模型[教程视频]
定义元件的位置和方向

- LPD II: 位置和方向[教程视频]
正确设置通道的非序列追迹

- 非序列追迹的通道设置[用户案例]

VirtualLab Fusion 技术 y+',jM
r+a0.

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