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infotek 2024-12-04 07:52

VirtualLab Fusion应用:非近轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 "pPNlV]UA^  
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设计任务 UQR"wUiiV  
H<xC%/8  
I;v`o{  
使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响
cR&xl^BJ  
:kVV.a#g  
光栅级次分析模块设置 ks5'Z8X  
d0=nAZZ  
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。
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(J4utw Z  
1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +o3g]0  
2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 xS}H483h6W  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x-pMT3m\D#  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
=c,gK8C  
衍射分束器表面 [5VUcXGt*\  
为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 2T5xSpC  
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衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) SIl g  
}$)<k  
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 l(5-Cr  
 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 l0&8vhw8k  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
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光栅级次和可编程光栅分析仪 *lK4yI*%o  
O0~d6Ba   
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设计与评估结果 m%[t&^b}T  
相位功能设计 s=TjM?)  
结构设计 a~* V  
TEA评价 %wf|nnieZ  
FMM评估 JY2 F-0t)  
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通用设置 $5b|@  
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 4l''/$P  
通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 i6d$/ yP"  
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纯相位传输设计 .A\\v6@  
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结构设计 f~FehN7  
n@;x!c< +  
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更深的分析 +q/h:q.TV  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Fnpn_O XlH  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 X u):.0I  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 4Aew )   
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使用TEA进行性能评估 igrog  
5|CiwQg|,p  
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使用FMM进行性能评估 2<G1'7)  
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9.zQ<k2  
进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ig}e@]  
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 aT!9W'uY  
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RQCQGa^cP  
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
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