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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
vr<6j/ty 内容简介 E(A7D XzbR Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 O^v^GG=e;C 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 J&w%lYiu5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ((wG
K|d i.Iiwe0G
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 A-e#&pJ 目录 W8j)2nKD Preface 1 DQM\Y{y|3 内容简介 2 jZu">Eh, 目录 i vdrV)^ 1 引言 1 Q#8}pBw 2 光学薄膜基础 2 /NCEZ@2BN, 2.1 一般规则 2 4Y5Q>2D} 2.2 正交入射规则 3 l$D]*_ jc, 2.3 斜入射规则 6 deSrs:. 2.4 精确计算 7 3+_? /}< 2.5 相干性 8 2'_xg~ 2.6 参考文献 10 %;kr%%t% 3 Essential Macleod的快速预览 10 1TbY,3W 4 Essential Macleod的特点 32 ;o]'7qGb 4.1 容量和局限性 33 L6yRN>5aE 4.2 程序在哪里? 33 Szrr`.'] 4.3 数据文件 35 *(@(9]B~ 4.4 设计规则 35 ;u!qu$O 4.5 材料数据库和资料库 37 !0:uM)_k 4.5.1材料损失 38 GGk.-Ew@ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 E+Z//)1Z 4.5.2 材料库 41 Yz;Hu$/ 4.5.3导出材料数据 43 U^SJWYi<Y 4.6 常用单位 43 \tTZN 4.7 插值和外推法 46 7ET^,6 4.8 材料数据的平滑 50 Wf/Gt\? 4.9 更多光学常数模型 54 |>a sGP 4.10 文档的一般编辑规则 55 .C(Ir 4.11 撤销和重做 56 N*w/\| 4.12 设计文档 57 u5^fiw]C 4.10.1 公式 58 A\Rkt;: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 mw)KyU#l,: 4.10.3 沉积密度 59 e`ti*1]q 4.10.4 平行和楔形介质 60 r=6-kC!T9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 s 7re 4.10.4 性能 61 -o*IJQ_ 4.10.5 保存设计和性能 64 o
%sBU 4.10.6 默认设计 64 /,dcr* 4.11 图表 64 [mphiH/ 4.11.1 合并曲线图 67 3RG*:9 4.11.2 自适应绘制 68 VE5w!of 4.11.3 动态绘图 68 pMM,ox" 4.11.4 3D绘图 69 ,R/HT@ 4.12 导入和导出 73 n[ip'*2L 4.12.1 剪贴板 73 2='gC|&s6 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .w3.zZ0[ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 n;8[WR) 4.13 背景 77 <a7y]Py 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 KB49~7XjQ@ 4.15 生成Rugate 84 HbQ `b 4.16 参考文献 91 VqqI%[!Aw 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 i:W.,w%8 5.1 Jobs 92 $j*%}x~[ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 xayo{l=uGv 5.3 输入材料 94 |?{3&'`J8w 5.4 设计数据文件夹 95 <6g{vNA 5.5 默认设计 95 _4F(WC co 6 细化和合成 97 c}GmS@ 6.1 优化介绍 97 P3X;&iT 6.2 细化 (Refinement) 98 )8]O|Z-CU 6.3 合成 (Synthesis) 100 f*KNt_|: 6.4 目标和评价函数 101 JVbR5"+. 6.4.1 目标输入 102 `s93P^% 6.4.2 目标 103 |kJ'FZZd 6.4.3 特殊的评价函数 104 7l}P!xa& 6.5 层锁定和连接 104 1'DD9d{qN 6.6 细化技术 104 i[1K~yXq: 6.6.1 单纯形 105 9TRS#iVL+* 6.6.1.1 单纯形参数 106 l"^'uGB'
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 S]&f+g}&w 6.6.2.1 Optimac参数 108 o))z8n?b 6.6.3 模拟退火算法 109 8qGK"%{ ~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 tE3#Uq 6.6.4 共轭梯度 111 %+gYZv- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <$bM*5sHF> 6.6.5 拟牛顿法 112 9jq}`$S{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 5%,5Xe4p 6.6.6 针合成 113 D^ZG-WR 6.6.6.1 针合成参数 114 ("0 7t/|| 6.6.7 差分进化 114 o1C1F}gxU 6.6.8非局部细化 115 ZXV_Dc 6.6.8.1非局部细化参数 115 2F9Gx;}t5= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +(n&>75 6.7.1 细化 116 r
>bMx~a] 6.7.2 合成 117 aphfzo 6.8 参考文献 117 ..BIoSrj 7 导纳图及其他工具 118 -7E)u 7.1 简介 118 gDbj!(tm 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 d-/{@
7.2.1 四分之一波长规则 119 6;s.%W 7.2.2 导纳图 120 D2N| A 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3!E*h0$} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 K|JpkEw 7.5 斜入射导纳图 141 ]@E_Hx{S 7.6 对称周期 141 fA"N5qQI( 7.7 参考文献 142 $yxwB/ O( 8 典型的镀膜实例 143 }e$^v*16 8.1 单层抗反射薄膜 145 FW* k O 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 LsaE-l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }-YM>q 8.4 W-膜层 148 I/YBL 8.5 V-膜层 149 {wsO8LX 8.6 V-膜层高折射基底 150 4<%(Y-_sF 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 C\"nlNKw 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "#zSk=52z 8.9 四层抗反射薄膜 153 ToMvP B); 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .*FBr7rE\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 @bs
YJ4-V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 wW2b?b{*Z 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 XC44]o4jx 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Fg` P@hC 8.15十五层宽带抗反射膜 159 f</'=k 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 F}9!k LR 8.17 1/4波长堆栈 162 BK>3rjXi>a 8.18 陷波滤波器 163 Z;M}.'BE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &Xh8j^p' 8.20 褶皱 165 J,N='~kfh 8.21 消偏振分光器1 169 QuFzj`( 8.22 消偏振分光器2 171 k;EG28
8.23 消偏振立体分光器 172 KX8$j$yW 8.24 消偏振截止滤光片 173 z!`aJE/ 8.25 立体偏振分束器1 174 q8DSKi 8.26 立方偏振分束器2 177 MU_8bK9m 8.27 相位延迟器 178 2ed4xhV 8.28 红外截止器 179 _8zZ.~) 8.29 21层长波带通滤波器 180 }ACWSk WK 8.30 49层长波带通滤波器 181 ;MSdTHN" 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^YVd^<cE 8.32 47 红外截止器 183 ,_SE!iL 8.33 宽带通滤波器 184 X8(H#Ef[ 8.34 诱导透射滤波器 186 cf\PG&S 8.35 诱导透射滤波器2 188 vP k\b 3E 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 YoC{ t&rY 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3K)12x$.K 8.35 增益平坦滤波器 193 j%w}hGW%, 8.38 啁啾反射镜 1 196 Z]L_{=* 8.39 啁啾反射镜2 198 <]:X 8.40 啁啾反射镜3 199 cXcrb4IKD 8.41 带保护层的铝膜层 200 R\i8O^[ 8.42 增加铝反射率膜 201 !u)>XS^E 8.43 参考文献 202 FE'|wf 9 多层膜 204 A(Tqf.,G 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 zY11.!2 9.2 内部透过率 204 ucP"<,a 9.3 内部透射率数据 205 LUPh!)8 9.4 实例 206 rN$U%\.I 9.5 实例2 210 :A,g :B 9.6 圆锥和带宽计算 212 yM_ta '^$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 dSdP]50M 10 光学薄膜的颜色 216 v@xbur\L 10.1 导言 216 )># Y,/q 10.2 色彩 216 v8{ jEAK 10.3 主波长和纯度 220 !'
} 10.4 色相和纯度 221 OEZ`5"j 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 DJWm7 t 10.6 色差 226 *|Bu 7nwg 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [
GcH4E9r 10.8 颜色渲染指数 234 YGdzA]3> 10.9 色差计算 235 N}|<P[LW 10.10 参考文献 236 rofGD9f
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6H]rO3[8 11.1 短脉冲 238 2`Dqu"TWh 11.2 群速度 239 K3Sa6"U 11.3 群速度色散 241 bU3P;a( 11.4 啁啾(chirped) 245 "d5nVO/ 11.5 光学薄膜—相变 245 c6 f=r 11.6 群延迟和延迟色散 246 \Fh#CI 11.7 色度色散 246 ce&Q}_ 11.8 色散补偿 249 vk1E!T9X 11.9 空间光线偏移 256 t^k^e{,q# 11.10 参考文献 258 "VIoVu 12 公差与误差 260 #7*{ $v 12.1 蒙特卡罗模型 260 g+RgDt9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 q
HU}EEv 12.2.1 误差工具 267 B2kKEMdGg 12.2.2 灵敏度工具 271 {0(:5% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ~dtS 12.2.2.2 灵敏度分布 275
23(j < 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 _o+z#Fn z 12.3 参考文献 276 ?'8(']/ 13 Runsheet 与Simulator 277 w;OvZo| 13.1 原理介绍 277 n5NwiSE 13.2 截止滤光片设计 277 -qJ%31Mr# 14 光学常数提取 289 =xs"<Q*w> 14.1 介绍 289 > N bb0T 14.2 电介质薄膜 289 F
]x2;N 14.3 n 和k 的提取工具 295 *+UgrsRk 14.4 基底的参数提取 302 c/'Cju W 14.5 金属的参数提取 306 yKhN1kY 14.6 不正确的模型 306 m~f J_ 14.7 参考文献 311 ]?<=DHn 15 反演工程 313 =i1+t"= 15.1 随机性和系统性 313 'JpCS 15.2 常见的系统性问题 314 LkwjEJQf 15.3 单层膜 314 $[6] Ly(F) 15.4 多层膜 314 ll^#I/ 15.5 含义 319 c $fYK 15.6 反演工程实例 319 xX:N- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |y%M";MI 15.6.2 反演工程提取折射率 327 'V`Hp$r 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 q(XO_1W0V 16.1 光学性质的热致偏移 329 K;'s+ZD 16.2 应力工具 335 lh]Q\ 16.3 均匀性误差 339 s#*
DY 16.3.1 圆锥工具 339 8WP|cF] 16.3.2 波前问题 341 }~O`(mnD}K 16.4 参考文献 343 uLq%Nu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 h?-*SLT 17.1 引言 345 \1MMz Z4rf 17.2 操作数 345 Nu[0X 18 如何在Function中编写脚本 351 ,3,(/%=k 18.1 简介 351 AM:lU 18.2 什么是脚本? 351 v*lj>)L 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 6 mml96( 18.4 基础 352 Ls2g#+ 18.4.1 Classes(类别) 352 y{#9&ct& 18.4.2 对象 352 sKniqWi 18.4.3 信息(Messages) 352 &<Iz?AVr 18.4.4 属性 352 }1BpIqee 18.4.5 方法 353 nsjrzO79L8 18.4.6 变量声明 353 Y7GHIzX 18.5 创建对象 354 G9AQIU%ii 18.5.1 创建对象函数 355 mGC! 7^_D` 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 1$RUhxT 18.5.3 丢弃对象 356 f2]O5rXp 18.5.4 总结 356 @UwDsx&2(t 18.6 脚本中的表格 357 _!C M 18.6.1 方法1 357 [eLU}4v{ 18.6.2 方法2 357 ^77X?nDz=h 18.7 2D Plots in Scripts 358 @#1T-* 18.8 3D Plots in Scripts 359 d#cEAy 18.9 注释 360 Y q(CD! 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 /DE`>eJY 18.11 一个更高级的脚本 362 ;0JK>c
]# 18.12 <esc>键 364 D:.1Be`Tv 18.13 包含文件 365 l}&&f8n 18.14 脚本被优化调用 366 *Hed^[sO 18.15 脚本中的对话框 368 }pOJ M&I 18.15.1 介绍 368 'nP;IuMP 18.15.2 消息框-MsgBox 368 !wr2OxK* 18.15.3 输入框函数 370 jA,|.P> 18.15.4 自定义对话框 371 Uy;e5<< 18.15.5 对话框编辑器 371 .?dYY;P 18.15.6 控制对话框 377 b75en{aDi* 18.15.7 更高级的对话框 380 }WM!e" 18.16 Types语句 384 +et)!2N 18.17 打开文件 385 iT,Ya-9" 18.18 Bags 387 7 P/1'f3 18.13 进一步研究 388 w<$0n#5 19 vStack 389 rZkl0Y;n\ 19.1 vStack基本原理 389 bU{lV<R, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ~`!{5:v 19.3 五棱镜 393 !+{$dB>a 19.4 光束距离 396 jImw_Q 19.5 误差 399 ODyKS; 19.6 二向分色棱镜 399 oBI@.&tG} 19.7 偏振泄漏 404 r NT>{
19.8 波前误差—相位 405 :#nv:~2] 19.9 其它计算参数 405 ?D9>N'yH8 20 报表生成器 406 vI5'npM 20.1 入门 406 x!;;;iS 20.2 指令(Instructions) 406 Cw,;>>Y_b< 20.3 页面布局指令 406 |0s)aV|K 20.4 常见的参数图和三维图 407 y#?AW`|
20.5 表格中的常见参数 408 _eg& | |