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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
N*&T)a 内容简介 P/1YN Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 i \/'w] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Q
Kr/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ak|
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讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 F_R\ 目录 9d/-+j' Preface 1 jxkQ #Y 内容简介 2 oNPvks dC; 目录 i )LKJfoo
PY 1 引言 1 i?(cp["7 2 光学薄膜基础 2 5j ]!r 2.1 一般规则 2 3fQ`}OcNr 2.2 正交入射规则 3 8/tB?j 2.3 斜入射规则 6 0%L:jq{5 2.4 精确计算 7 gM;m{gXYK 2.5 相干性 8 s6!&4=ZA 2.6 参考文献 10 bK0(c1*a[e 3 Essential Macleod的快速预览 10 9^n0<(99b 4 Essential Macleod的特点 32 e>e${\=, 4.1 容量和局限性 33 rYdNn0mhk 4.2 程序在哪里? 33 fUWrR1 4.3 数据文件 35 8M,o)oH 4.4 设计规则 35 WLj]EsA. 4.5 材料数据库和资料库 37 X=m^+%iD 4.5.1材料损失 38 M_%KhK 4.5.1材料数据库和导入材料 39 d@{12hq 4.5.2 材料库 41 l\V1c90m 4.5.3导出材料数据 43 {p/Yz# 4.6 常用单位 43 9%NsW3| 4.7 插值和外推法 46 NnHaHX 4.8 材料数据的平滑 50 K*DH_\SPK 4.9 更多光学常数模型 54 S{&%tj~U 4.10 文档的一般编辑规则 55 {vW0O &[ 4.11 撤销和重做 56 Pi?G:IF 4.12 设计文档 57 Lm`-q(!7w 4.10.1 公式 58 }2RbX,0l9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (Ytr&gh;0 4.10.3 沉积密度 59 VvP: }yJ 4.10.4 平行和楔形介质 60 l"dXL"h 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ] WYub1 4.10.4 性能 61 U&R)a|
7R 4.10.5 保存设计和性能 64 P
nE7} 4.10.6 默认设计 64 0F- +)S?M[ 4.11 图表 64 Z>y6[o 4.11.1 合并曲线图 67 psIo[.$rTk 4.11.2 自适应绘制 68 P#!gP3 4.11.3 动态绘图 68 0Mn|Yb4p 4.11.4 3D绘图 69 H6K8. 4.12 导入和导出 73 W>+`e]z 4.12.1 剪贴板 73 U.~G{H`G,u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4FYV]p8f 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9QHj$)?k, 4.13 背景 77 4l*cX1! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ?d?.&nt 4.15 生成Rugate 84 # =y)Wuo= 4.16 参考文献 91 nxuH22: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 9fbbJ"I+ 5.1 Jobs 92 ,Il) t H 5.2 创建一个新Job(工作) 93 `0U\|I# 5.3 输入材料 94 1@'I eywg 5.4 设计数据文件夹 95 AHuIA{AdUR 5.5 默认设计 95 2Uf/' 6 细化和合成 97 [75?cQD 6.1 优化介绍 97 hTEb?1CXU 6.2 细化 (Refinement) 98 &Lzd*}7 6.3 合成 (Synthesis) 100 "eTALRL'o 6.4 目标和评价函数 101 \DE,
, 6.4.1 目标输入 102 uc"%uc' 6.4.2 目标 103 x5\D u63 6.4.3 特殊的评价函数 104 1|G\&T 6.5 层锁定和连接 104 > fV"bj. 6.6 细化技术 104 4*f+np 6.6.1 单纯形 105 Sw>>]UjU 6.6.1.1 单纯形参数 106 pV8tn! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 PY '^:0 6.6.2.1 Optimac参数 108 +UziO#D 6.6.3 模拟退火算法 109 +$>aT(q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 g&w~eWpk 6.6.4 共轭梯度 111 k&5T-\ q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 fsEQ4xN' 6.6.5 拟牛顿法 112 J{a9pr6 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 *wJz0ex7R/ 6.6.6 针合成 113 <"p-0=IgJ 6.6.6.1 针合成参数 114 -:r<sv$ 6.6.7 差分进化 114 =#Jx~d [C 6.6.8非局部细化 115 _XY(Qd 6.6.8.1非局部细化参数 115 w1zMY:9 6.7 我应该使用哪种技术? 116 +C7W2!I[G2 6.7.1 细化 116 lq3D!+m 6.7.2 合成 117 l\N2C4NG 6.8 参考文献 117 $E; Tj|W 7 导纳图及其他工具 118 2auJp
. 7.1 简介 118 s 8K.A~5 w 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 *a|575e< z 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^a
/q6{ 7.2.2 导纳图 120 ,S(Z\[x0 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 =Sr<d|\O 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 UB>BVBCt 7.5 斜入射导纳图 141 K7{B!kX4k 7.6 对称周期 141 QAo/d4 7.7 参考文献 142 g<^A(zM 8 典型的镀膜实例 143 $f+I#uJ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^ @=4HtA 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 RiQg]3oY 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 RTg\c[=w 8.4 W-膜层 148 2-UD^;0 8.5 V-膜层 149 BL>~~ 8.6 V-膜层高折射基底 150 UB8n,+R 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 |${ImP 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \AoqOC2u 8.9 四层抗反射薄膜 153 rk;]7Wu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 o4yl3o 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #k d9} 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 y}={S,z%22 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |9FrVO$M 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >y#qn9rV1 8.15十五层宽带抗反射膜 159 dOaCdnd~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 c}),yQ|!: 8.17 1/4波长堆栈 162 I!kR:Z 8.18 陷波滤波器 163 If&y 5C 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 87S,6 Y 8.20 褶皱 165 bV'r9&[_6 8.21 消偏振分光器1 169 D-i, C~W 8.22 消偏振分光器2 171 xbcmvJrG 8.23 消偏振立体分光器 172 aEa+?6;D 8.24 消偏振截止滤光片 173 a\,V>}e 8.25 立体偏振分束器1 174 Q;q{1M > 8.26 立方偏振分束器2 177 "dOQ)<; 8.27 相位延迟器 178 pJl/d;Cyrb 8.28 红外截止器 179 ^ )!eiM 8.29 21层长波带通滤波器 180 1.8"N&s 8.30 49层长波带通滤波器 181 ]b1>bv% 8.31 55层短波带通滤波器 182 ~@@$-,}X 8.32 47 红外截止器 183 ~g#/q~UE 8.33 宽带通滤波器 184 DYIp2-K 8.34 诱导透射滤波器 186 x11r iK 8.35 诱导透射滤波器2 188 HFyQ$pbBU 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *$;Zk!sEF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Vom,^`} 8.35 增益平坦滤波器 193 !:esdJH 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?uJX 8.39 啁啾反射镜2 198 GA[bo)" 8.40 啁啾反射镜3 199 !5[SNr3^ 8.41 带保护层的铝膜层 200 Sj/v: 8.42 增加铝反射率膜 201 Z1$U[Tsd 8.43 参考文献 202 jRDvVV/-wr 9 多层膜 204 o>yXEg 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 S&[9Vb 9.2 内部透过率 204 {+{p. 9.3 内部透射率数据 205 b"trg {e 9.4 实例 206 )~nieQEZQ 9.5 实例2 210 TOa6sB!H 9.6 圆锥和带宽计算 212 w0H#M)c 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;GOu'34j 10 光学薄膜的颜色 216 "j8=%J{ 10.1 导言 216 (w(k*b/ 10.2 色彩 216 8~RJnwF^ 10.3 主波长和纯度 220 T9kc(i' 10.4 色相和纯度 221 ln,9v 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ${wp}<u_ 10.6 色差 226 ~mK+Q%G5 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 i tk/1 10.8 颜色渲染指数 234 jr#*;go 10.9 色差计算 235 q*a~9.i@ 10.10 参考文献 236 }o[<1+W(. 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 b<"jmB{ 11.1 短脉冲 238 eq&QWxiD* 11.2 群速度 239 K@Q%NK, 11.3 群速度色散 241 0sme0"Sl 11.4 啁啾(chirped) 245 n6Z!~W8 11.5 光学薄膜—相变 245 *W,[k&;: 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^f"|<r 11.7 色度色散 246 Q uw|KL 11.8 色散补偿 249 =i;T?*@ 11.9 空间光线偏移 256 7ju38@+ 11.10 参考文献 258 oj'YDQ^uj 12 公差与误差 260 :kwDa
a 12.1 蒙特卡罗模型 260 cyabqx 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 2:nI4S 12.2.1 误差工具 267 {7%HK2=' 12.2.2 灵敏度工具 271 N{@~(>ee^ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 @B(E&
12.2.2.2 灵敏度分布 275 =43NSY 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 {&B0kjf 12.3 参考文献 276 Bx$?*y&f!v 13 Runsheet 与Simulator 277 s&$e}yxVO 13.1 原理介绍 277 `f~$h?}3-@ 13.2 截止滤光片设计 277 D~M R)z_p~ 14 光学常数提取 289 ORWi+H| 14.1 介绍 289 -XwS?*O 14.2 电介质薄膜 289 \6"=`H0} 14.3 n 和k 的提取工具 295 oEFo7X`t 14.4 基底的参数提取 302 Bm%|WQK 14.5 金属的参数提取 306 /nX_Q?mo 14.6 不正确的模型 306 w&J_c8S 14.7 参考文献 311 XAtRA1. 15 反演工程 313 &o1k_!25 15.1 随机性和系统性 313 d'3"A"9R7- 15.2 常见的系统性问题 314 Acd@BL* 15.3 单层膜 314 HNj;_S 15.4 多层膜 314 Q&?0 ^;r 15.5 含义 319 @>J(1{m=Gy 15.6 反演工程实例 319 cN&:V2, 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ^}wF^ _ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 mh SknyqT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 BD86t[${W 16.1 光学性质的热致偏移 329 ({!H() 16.2 应力工具 335 0]=Bqyg 16.3 均匀性误差 339 #)[.Xz:U 16.3.1 圆锥工具 339 Vx>Q 16.3.2 波前问题 341 )N1iGJO) 16.4 参考文献 343 a1%}Ee 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 c813NHW 17.1 引言 345 }#g+~9UK 17.2 操作数 345 h.l.da1# 18 如何在Function中编写脚本 351 w1VYU> 18.1 简介 351 5ddfdIp 18.2 什么是脚本? 351 ;)P=WS:= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 EYCZuJxv 18.4 基础 352 3Lq9pdM>2@ 18.4.1 Classes(类别) 352 >lzXyT6x8 18.4.2 对象 352 ?.lo[X<,* 18.4.3 信息(Messages) 352 ?d{O'&|: 18.4.4 属性 352 nLv~)IQ}: 18.4.5 方法 353 pLV
%g#h 18.4.6 变量声明 353 L%QRWhB 18.5 创建对象 354 I|<]>D -8 18.5.1 创建对象函数 355 Y5;afU=' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 tLq]#9kL 18.5.3 丢弃对象 356 FH$q,BI!R 18.5.4 总结 356 u4m8^fj+T 18.6 脚本中的表格 357 I;eoy, 18.6.1 方法1 357 uGqeT#dP 18.6.2 方法2 357 6%>'n? 18.7 2D Plots in Scripts 358 o90g;Vog 18.8 3D Plots in Scripts 359 tm2lxt 18.9 注释 360 V|}9bNF 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4gNN " 18.11 一个更高级的脚本 362 U,61 3G 18.12 <esc>键 364 dga4|7-MY 18.13 包含文件 365 ) jvI Nb 18.14 脚本被优化调用 366 ~UNha/nt 18.15 脚本中的对话框 368 3
v.8 18.15.1 介绍 368 iF837ng5 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~w|h;*Bj 18.15.3 输入框函数 370 ,9_O4O% 18.15.4 自定义对话框 371 DG0I-"s 18.15.5 对话框编辑器 371 :l1-s] 18.15.6 控制对话框 377 b09xf"D 18.15.7 更高级的对话框 380 lz36;Fp 18.16 Types语句 384 Rt&5s)O' 18.17 打开文件 385 2/uZ2N|S 18.18 Bags 387 %iEdU V\$ 18.13 进一步研究 388 ]j6K3 19 vStack 389 Tcc83_Iq 19.1 vStack基本原理 389 k`|E&+og 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 xa<KF 19.3 五棱镜 393 c_M[>#` 19.4 光束距离 396 Hs:zfvD 19.5 误差 399 |O oczYf 19.6 二向分色棱镜 399 "e8EA!Ipte 19.7 偏振泄漏 404 o9]32l 19.8 波前误差—相位 405 dJJq]^| 19.9 其它计算参数 405 _;Xlw{FN^ 20 报表生成器 406 0R[fH 20.1 入门 406 b7~Jl+m 20.2 指令(Instructions) 406 >wt.)c?5 20.3 页面布局指令 406 q9j~|GE| 20.4 常见的参数图和三维图 407 ?~t5>PEonv 20.5 表格中的常见参数 408 d,(q3 20.6 迭代指令 408 &0%Zb~ts 20.7 报表模版 408 ZeU){CB 20.8 开始设计一个报表模版 409 xE^G*<mj: 21 一个新的project 413 C/qKa[mg 21.1 创建一个新Job 414 &ZkJ,- 21.2 默认设计 415 xRhGBb{@s 21.3 薄膜设计 416 yI#qkl- 21.4 误差的灵敏度计算 420 0a8\{(w 21.5 显色指数计算 422 ]y=U"g 21.6 电场分布 424 Qj_)^3`e 后记 426 bPP@ 此书含有一个案例库,也可以申请软件免费试用,有兴趣扫码加微联系 ?YZgH>7" [attachment=130961] h9<PP2.( '/9j"mIA9$
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