利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) K`0'2 :+_ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 n_{az{~ "x0/i?pqa 1. 描述 Q*N{3G! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 l4>c ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ny"z<N&}/ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 QuIZpP= 3UX6 Y]E3 2. 系统 iN9G`qF3!Q J(:y-U
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Mi} . 3. 透镜系统组件编辑 9S|a!9J ^kK% 8 u ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 5]*!N ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 N;v]ypak ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 [pC2#_} ■ 包括序列光学表面和光学介质。 +!K*FU=).
20]p< NM"5.
4. 光线追迹系统分析器-选项 FeNNzV= 7]_zWx,r kEp{L ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 g`w46X ■ 可以选择选取光线的方法: w6h*dh$w — 在x-y-网格 X"sJiF S — 六边形 {DapXx — 自由选取 Ae%AG@L ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ]v]tBVO$ "yc|ng 5. 系统的3维视图 XE]"RD<z L&d.&,CNs'
8F&Y; 6. 其他系统参数 ?G<ISiABQC ■ 系统由单色平面波照明 s!S_Bt):3 ■ 照明波长266.08nm $Ai zKiV ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: g;Zy3
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 TPs
]n7]: — 一个虚拟屏位于焦平面 }kF?9w — 光束尺寸探测器置于焦平面 H>Ucmd;ay ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 *I[tIO\ <'QI_mP* 3~{0X- ]V)*WP#a e<qfM&* 7. 光线追迹系统分析器的结果 o70] F ^ FM
光线经过整个光学系统的三维视图 Y^nm{ ;G+
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) FB:nkUR` UmArl)R/ NwxDxIIH/) F+ 7*SImv6 {VXucGI| Uy.ihh$I- 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 CYlS8j !>V)x 1=,y+Xpw ■ VirtualLab可用于计算点列图。 >_\[C?8 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "LSzF_mK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B*Ey&DAV ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 nW}
s 1w,34*- } 9. 焦平面上的结果 )Ay 90Wt D1$ER> .wmqaLd% ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2% /Kf}+ ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 "$aoI Xv ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm y=.bn!u}z ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 T--%UZD]W ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 G')zDx bdY:-8!3 10. 总结 ?D6|~k
i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [[w | ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 G%,
RD}D ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 FE]UqB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 fUGappb
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