利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) =B o4yN Be14$7r 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
Skk3M? &>) `P[x 1. 描述 @WDqP/4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *]>OCGsr ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 4Ow
Vt& ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 zhR_qW+ >ihe|WN 2. 系统 UQji7K } m|Q&Lphb8
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 1+i 3. 透镜系统组件编辑 G"UH4n[1ur EbwZZSds1 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U*qK*"k ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 M;RnH##W ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 d,Dg"Z ■ 包括序列光学表面和光学介质。 S}xDB )Ido|!]0d EH!EyNNb 4. 光线追迹系统分析器-选项 yS.fe[ }&C!^v
o ;uA_gn! ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ->"h5h ■ 可以选择选取光线的方法: gx>mKSzy — 在x-y-网格 B|q3;P — 六边形 6'sFmC — 自由选取 cwW~ *90# ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nO.+&kA #V9hG9%8 5. 系统的3维视图 hk$nlc|$ zC>(!fJqq
[2j(\vC! 6. 其他系统参数 *
SON>BSF ■ 系统由单色平面波照明 ,IVr4#w0= ■ 照明波长266.08nm OrH1fhh ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: $b
71 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 XY t8vJ — 一个虚拟屏位于焦平面 !#|fuOWe — 光束尺寸探测器置于焦平面 )'I<xx'1 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 iN9!?Ov_ T[! q&kFB 7Hkf7\JY "}x70q'>S Ef*.}gcU 7. 光线追迹系统分析器的结果 #y9K-}u W2.1xNWO
光线经过整个光学系统的三维视图 "?0G^zu
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) hpi_0lMkI ?yM/j7Xn "s6_lhu=E7 u(G;57ms jvKaxB;e 7u3b aM 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 I;m@cSJ|j ?bYQZJ>& ghO//?m ■ VirtualLab可用于计算点列图。 i.dAL)V ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 +n~rM'^4/ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ps;o[gB@5 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 U
&k3 >5},qs:lZ 9. 焦平面上的结果 :<7>-+pa sL`D}_: /Ta0}Y(y ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Ecl7=-y ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 Jz8#88cY ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J3S byI!T ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 @DKl<F ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ph'SS=!. >Vm 10. 总结 "uERa(i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 YZtA:>;p ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^aM/BS\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9@>hm>g. ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 zyn =Xv@p
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