利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 9Ww=hfb5UW 3
4A&LBwC 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Rrs`h `'- a?U%l 9F 1. 描述 ![X.% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 KOAz-h@6 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )z*$`?)k ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 yaYIgG {%+3D,$) 2. 系统 1=o(sIeA 2Xj-A\Oh~
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd F|n$0vQ* 3. 透镜系统组件编辑 [V #&sAe 8G[Y9A(bmP ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 O+8ApicjTc ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 EDa08+Y ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pRk'GR]` ■ 包括序列光学表面和光学介质。 gS(: c. HS5Ug'\446 CSk 4. 光线追迹系统分析器-选项 :;hBq4h I}g|n0o "|l
oSf@ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 \A ~I>x ■ 可以选择选取光线的方法: 8 *(W |J — 在x-y-网格 -~Z@, — 六边形 xUYN\Pc- — 自由选取 M'!!EQo ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 y
4,T HNHhMi`w 5. 系统的3维视图 I;":O"ij\ \Dsl7s=
>*Qk~kv<% 6. 其他系统参数 :R|2z`b! ■ 系统由单色平面波照明 pQgOT0f ■ 照明波长266.08nm BUy}Rn ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "*>QxA%c4 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 [F>n!`8 — 一个虚拟屏位于焦平面 k f K"i — 光束尺寸探测器置于焦平面 BKP!+V/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 lj}1'K@M )*L?PT )dN,b(w9 s)&R W#:X }"; hz*a 7. 光线追迹系统分析器的结果 Ad N=y8T Z`1o#yZ
光线经过整个光学系统的三维视图 v'Py[[R
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) &B5Rzz-' cF<DUr)Ve O6/=/-?N=c P@T $6%~ f.xSr! Yr(f iI 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :w`i
6V_5BpXt {~p %\ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 apWrcaj ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j~j
V`>A ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B(vz$QE,$r ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 1ZH8/1gWI !Q/O[6 9. 焦平面上的结果 <HX-qNA? K]azUK7 JC?V].) y5 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Fe>#}-` ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 u^eC ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ).#D:eO[~ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 7&U+f:-w ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 HQ#L
|LN ;0}"2aGY 10. 总结 5TW<1'u ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 #2t\>7] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]$k
m ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 bX1! fa ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MhB=+S[@
|