利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) x2 s%qZ# 8(.DI/ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 _.E y_K_1 )kMA_\$, 1. 描述 Afpj*o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 zvvF9 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 81O\BO.T ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 aY/msplC w&A&BE^O/ 2. 系统 me-:A:si aWp9K+4R$/
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ^LA.Y)4C2% 3. 透镜系统组件编辑 w|~d3]BqT ER z@o_ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 A578g ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {l /]+8G^ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 M?61g( ■ 包括序列光学表面和光学介质。
2r3]DrpJ -c^/k_n {nyQ]Nu" 4. 光线追迹系统分析器-选项 (}$~)f#s x~7_`=}rO c"vF i~Db ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 C'iJFfgR ■ 可以选择选取光线的方法: (thDv rT@2 — 在x-y-网格 oiG@_YtR — 六边形 (kECV8)2 — 自由选取 SvlS4C ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 S C'F,! aFI?^"L 5. 系统的3维视图 f z)i9D@ _}_lrg}U
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3 6. 其他系统参数 o_2mSD! ■ 系统由单色平面波照明 h6!o,qw" ■ 照明波长266.08nm Tum9Xa
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: \\j98(i — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 In-W, — 一个虚拟屏位于焦平面 #3:;&@#
— 光束尺寸探测器置于焦平面 Rp#9T?i``[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Ek!$Ary ^':Az6Z ELF,T( e/;1<5tfj <lk_]+ XJ3 7. 光线追迹系统分析器的结果 .x$!Rc} |+?ABPk"
光线经过整个光学系统的三维视图 s+"[S%
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) l)PEg PSRV 69Y>iPRU R~-r8dWcw B3
mD0 x6,kG ~YxLDo'.t 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 u9AXiv+K M2[ywab m6qmZ2< ■ VirtualLab可用于计算点列图。 _8Si8+j ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %4Nq T ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 $qN+BKd]3 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 t7VX W{3 8G?{S.%. 9. 焦平面上的结果 T)o)%Yv %@<}z|.4 ^s@?\v ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 tS2 P|fl ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 =2VM(GtK> ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm s'LY)_n ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 U!@3[' ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 jW6~^>S PI7M3\z 10. 总结 8aw'Q? ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 -9"hJ4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (rcH\ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Im{I23.2 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 saOXbt(&
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