利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) /e5O"@ Pf")e,u$ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
7~G9'P< GLH0 ] 1. 描述 fh&nu"& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S1T"Z{$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 >mbHy<< ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1sy[@Q2b W]$w@.oW[ 2. 系统 o)M}!MT ]\-A;}\e
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd F>SRs =_ 3. 透镜系统组件编辑 { T/[cu< ]#iigPZ7 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 3,_aAgeE ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 `P@< 3] ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 "@^k)d$ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 } ?$F}s- YH}'s>xZz ydEoC$?0 4. 光线追迹系统分析器-选项 ^ox=HNV rET\n(AJ aL\PGdgO ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 &N$<e(K ■ 可以选择选取光线的方法: [Q~#82hBhY — 在x-y-网格 ;HfmzY( — 六边形 !NK1MU?T) — 自由选取 4Co6( ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pHGYQ;:L RT4x\&q 5. 系统的3维视图 B&M%I:i Qab>|eSm
^do9*YejX; 6. 其他系统参数 TIqtF&@o4 ■ 系统由单色平面波照明 s2p\]|5 ■ 照明波长266.08nm u= *FI ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: olB.*#gA — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 +%z>H"J. — 一个虚拟屏位于焦平面 /s&9SYF — 光束尺寸探测器置于焦平面 >a<.mU|# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 AG
nxYV"p R`5.[?Dt nt;m+by Rxt^v+ ,$ -a}Dp~j 7. 光线追迹系统分析器的结果 PA{PD.4Du [-1^-bb
光线经过整个光学系统的三维视图 4&lv6`G `
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) gT{Q#C2Baw &GO}|W ]Jg&VXrH ,$L4dF3 s*KhF'fN v|,1[i{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ah$b[\#C .&iawz "m$##X\ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 JPI3[.o ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 yf.~XUk^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ' ,wFTV& ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 edq4D53 9
RgVK{F 9. 焦平面上的结果 wc@X.Q[ pZ{+c s-!ArB, ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ea2ayT ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 u(.e8~s8 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =!A_^;NQf ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 :A_@,Q ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 =_*Zn(>t` :K,i\ 10. 总结 ;u
({\K ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 i v38p%Zm ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 E?f-wQF ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 &vMb_;~B ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 DH!~ BB;
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