利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) Q'Tn+}B& S9BJjo 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ZtT`_G& ^YZ#P0 y 1. 描述 &Gt9a-ne ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 BW;u?1Xa ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 J{ Vl2P?@ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 _8>"&1n 1WKDG~ 2. 系统 &_6:TqJ 'huLv(Uu
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 3N21[i2/m 3. 透镜系统组件编辑 .PxM
#;i2 }1P ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 >JMKEHl.q ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 XDGZqkt ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3WYW]) ■ 包括序列光学表面和光学介质。 WveFB%@`; "8I4]' !]nCeo 4. 光线追迹系统分析器-选项 (qrT0D6 {m?x}, =EJ"edw]%0 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 9.B7Owgr89 ■ 可以选择选取光线的方法: .wSAysiQ|P — 在x-y-网格 pf_ /jR — 六边形 uI[*uAR — 自由选取 ;a`X|N9 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 :KLD~k7yA( ^J_hkw~gO 5. 系统的3维视图 GdU
W$. >R<fm
-G 'lyH 6. 其他系统参数 u|c+w)a ■ 系统由单色平面波照明 K36B9<F ■ 照明波长266.08nm ._Xtb,p{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: wW4S@m — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 qu%s 7+ — 一个虚拟屏位于焦平面 2'U9!.o — 光束尺寸探测器置于焦平面 [}p.*U_nw ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 <GN?J.B
_1'Pb/1 P$Q&xN<#) @El<"\ M\f0
=`g 7. 光线追迹系统分析器的结果 rzHa&:Y 4/?Zp4g
光线经过整个光学系统的三维视图 *zWn4BckN
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) o{p_s0IX;S v2{s2kB= &?6w2[} j+hoj2( N3<Jh d
]
;pG( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #8jd,I%L _O%p{t'q< *
U4:K@y ■ VirtualLab可用于计算点列图。 }o-P ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 h6 i{5\7. ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 rR~X>+K ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ;G]'}$`/q (?y2@I} 9. 焦平面上的结果 5nAF =Bj 59J9V3na !++62Lf ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Yur)_m ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 nh)R ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm N-E`go ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 -d'|X`^nE ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 "lf3hWGw h+D=/:B 10. 总结 ~+yo;[1Yc ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 wtS*w ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 T(^8ki ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 C/Bx_j(( ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 T9-a
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