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infotek 2024-10-24 08:26

导出制造数据

光整形>衍射光学 {H~8'K-  
+dPE!:  
任务说明 >=]NO'?O  
Ply2DQr  
U?+30{hb  
>G w%r1)  
灵活地导出制造数据: ;m M\, {Z  
- 平滑的界面 )%nt61P\W  
- 量化界面 y.TdWnXx  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 tZ*f~yW  
\?p9qR;"4  
亮点 T3B |r<>I  
 导出各种表面形状的制造数据 z}Mb4{d1  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 D7n&9Z  
     ta+"lM7A}$  
#o}{cXX#  
一般界面的制造数据 Z7k1fv:S^  
>cU*D:  
.DM1Knj  
4 I]/  
支持文件格式: <_FF~lj  
- 纯文本 ^.><t+tM  
- ASCII码 7lBQd(  
- 点云 ttJ:[ R'  
- CAD格式(例如,STL,IGES) lD+y, ";  
?8aWUgl  
STL导出平滑界面(例如Asphere)  ]pucv!  
n"Z,-./m  
采样高度剖面的STL导出 A16-  
c]:J/'vc  
G~mB=]  
u9y-zhj_$  
量化界面的GDSII导出 dwsy(g7  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 d$G%F$BTs  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 `h%D\EKeB  
cJp1 <R  
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