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2024-10-24 08:26 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 AS|gi!OVA \>cZ= 任务说明 TMKemci ]SBv3Q0D7
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?/h5< miuJ!Kr' 灵活地导出制造数据: u):z1b3*? - 平滑的界面 dLD"Cx - 量化界面 4dMwJ"V - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >G'
NI?$ PHfGl 亮点 mb0${n~fz 导出各种表面形状的制造数据 \VHi 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 GK95=?f~8; $Y$!nPO
i.cSD%* 一般界面的制造数据 ~S|Vd G8QJM0VpS :b=`sUn<X+ bT[Q:#GL 支持文件格式: J9/9k - 纯文本 +/\.%S/ - ASCII码 'QeqWn - 点云 YH':cze - CAD格式(例如,STL,IGES) ~Ufcy{x# GaRL]w STL导出平滑界面(例如Asphere) fQ#mx.|8y T]Tz<w W( 采样高度剖面的STL导出 7X|&:V.s| %|SbZ)gcQ b ";#qVv C
umrRlF4M; 量化界面的GDSII导出 m|24)%Vj;= 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 k]R O=/ ?M 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 4$IPz7 Ug_zyfr
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