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infotek 2024-10-14 07:50

薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模

摘要 8MQb5( !  
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薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 G0%},Q/  
                                                             gN@|lHbU  
建模任务                                                         gOy;6\/  
X+2uM+  
OsT|MX  
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光栅元件   ;cEoc(<?  
J?#Xy9dz  
                                                    
OLS/3c z  
通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7Is:hx|:  
• FMM/RCWA \s?8}k  
• Diffractive Lens Component 6?(yMSKa  
                                                             )FpizoVq0  
正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       `92P~Y~`W  
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正弦光栅-传输相位形态     oRZ98?Y\B  
~pT1,1  
                                                
S4U}u l  
uf^HDr r<L  
正弦光栅-传输相位形态                                                         4mHk,Dd9,  
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H+{@V B  
正弦光栅-衍射效率 ]Z nASlc)  
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正弦光栅-效率vs. 周期                                                       QWc,JCu  
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正弦光栅—选定周期的相位形态   %M3L<2  
                                  
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K491QXG  
                                                             k!ID  
闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) D;&\)  
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闪耀光栅-传输相位形态                                                         {O:{F?  
w4fQ~rcUIc  
?b:Pl{?  
>F>VlRg  
闪耀光栅-衍射效率                                                         :R`e<g~4  
zO2=o5nF.  
d>?C?F  
                                                             K {kd:pr  
闪耀光栅-效率vs.周期                                                         L+S)hgUH  
A=0{}B#  
"IB36/9  
                                                             TQu.jC  
闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         gnGh )  
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