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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
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} 内容简介 }S*6+4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )FWF T:P~ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 P(X#w 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 oge^2 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 oCy52Bm.! r{\cm
Ds 目录 C$*`c6R Preface 1 8S]Mf*~S' 内容简介 2 F1M@$S, 目录 i &@dMk4BH< 1 引言 1 a:zx&DwM 2 光学薄膜基础 2 `Z|sp 2.1 一般规则 2 32~Tf, 2.2 正交入射规则 3 WcH^bAY 6 2.3 斜入射规则 6 [ R~+p#l+Q 2.4 精确计算 7 + W@r p# 2.5 相干性 8 rA`zuYo 2.6 参考文献 10 15yIPv+5 3 Essential Macleod的快速预览 10 iM8hGQ` 4 Essential Macleod的特点 32
)[p8 4.1 容量和局限性 33 X'kw5P!sq 4.2 程序在哪里? 33 =7e8N&-nv 4.3 数据文件 35 w-B\AK?} 4.4 设计规则 35 T"QY@#E 4.5 材料数据库和资料库 37 7e8hnTzl8< 4.5.1材料损失 38 *uEU9fX 4.5.1材料数据库和导入材料 39 v/m`rc]e 4.5.2 材料库 41 m9L+|r 4.5.3导出材料数据 43 z7<^aS 4.6 常用单位 43 .z[+sy_ 4.7 插值和外推法 46 YvYav d 4.8 材料数据的平滑 50 Phb<##OB 4.9 更多光学常数模型 54 "*7I~.7U(* 4.10 文档的一般编辑规则 55 s{s0#g 4.11 撤销和重做 56 #m$H'O[WG\ 4.12 设计文档 57 e. [+xOu` 4.10.1 公式 58 dH`a|SVW9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;euWpE;E\# 4.10.3 沉积密度 59 mceSUKI;L 4.10.4 平行和楔形介质 60 SN]/~>/ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 qWanr7n]@ 4.10.4 性能 61 ^k_!+8"q{ 4.10.5 保存设计和性能 64 wSAm[.1i 4.10.6 默认设计 64 QlXy9-oJ" 4.11 图表 64 "Y%\qw/wq 4.11.1 合并曲线图 67 3zl!x 4.11.2 自适应绘制 68 BKDWd]KEf 4.11.3 动态绘图 68 Z(<ul<?r 4.11.4 3D绘图 69 vaQ,l6z
.h 4.12 导入和导出 73 {>+$u"* 4.12.1 剪贴板 73 ]-}a{z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Fj]S8wI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 RF;N]A?* 4.13 背景 77 JHQ8o5bEQp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 IK W!P1 4.15 生成Rugate 84 TWs|lhC7! 4.16 参考文献 91 *,Re&N8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 hCDI;'ls 5.1 Jobs 92 fk"{G>&8 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8odVdivh 5.3 输入材料 94 N!m%~},s// 5.4 设计数据文件夹 95 z N
t7DK 5.5 默认设计 95 }`MO}Pz 6 细化和合成 97 #E ~FF@a 6.1 优化介绍 97 %bimcRX#W 6.2 细化 (Refinement) 98 0)/214^& 6.3 合成 (Synthesis) 100 E$1^}RGT) 6.4 目标和评价函数 101 gRFC n6Q 6.4.1 目标输入 102 g@U#Y#b@" 6.4.2 目标 103 H 0h 6.4.3 特殊的评价函数 104 hD,-!R 6.5 层锁定和连接 104 $?s^HKF~ 6.6 细化技术 104
1y@- 6.6.1 单纯形 105 ?UxY4m%R; 6.6.1.1 单纯形参数 106 B@=Yj_s 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 lvN{R{7> 6.6.2.1 Optimac参数 108 GmHsO/ 6.6.3 模拟退火算法 109 $e_ps~{7$ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 5{5ABV 6.6.4 共轭梯度 111 Yn#8uaU 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 zm"\D
vN) 6.6.5 拟牛顿法 112 [yyV`& 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 vr vzV 6.6.6 针合成 113 yjr@v!o 6.6.6.1 针合成参数 114 a(7ryl~c= 6.6.7 差分进化 114 L,ra=SV F 6.6.8非局部细化 115 };j&)M 6.6.8.1非局部细化参数 115 HUghl2L.< 6.7 我应该使用哪种技术? 116 "a
g_ 6.7.1 细化 116 6+FON$8 6.7.2 合成 117 Y]lqtre*Y 6.8 参考文献 117 em]K7B= 7 导纳图及其他工具 118 "h2Ny# 7.1 简介 118 C1/jA>XW 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 '-vyQ^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 p3S c4 7.2.2 导纳图 120 nT12[@:Tr 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;1dz?'%V 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 w=`z!x![/ 7.5 斜入射导纳图 141 md`ToU 7.6 对称周期 141 /OP*ARoC21 7.7 参考文献 142 yRYWx` G 8 典型的镀膜实例 143 X2`>@GR/> 8.1 单层抗反射薄膜 145 f+920/>!Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -b$OHFL 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 AAW7@\q. 8.4 W-膜层 148 |FFC8R%@]u 8.5 V-膜层 149 ["F,|e{y$ 8.6 V-膜层高折射基底 150 eTc`FXw` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 E8i:ER $$7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {X$Mwqhpp; 8.9 四层抗反射薄膜 153 /4?`F}7) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 =5`@:!t7 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 `/zt&=`VB 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]KeNC)R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ^{s0d+@{ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 =M5M; 8.15十五层宽带抗反射膜 159 j 7URg>i0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 a,~P_B|@ 8.17 1/4波长堆栈 162 F4Uk+|]Bu 8.18 陷波滤波器 163 J7GsNFL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 gcxk'd 8.20 褶皱 165 F29AjW86 8.21 消偏振分光器1 169 )0mDN. 8.22 消偏振分光器2 171 6W=:`14 8.23 消偏振立体分光器 172 ]e.+u 8.24 消偏振截止滤光片 173 [MS.5+1Y 8.25 立体偏振分束器1 174 =LxmzQO# 8.26 立方偏振分束器2 177 uw=Ube( 8.27 相位延迟器 178 \NU[DHrMP 8.28 红外截止器 179 mj=|oIMwT 8.29 21层长波带通滤波器 180 ^ kvH/ Y& 8.30 49层长波带通滤波器 181 5$U>M 8.31 55层短波带通滤波器 182 GiXd e}bm 8.32 47 红外截止器 183 XL^N5 8.33 宽带通滤波器 184 F5+_p@!i 8.34 诱导透射滤波器 186 df*#?Ok 8.35 诱导透射滤波器2 188 0@lC5-= 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7[BL 1HI* 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ~C'nBV 8.35 增益平坦滤波器 193 Ts .Zl{B 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ok&>[qu 8.39 啁啾反射镜2 198 b:Kw_Q 8.40 啁啾反射镜3 199 ]Cn*C{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 g@i>R> 8.42 增加铝反射率膜 201 DA)v3Nd 8.43 参考文献 202 MuV0;K\ 9 多层膜 204 b0Ov+ )7# 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 !`[I>:Ex 9.2 内部透过率 204 ]A$^ l, 9.3 内部透射率数据 205 Lzx$"R- 9.4 实例 206 5jV97x)BGx 9.5 实例2 210 4V|z)=)A 9.6 圆锥和带宽计算 212 4>VZk^%b# 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `l2< 10 光学薄膜的颜色 216 F.pHL)37 10.1 导言 216 9C}aX}` 10.2 色彩 216 i
`QK'=h[ 10.3 主波长和纯度 220 <nTmZ-; 10.4 色相和纯度 221 3
9{"T0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 nX\]i~ 10.6 色差 226 S~Iw?SK3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 %;(|KrUN 10.8 颜色渲染指数 234 cJ##K/es 10.9 色差计算 235 ;Z1U@2./ 10.10 参考文献 236 * \o$-6<
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 0t COb9 11.1 短脉冲 238 Ge:-|*F 11.2 群速度 239 >Ug?O~- 11.3 群速度色散 241 xSDE6] 11.4 啁啾(chirped) 245 _8b]o~[Z+ 11.5 光学薄膜—相变 245 NQ!N"C3u 11.6 群延迟和延迟色散 246 s i"` 11.7 色度色散 246 BQ9`DYI b 11.8 色散补偿 249 E[3FdX8 11.9 空间光线偏移 256 2r}uE\GN 11.10 参考文献 258 NnLhJPh 12 公差与误差 260 3H'nRK}, 12.1 蒙特卡罗模型 260 37O#aJ,K 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 OKZam ik~ 12.2.1 误差工具 267 J4[x,(iq( 12.2.2 灵敏度工具 271 m-'(27 12.2.2.1 独立灵敏度 271 AO}i@YJth 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J`+`Kq1T 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [p W1=tI 12.3 参考文献 276 0?F@iB~1F 13 Runsheet 与Simulator 277 oBj>9I; 13.1 原理介绍 277 h76NR 13.2 截止滤光片设计 277 Xh0wWU* 14 光学常数提取 289 YR|(;B 14.1 介绍 289 t}XB|h 14.2 电介质薄膜 289 ]~\SR0 14.3 n 和k 的提取工具 295 -?aw^du 14.4 基底的参数提取 302 uZ/7t(fy 14.5 金属的参数提取 306 fmnRUN= 14.6 不正确的模型 306 t ?9;cS4 14.7 参考文献 311 BK(pJNBh 15 反演工程 313 DO1 JPeIi 15.1 随机性和系统性 313 HTDyuqs 15.2 常见的系统性问题 314 y'_V/w s 15.3 单层膜 314 vfJ3idvo*w 15.4 多层膜 314 ayH%
qp 15.5 含义 319 mo|PrLV 15.6 反演工程实例 319 EtR@sJ< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %Rd~|$@>x 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KkdG.c' 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ''(fH$pY 16.1 光学性质的热致偏移 329 a(}VA|l 16.2 应力工具 335 us\%BxxI9 16.3 均匀性误差 339 {{.sEi* 16.3.1 圆锥工具 339 |5O >>a() 16.3.2 波前问题 341 vZ[$H 16.4 参考文献 343 :7$\X[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 nE]~E xr 17.1 引言 345 iHE0N6%q 17.2 操作数 345 *R_'$+ 18 如何在Function中编写脚本 351 %A)-m 69 18.1 简介 351 FXOT+9bg 18.2 什么是脚本? 351 Gut J_2f^9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 /<(*/P,> 18.4 基础 352 Z:_m}Ya| 18.4.1 Classes(类别) 352 e;A^.\SP 18.4.2 对象 352 C.yY8?| 18.4.3 信息(Messages) 352 )Lc<;=w'9 18.4.4 属性 352 #*yM2H"7,; 18.4.5 方法 353 9N~8s6Ob 18.4.6 变量声明 353 * ?
K4!q' 18.5 创建对象 354 `a9k!3_L 18.5.1 创建对象函数 355 93Mdp9v+i 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 , @%C8Z 18.5.3 丢弃对象 356 QL)>/%yU 18.5.4 总结 356 F5N>Uqr*oN 18.6 脚本中的表格 357 N?qIpv/a. 18.6.1 方法1 357 O`wYMng) 18.6.2 方法2 357 CRZi;7`*1 18.7 2D Plots in Scripts 358 2
) TG 18.8 3D Plots in Scripts 359 CrnB{Z4L 18.9 注释 360 hAV2F# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4R&*&GZ# 18.11 一个更高级的脚本 362 ,U6*kvHS6 18.12 <esc>键 364 N<KKY"?I' 18.13 包含文件 365 eaV3)uP 18.14 脚本被优化调用 366 %B#hb<7} 18.15 脚本中的对话框 368 6#E]zmXO2 18.15.1 介绍 368 P['X<Xt8 18.15.2 消息框-MsgBox 368 YHs?QsP 18.15.3 输入框函数 370 GN\8![J 18.15.4 自定义对话框 371 i Td-n9 18.15.5 对话框编辑器 371 25x cD1* 18.15.6 控制对话框 377 /a@ k S 18.15.7 更高级的对话框 380 CnabD{uTf 18.16 Types语句 384 HzP.aw4 18.17 打开文件 385 yJnPD/i 18.18 Bags 387 _ymJ~MK 18.13 进一步研究 388 _FL<egK 19 vStack 389 sS
C?io 19.1 vStack基本原理 389 98BYtxa 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3H1Pp*PH 19.3 五棱镜 393 y7CWBTH0> 19.4 光束距离 396 (l
Lu?NpIi 19.5 误差 399 CXBzX:T?# 19.6 二向分色棱镜 399 Q2*/`L}m\ 19.7 偏振泄漏 404 @(Z( /P;: 19.8 波前误差—相位 405 ;5<P|:^ 19.9 其它计算参数 405 ;!'qtw"CB 20 报表生成器 406 ?#?e(mpo 20.1 入门 406 BRe{1i 6 20.2 指令(Instructions) 406 GA.BI"l 20.3 页面布局指令 406 .FuA;:@%\ 20.4 常见的参数图和三维图 407 5!<o-{J[(= 20.5 表格中的常见参数 408 K6E}";; 20.6 迭代指令 408 hQJo~'W= 20.7 报表模版 408 >W'j9+Va 20.8 开始设计一个报表模版 409 [1NaH 21 一个新的project 413 M
/"gf;)q> 21.1 创建一个新Job 414 zEy&4Kl{+ 21.2 默认设计 415 ]22C)< 21.3 薄膜设计 416 EY]a6@; 21.4 误差的灵敏度计算 420 p:B
]Ft 21.5 显色指数计算 422 $)Wb#B 21.6 电场分布 424 Z+0?yQ=% 后记 426 +i+tp8T+7 您可以扫码加微联系咨询 -)X{n?i [attachment=130221]
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