infotek |
2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 d_OHQpfK 9oN b= . +p_SKk!%+ 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 PDtaL Ldig/: 任务 W>h[aVTO • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ]ErAa"? • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 2"2b\b}my CjD2FnjT _I75[W! 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 2vK{Yw 连接建模技术:衍射光束分束器 2N>:GwN F9Mv$g79 SB]|y-su 通过配置助手和IFTA进行相位设计 t\'URpa+5% 5z=;q!3 !K3
#4 将传输函数转化为结构 :xv"m
{8+ #N7@p}P $n>.;CV 衍射光束分束器表面 a2sN$k (L
q^C= tEZ@v(D 衍射光束求解器 - TEA & FMM <w8*Ly:L ?7(`2=J Dy5'm? 光栅级数 & 可编程光栅分析器 _g
3hXsA F~&bgl[YZ /\OjtE 设计与评估结果: ~%>ke • 相位函数设计 Bg Uf:PT • 结构设计 _0ep[r • TEA 评估 Pij*?qmeQ • FMM 评估 eSJ5YeY) • 高度缩放检查(用于优化/容限) >f74]J=V z[[|'02{ 仅相位传输设计 1VH7z S9U`-\L0 j<e`8ex? 结构设计 v2/@Pu!kg #jbo!
wdg I6X_DPY 使用TEA进行性能评估 z-ra] [3}m|W< E2+O-;VN 使用FMM进行性能评估 #]cO]
I FK{Vnj0 p^<*v8,~7 进一步的分析(优化后,容差分析) "NMX>a,( QS\H[?M$ 7CWz)LT 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 <$qe2FtUq y)C nH4{ nj]l'~Y0 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2mRm.e9? STtjkZ6 MV'q_{J 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 .SAOE'Foo
|
|