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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 @O9.~6 u5^fiw]C 4VINu9\V 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 UR6.zE4=_ <wUDcF 任务 z?`&HU Nf • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 TB9{e!4 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 |r5 n p ]kA0C~4 ^c3~CD5H
3 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 @ qWgokf 连接建模技术:衍射光束分束器 ocBfs^ aW %cMX]U $}&Y$w>S 通过配置助手和IFTA进行相位设计 1 zIFQ@ 'EoJo9p6} WGFp<R 将传输函数转化为结构 =?>f[J5 x>vC;E${" OcQ>01Q 衍射光束分束器表面 'PRsZ`x. ]b!o(5m -L@4da[]i 衍射光束求解器 - TEA & FMM %Cbqi.iuQ cjfYE] q eLfO 光栅级数 & 可编程光栅分析器 Zyxr#:Qm p\OUx Am [sJ f)< 设计与评估结果: f tW- • 相位函数设计 SskvxH+7 • 结构设计 i356m9j • TEA 评估 JVbR5"+. • FMM 评估 /NfuR$oMd • 高度缩放检查(用于优化/容限) h`n,:Y^++P m`
^o<V& 仅相位传输设计 KdIX` !gA<9h RGFanP 结构设计 QcJ?1GwA" xtWQ. .%;`:dtj 使用TEA进行性能评估 :VpRpj4f _u TaN 1!_$HA 使用FMM进行性能评估 %+gYZv- <$bM*5sHF> CY~]lQ 进一步的分析(优化后,容差分析) 5%,5Xe4p 4FURm@C6 9IJBK 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 J'c]':U 6'CZfs\
h[~JCYA 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 C(-w A n{sF'n</ ~L\KMB/9e= 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 eV:I :::
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