| infotek |
2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 L_+k12lm G1"zElug I]Dl / 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 8rMX9qTO@ 1I<rXY(a` 任务 pm\x~3jHs • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 !\"5rNy • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 vpld*TL* L}}y'^( =RAh|e 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 G-He" 4& $ 连接建模技术:衍射光束分束器 PG_0\'X)/w I{lT> go
2;^y4ssg 通过配置助手和IFTA进行相位设计 M\Z6$<H?U NyVnA KA){''>8 将传输函数转化为结构 P~G 1EK|4 f~dd3m(' 9f',7i 衍射光束分束器表面 eXKo.JL h|h>u
^@ 4&_NJ\ 衍射光束求解器 - TEA & FMM Qum9A q@@T]V6 8&Oa_{1+Q 光栅级数 & 可编程光栅分析器 eOXHQjuj T.We: ,{ dd\n8f 设计与评估结果: BwBm[jtP • 相位函数设计 VA9Gb9 • 结构设计 "=+7-` • TEA 评估 )EL!D%<A • FMM 评估 qnoNT%xazo • 高度缩放检查(用于优化/容限) MH{GR)ng:9 \uXcLhXN 仅相位传输设计 e?Ho a$k EC\yzH*X >j'ZPwj^ 结构设计 LNa $
X5` 7hi"6, +Wx{: 使用TEA进行性能评估 W3;#fa:[L sz)oZPu| m^#rB`0;L 使用FMM进行性能评估 66'?&Xx' wAz&"rS Oer^Rk 进一步的分析(优化后,容差分析) /-qxS <?o ~",`,ZXQy Wa1,
p 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 `"@g8PWe gF0q@M y~ V`RNM%Y 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 S3@|Q\*r q-`RI*1] IR- dU<<9O 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 T<L^N+<,{N
|
|