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2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 I`h9P2~ sr\l z}JW GE$spx 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 6y)xMX bAeN>~WvY 任务 L1u
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 TX{DZ# • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 u(JC 4w' qs6yEuh# ogv86d 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 `gqBJi 连接建模技术:衍射光束分束器 ssW+'GD `>RJ*_aKEI (]0$^!YK 通过配置助手和IFTA进行相位设计 XgKtg-, '#<?QE!d2 IS7g{:}=p 将传输函数转化为结构 q`09 );$Uf!v4 !TY4C`/ 衍射光束分束器表面 KdFQlQaj 1?HUXN#, (c(c MC' 衍射光束求解器 - TEA & FMM JGZ,5RTq4- ~fsAPIQ GFvZdP`s4 光栅级数 & 可编程光栅分析器 >H@
dgb ZeK*MPxQ '9GHmtdO, 设计与评估结果: H;s0|KRgJ • 相位函数设计 G Q&9by=} • 结构设计 mKZ?H$E%% • TEA 评估 n4)G g~PE • FMM 评估 aEX;yy* • 高度缩放检查(用于优化/容限) 5L|yF"TI# Kv+E"2d 仅相位传输设计 u7@|fND 7 {a_=4a HhNH"b& | |