| infotek |
2024-09-11 07:56 |
非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 9FIe W[ ` + n 67KRM(S 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 N.Wdi vS24;:f 任务 _L `N^I. • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ?( dYW7S • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 %M0mwty] t}c}@i_c U_
?elz\
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 y}:)cA~o(y 连接建模技术:衍射光束分束器 ;([tf; >`rNT|rg +~i+k~{`H 通过配置助手和IFTA进行相位设计 mC[U)` ey 9Sj:nn^/u
8.;';[ 将传输函数转化为结构 &T|&D[@ R6WgA@Z|r >kDdWgRQ 衍射光束分束器表面 :(?hLH.W[ k1$2a8ja tMPXvE 衍射光束求解器 - TEA & FMM ~b6<uRnM. sY;gh`4h jcv1z v. 光栅级数 & 可编程光栅分析器 dD.d?rnZq7 rM
>V=|9, b]g&rwXYt 设计与评估结果: D8D!1 6_ • 相位函数设计 )x:j5{>( • 结构设计 Z/05 wB • TEA 评估 2eR+dT • FMM 评估 "O*W]e • 高度缩放检查(用于优化/容限) , w'$T) C8W`Oly:] 仅相位传输设计 SX=0f^ ,nChwEn On.x~t 结构设计 4bFVyv o(>-:l i0 V&+$Vq 使用TEA进行性能评估 yDyeP{ FqUt uN
;7n*PBUJJ 使用FMM进行性能评估 *JC{G^|Y v4>"p!_C c'#J{3d 进一步的分析(优化后,容差分析) X@AkA9'fq vwH7/+ u r.T YKF 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 n`T[eb~ )4_6\VaM _t;VE06Xjs 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 '/Cz{<, 1gy}E=noP 2l(j
4~g 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ^\kHEM|5v
|
|