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infotek 2024-09-11 07:56

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 9FIe W[  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 N.Wdi  
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任务 _L `N^I.  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ?( dYW7S  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 %M0mwty]  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 y}:)cA~o(y  
连接建模技术:衍射光束分束器 ;([tf;  
  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 mC[U)` ey  
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将传输函数转化为结构 &T|&D[@  
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衍射光束分束器表面 :(?hLH.W[  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM ~b6<uRnM.  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 dD.d?rnZq7  
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设计与评估结果 D8D!16_  
• 相位函数设计 )x:j5{>(  
• 结构设计 Z/05 wB  
• TEA 评估 2eR+dT  
• FMM 评估 "O*W]e  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) , w'$T)  
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仅相位传输设计 SX=0f^  
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On.x~ t  
结构设计 4bFVyv  
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使用TEA进行性能评估 yDyeP{  
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使用FMM进行性能评估 *JC{G^|Y  
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进一步的分析(优化后,容差分析) X@AkA9'fq  
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u r.T YKF  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 n `T[eb~  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 '/Cz{<,  
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2l(j 4~g  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ^\kHEM|5v  
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