SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 x#Sqn#
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 "Ph^BU Ab
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 @v}/zS
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激光雷达的基本原理如下图： 0}_[DAd6
[attachment=129490] M Y| w
2.1设计要求 L:@7tc.
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： {%_L=2n6
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固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um ,\NFt`]j
波长905+-5nm uu`G 2[t
焦距15mm =UV`.d2[
视场角 2w =76 l+V>]?j
FN =1.4 >,td(= :
后焦26mm fka c_X$7
总长77mm eUg~)m5G
相对照度全视场>0.7且均匀 i[ mEi|
畸变<8% ~?(N
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm D-c`FG'
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 <i,U )Tt^C
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运行搜索宏可以得到10个初始结构 R
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: EK O[ !,
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基本参数 ]UmFhBR-
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初始结构的像质 Ig
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畸变 K57&yVX
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MTF }R{ ts
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相对照度表格和图像 | AozR ~
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中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 ~GZY 5HF
[attachment=129497] T: =lz:}I
(^Y~ /
固定光阑 j3{D^|0bP
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在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 tg<EY!WY
[attachment=129498] *=V~YF:Qb
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添加真实材料 .N
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[attachment=129499] K/|Z$4S
3`t%g[D1
8 ; 0A
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!1$])VQWI
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： 6G[4rD&
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最终结果像质 ewctkI$,5
5\]Sv]s)R
畸变<8%，满足条件 VHIOwzC
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 PoG-Rqe
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[attachment=129504] lh7jux
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相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 [XEkz#{
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总结 ,-8"R`UI8
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 fF7bBE)L/|
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