SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 71" JL",
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 .`& /QiD
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其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 #H6g& )Z_
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激光雷达的基本原理如下图： CTkN8{2S
[attachment=129490] !ObE{2Enf
2.1设计要求 C9F+e
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为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： # >:(#^Uu
[)SR $/A
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L=HVdeE
固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um Hg9.<|+yo
波长905+-5nm M=AvD(+ha
焦距15mm 6Z7pztk
视场角 2w =76 / " Yx@n
FN =1.4 F%#*U82
后焦26mm xe6_RO%
总长77mm 9S1Ti6A
相对照度全视场>0.7且均匀 j:e^7|.
畸变<8% R@<_Hb;Aeb
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm .i+* #djx
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Q-`{PJ(p
M[K0t>ih
运行搜索宏可以得到10个初始结构 ]`@]< 6
[attachment=129491] '>e79f-O)
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从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: q qe2,X?
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基本参数 ~y)bYG!G
[attachment=129493] {,Bb"0 \
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初始结构的像质 w*:GM8=6
z9M.e.
畸变 0 F+ zG)G"
[attachment=129494] %'"HGZn b
B [+(r
MTF Zlk,])9 Q
[attachment=129495] rv}mD
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相对照度表格和图像 Z cm<Fw
[attachment=129496] ={`CH CI
Y$`eg|$
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 0iJ!K;A2%
[attachment=129497] rBD(2M
(T|TEt
固定光阑 ym|NT0_0
+}^|dkc
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 5{13 V*<
[attachment=129498] D0 /DI
.hX0c"f]b
添加真实材料 > -y&$1
[attachment=129499] *;hY.EuoFz
1~2R^#rm
&~~aAg
pb^,Qvnp
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： |5xYT 'V
[attachment=129500] :zdEq" )v
[attachment=129501] r{\BbUnf)
?;|@T ty%
最终结果像质 +Edzjf~Tt
+T0 op4
畸变<8%，满足条件 we An &h|
[attachment=129502] S&4+ e:K
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MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 *Jvxs
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[attachment=129503] Eh\ 1O(a(
[attachment=129504] _1^8xFe2
AGOx@;w
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 X^}A*4j
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总结 J yj0Gco
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 Eg TFwEj
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