SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三：反射式光刻物镜设计|
1.概述 ;FQNO:NP
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激光雷达 (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR) 区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达，是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ^T:L6:
Sn
S$5o
M8V c5
其工作原理是向被测目标发射激光束，然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数，以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性，从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点，目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶，以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用，具有良好的应用前景。 2X<%BFsE
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激光雷达的基本原理如下图： j 7U&a}(
[attachment=129490] Bn9#F#F<
2.1设计要求 LSo*JO6
ta6>St7.
为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度，激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标： 9: .m]QN
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[G PCd@
wVqp')e
固态激光雷达探测器：像面尺寸19.5×11.5mm，像元面积35×45um &?1O D5
波长905+-5nm 4Q/{l qG
焦距15mm CuD}Uo+u
视场角 2w =76 r<'DS9m
FN =1.4 )Gavjj&uJ
后焦26mm ufCpX>lNF
总长77mm k 3H0$1
相对照度全视场>0.7且均匀 wZZ~!"O &
畸变<8% re_nb)4g
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm Y)DA R83
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搜索宏和运行结果请评论区留言获取 9/! 1J
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5"q%;
运行搜索宏可以得到10个初始结构 RyP MzxV
[attachment=129491] F~i ~%f,
"w$,` M?2
从中找出一个最佳结构，接下来进行下一步分析: gROK4'j6y
[attachment=129492] I 1n,c d[
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基本参数 76 "4Q!
[attachment=129493] -uWV(
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. b+ix=:
初始结构的像质 O^3k PVr
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畸变 E_En"r)y
[attachment=129494] ff5 gE'
^~I@]5Pq
MTF (M"r pG>L
[attachment=129495] y] c1x=x
4xE w2 F
相对照度表格和图像 oz>2P.7
[attachment=129496] }^iqhUvT F
t))MZw&@
中间优化步骤，优化宏请评论区留言获取 /zt M'
[attachment=129497] _crhBp5@T3
SF&2a(~s
固定光阑 g\fj6
bq9w@O
在合适的位置插入光阑，使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 |mE;HvQF
[attachment=129498] # H
w(w
C<AW)|r_
添加真实材料 ) PT v w>
[attachment=129499] GE(~d '
R?O)v Lmd
p d#Sn+&rf
i4,p\rE0
优化后查看 pad 发现边缘厚度不好，太薄了加工困难，重新优化宏设置 AEC 2 1 1 ，得到结果： 3q}j"x?
[attachment=129500] <BED&j!qvP
[attachment=129501] gr*CN<
7Vs p<s9bj
最终结果像质 i-Rn,}v
ey=KA t
畸变<8%，满足条件 !*}UP|8
[attachment=129502] RC/ 3\ '
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W\k8f+Ke
MTF >0.5 全视场 20 lp/mm，满足条件 '1:) q
[attachment=129503] GeTk/tU
[attachment=129504] OQ&N] P2p
\~ChbPnc
相对照度全视场>0.7且均匀，满足条件 nf/?7~3?[
[attachment=129505] 4MzQH-U >/
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总结 :rUMmO -
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该镜头所有指标已经基本满足要求，使用了7片透镜。 80*hi)ux[
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