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infotek 2024-07-22 08:32

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 P9'5=e@jB  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Hv=coS>g:  
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建模任务  h43k   
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仿真干涉条纹 980+Y  
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走进VirtualLab Fusion hh?'tb{  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 K4rr.f6  
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•设置输入场 J^XH^`'  
−基本光源模型[教程视频] _x \Ll?,  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 SB;Wa%  
•定义元件的位置和方向 Kzm_AHA)  
− LPD II:位置和方向[教程视频] f^]AyU;F:  
•正确设置通道以进行非序列追迹 \?g%>D:O;  
−非序列追迹的通道设置[用例] w Vof_'F1  
•使用参数运行检查影响/变化 :Hd<S   
−参数运行文档的使用[用例] +-Dd*yD6<  
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VirtualLab Fusion技术 SN+Bmdup  
@U)'UrNr~  
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