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infotek 2024-07-17 08:17

高效偏振无关透射光栅的分析与设计

摘要 m2PUU/8B/  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 fAs b:P  
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建模任务 3\7MeG`tl  
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光栅特性与参数的严格分析 O^L]2BVC  
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不同光栅周期下的衍射效率 qSY\a\.<  
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关于光栅周期选择的考虑 >mb}~wx`  
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偏振相关的衍射特性 4agW<c#  
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通过参数优化进行光栅设计 1&w%TRC2x  
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固定周期的2D参数优化 m#_BF#  
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2D参数优化–设计1 VGS%U8;  
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2D参数优化–设计2 fn}E1w  
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制造公差分析–设计2 )N.3Q1g-  
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变化光栅周期的3D参数优化 ]IuZT  
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制造公差分析 *zdD4 I=  
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走进VirtualLab Fusion Vn#}f=u\  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 um9&f~M  
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S{^x]h|?  
•构造光栅结构 |f_'(-v`E  
通过使用界面来配置光栅结构 Ii0\Skb  
[用例]  P^te  
•分析光栅衍射效率 -Q? i16pM  
光栅级次分析器[用例] rN1]UaT  
•使用参数运行搜索初始解决方案 gC$_yd6m L  
参数运行文档的使用[用例] B- @bU@H  
•通过参数优化找到最终设计
c7CYulm  
h0F=5| B  
VirtualLab Fusion技术 "(=g7,I4  
, Q0Y} )  
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