薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

摘要 oY\;KPz  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 o9{1_7K  
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建模任务 21?>re
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正弦光栅—透射相位曲线 0KZsWlD:L  
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正弦光栅—透射相位曲线 3\B~`=*q/  
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正弦光栅—衍射效率 ]#rmk!VT?  
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正弦光栅—效率与周期 iqTmgE-  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 pAtxEaXh  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） Nu; 9  
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闪耀光栅—透射相位曲线 ]"vpCL  
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闪耀光栅—衍射效率 4=;`\-7!  
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闪耀光栅—效率与周期 ,Ct1)%   
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VirtualLab Fusion一瞥 -sk!XWW+  
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• 设置光栅结构 ncij)7c)u  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] y)+lU  
• 分析光栅衍射效率 <a%RKjQvT  
−光栅阶次分析器[用户案例] NB)22 %  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ]AB4w+6!  
− 利用参数运行文档[用户案例] n]WVT@  
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VirtualLab Fusion技术 n]P,5  
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