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infotek 2024-07-10 07:58

使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

摘要 n>5/y c"/q  
 z4UJo!{S  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ivi,/~L  
7^3a296  
 9pPohR*#V  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） QE b ^'y  
 `'gadCTb=  
建模任务 Zd Li<1P*d  
B0&W wa:  
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XoO#{7a  
单次FMM仿真结果 Hyj<Fqr!.  
=Ll:Ba Q  
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P%nN#Qm  
参数扫描（1D） F^xhhz&e  
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 U,_jb}$Sq7  
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参数扫描（2D） c8"9Lv  
   >w}5\ 4j  
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