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infotek 2024-07-03 07:57

用于一般光学系统的光栅元件

摘要 IHvrx:7  
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光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 6;#Rd|  
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W;!)Sj4<T!  
ZA.i\ ;2  
系统内光栅建模 j=n<s</V  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 |7%#z~rT  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 *W$bhC'w  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 dI) 9@UL  
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&@/25Y2  
m$}Jw<.W  
附着光栅堆栈 zHk7!|%Y  
w^8i!jCy  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 d{*e0  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 {`=k$1  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 D=:O ^<  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 vbSycZ2M7  
5;q{9wvqO  
Rxk0^d:sNi  
g~]?6;uu  
堆栈的方向 feG#*m2g  
)k6kK}  
堆栈的方向可以用两种方式指定: Q+a"Z^Z|  
se&Q\!&M  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 6"<q{K  
a+P Vi  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 S0mzDLgE  
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vx}W.6C}  
基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 nD\H$5>5  
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 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 67T=ku  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 vk.P| Y-;  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 u?I2|}#  
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R/Z zmb{  
高级选项和信息 ,WtJ&S7?  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Z,7VOf6g  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 V?&P).5)  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 |ZtNCB5{^j  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ]'5 G/H5?;  
Er@OmNT  
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Hp5.jor(k  
结构分解 6o<(,\ad [  
aDda&RM  
 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 }va>jfy  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 2sH1) ,\  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 5&TH\2u  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 {3!E8~  
52t6_!y+V  
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e-*-91D  
光栅级次通道选择 ()e|BFL.  
~Xz?H=}U+  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ZY=a[K  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 AL;4-(KH  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 -;*lcY*  
#jM-XK  
7> 8L%(7  
y_r(06"z1  
光栅的角度响应 \IZY\WU}2  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 bXk(wXX  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 CaR-Yk   
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 4d\V=_);r  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 N5.B"l  
uR6 `@F  
Vh N6 oI  
$[\\{XJ.  
例:谐振波导光栅的角响应 Q) =LbR{#  
Vrs?VA`v$  
g cb6*@u!  
Ug\$Ob5=q  
谐振波导光栅的角响应 GA;h7  
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