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infotek 2024-07-03 07:57

用于一般光学系统的光栅元件

摘要 o[4}h:> dq  
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光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 k'Hs}zeNn  
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系统内光栅建模 rKc9b<Ir  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 }K>d+6qk5  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ]cvwIc">  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 *Q.>-J<S  
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附着光栅堆栈 }#+^{P3;  
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 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 59L\|OR  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 rXq.DvQ  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 J{<X 7uB  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Vt~{Gu-Y  
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堆栈的方向 fbvL7* (  
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堆栈的方向可以用两种方式指定: On?v|10r'  
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它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 hfB%`x#akQ  
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请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 I@N8gn  
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基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 W@IQ^ }E  
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 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 -i|}m++  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 q<<v,ihh  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 e`s ~.ZF  
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高级选项和信息 >:!5*E5?  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 w2c?.x  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 BlO<PMmhT&  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 s8Q 5ui]  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 f~[7t:WD*  
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结构分解 Om@;J%u/  
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 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 T-L||yE,h  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Zi i   
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 v?$:@9pAk  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 bJ%h53  
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光栅级次通道选择 _H%c;z+  
gf@:R'$:+  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 `h\j99  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 L*+@>3mu)  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 aXYY:;  
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光栅的角度响应 _{KG 4+5\X  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 )akoa,#%6c  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 bE..P&"  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 Kc-W&?~y#1  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 t*u:hex  
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例:谐振波导光栅的角响应 ?`ZU R& 20  
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谐振波导光栅的角响应 D@.6>:;il  
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