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infotek 2024-07-03 07:57

用于一般光学系统的光栅元件

摘要 du8!3I  
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光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Qw}xGlF,  
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do*Wx2:R  
R rxRa[{Z  
系统内光栅建模 }il%AAI9}r  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 /LSq%~UF  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 2-PI JO  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Lq%[A*`^  
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附着光栅堆栈 5#P: "U  
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 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 <%he  o  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 +<H !3sW  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 Mi<*6j0  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Q-:Ah:/  
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堆栈的方向 ,I("x2  
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堆栈的方向可以用两种方式指定: F=:F>6`  
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它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ZV0) ."^Z  
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请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 }`#j;H$i  
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基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 Pxap;;\  
o@Dk%LxP  
 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 OX'/?B((  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 7l[t9ON  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 Uy:@,DW  
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高级选项和信息 JiG8jB7%}  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 R9S7_u  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 9t,aT!f  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 rjfc.l#v  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 A)=X?x  
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结构分解 LPtx|Sx![  
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 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 <6~/sa4GN  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ZS07_6.~  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 vbW\~xf  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 D7 8) 4>X  
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Fo--PtY`p  
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光栅级次通道选择 ":5~L9&G  
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 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 LA(f]Xmc  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 1"87EP   
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Zb5T90s%  
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光栅的角度响应 F 5b]/;|  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^v()iF !  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 w+:+r/!g  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 l%vhV&  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 p;)klH@X  
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例:谐振波导光栅的角响应 ]kU~#WT  
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谐振波导光栅的角响应 {RWahnr{  
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