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倾斜光栅的参数优化与容差分析
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infotek
2024-05-22 07:52
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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结果-容差分析
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在VirtualLab Fusion中查看
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VirtualLab Fusion的工作流程
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•构造光栅结构
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- 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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