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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 Vh'P&W?[  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 l.q&D< _  
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建模任务 cXA i k-  
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概述 EEEh~6?-e  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U\g/2dM  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R[zpD%CI  
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光线追迹仿真 G"r1+#  
Y4J3-wK5  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M,j U}yD3  
•单击go! prWk2_D;*  
•获得了3D光线追迹结果。 ] ]u s %  
/ kF)  
y`L>wq,KU  
>BV^H.SO|1  
光线追迹仿真 .iYJr;9`d  
fW{(lPx  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 AiwOc+R  
•单击go! i[O& )N,c  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 g?c xp +  
r)Ma3FL0;  
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场追迹仿真 0CWvYC%e  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _?-E7:Sw  
•单击go! -z ID x  
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场追迹仿真(相机探测器) eVEV}`X  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HCIU!4rH  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 _:ReN_0  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 0%32=k7O[  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IY_iB*T3jt  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ,cXD.y  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %@<8<6&q  
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