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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 p]f&mBO*  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 mxtgb$*  
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建模任务 }brr ) )  
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概述 : ^(nj7D  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 FLbZ9pX}  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 QWhp:] }  
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光线追迹仿真 NG-`ag`s  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 22bT3  
•单击go! 6Kht:WE  
•获得了3D光线追迹结果。 {5x>y:v  
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光线追迹仿真 wO.B~`y  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \]a uSO  
•单击go! .CmL7 5  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 S~&\o\"5  
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场追迹仿真 ;y>'yq}  
XPVV+.  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0# UAjT3  
•单击go! 8l?w=)Qy  
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场追迹仿真(相机探测器) qa;EI ;8  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~FNPD'`t  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Jmy)J!ib*  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 5~-}}F  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T:'+6  
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场追迹仿真(电磁场探测器) )_F(H)*  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -MUQ \pZ  
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