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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 }ssV"5M  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 l<+ [l$0#  
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建模任务 r%.k,FzGZY  
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概述 ^/ "}_bR  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]@#9B>v=  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X<L=*r^C,=  
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光线追迹仿真 ..} P$  
vh a9,5_  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |(.\J`_e  
•单击go! wb$uq/|  
•获得了3D光线追迹结果。 mXRkR.zu+  
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光线追迹仿真 /f#b;qa,  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3ay},3MCV%  
•单击go! KoERg&fY  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 3YvKHn|V"  
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场追迹仿真 I\Op/`_=E  
"W7|Xp  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 TPN+jK  
•单击go! cyCh^- <l@  
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场追迹仿真(相机探测器) O52 /fGt  
g6,DBkv2  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 296}LW  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Y}ogwg&  
UY(T>4H+h  
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场追迹仿真(电磁场探测器) y#GHmHeh  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &D<R;>iI  
v #+ECx  
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场追迹仿真(电磁场探测器) joe)b  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Xd(^7~i  
Cab.a)o  
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