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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 vpqMKyy  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ffE>%M*  
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建模任务 h2Jdcr#@FF  
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概述 xDBHnr}[  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yzmwNsu  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5mYI5~ p  
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光线追迹仿真 ( -rw]=Qu  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eFeWjB'<7  
•单击go! 6J%+pt[tu  
•获得了3D光线追迹结果。 A4uDuB;;ZQ  
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光线追迹仿真 mh8~w~/[  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1z[GYRSt  
•单击go! Yl6\}_h`  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 A/"p PO  
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场追迹仿真 <\cH9D`dE  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 VX;tg lu2  
•单击go! zl !`*{T{  
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场追迹仿真(相机探测器) *AU"FI> V  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5CsJghTw  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 IFY,j8~q  
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场追迹仿真(电磁场探测器) =Jx,.|Bf  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oGLSk (T&I  
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场追迹仿真(电磁场探测器) .baS mfc  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _;B N;].  
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