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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 eqo0{e  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 za>UE,?h  
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建模任务 B$4*U"tk  
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概述 #~*v##^vFH  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BG>Y[u\N  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f%Q{}fC{*  
AM}R#86  
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光线追迹仿真 4CNrIF@  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D'"  T'@  
•单击go! |VBt:dd<  
•获得了3D光线追迹结果。 SK<Rk  
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t un}rdb  
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光线追迹仿真 WJShN~ E  
d+9V% T  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 a~$XD(w^  
•单击go! Pf*6/7S:  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 4"d,=P.{  
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场追迹仿真 7+O)AU{  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 615Ya<3f8  
•单击go! ( xs'D4  
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场追迹仿真(相机探测器) P"YdB|I  
Dd3f@b[WX  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 i_Kwxn$  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 pwFp<O"  
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场追迹仿真(电磁场探测器)  N5 ME_)  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OgQd yU  
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场追迹仿真(电磁场探测器) aukcO ;oG<  
S|85g1}t  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j-<]OOD  
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