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infotek 2024-05-14 07:57

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 J&@[=zBYw  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 )^|zuYzN  
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建模任务 Om\?<aul  
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概述  =SRp  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S@k4k^Vg  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |z<E%`u%  
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光线追迹仿真 l-Xxur5M'  
17a'C  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2~<?E`+  
•单击go! 9F(<n  
•获得了3D光线追迹结果。 |>gya&  
#VgPg5k.<  
Ep|W>  
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光线追迹仿真 _bHmcK  
V44IA[  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 W~$YKBW  
•单击go! x\]%TTps  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ^cz #PNB  
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场追迹仿真 7H:1c=U  
u}W R1u [  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2ro4{^(_  
•单击go! X2 c<.  
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场追迹仿真(相机探测器) *)gbKXb  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^G.PdX$M  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 r?{tu82#i  
aze}ko NE  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ~e~iCyW;S  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (]n^_G#-$  
EtjN :p|$  
M. O3QKU4  
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场追迹仿真(电磁场探测器) -& I)3  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ak 94"<p  
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