首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
讯技光电&黉论教育
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2024-05-14 07:57
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
J&@[=zBYw
]$EKowi
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
)^|zuYzN
\XCs(lNh
E;@`{ v
yLW iY~Fd
建模任务
Om\?<aul
(=j]fnH?
Y 'Yoc
概述
=SRp
Y@c!\0e$
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
S@k4k^Vg
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
|z<E%`u%
2w $o;zz1
9} :n
;4z6="<Y
光线追迹仿真
l-Xxur5M'
17a'C
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
2~<?E`+
•单击go!
9F(<n
•获得了3D光线追迹结果。
|>gya&
#VgPg5k.<
Ep|W>
g7EJyA
光线追迹仿真
_bHmcK
V44IA[
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
W~$YKBW
•单击go!
x\]%TTps
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
^cz#PNB
[>A%%
WtN o@e'
c_s=>z
场追迹仿真
7H:1c=U
u}W R1u[
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
2ro4{^(_
•单击go!
X2 c<.
:rnn`/L
QeuIAs* _
ArDkJ`DE
场追迹仿真(相机探测器)
*)gbKXb
N?eWf +C
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
^G.PdX$M
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
r?{tu82#i
aze}koNE
f wWI2"}
2>80Qp!xO
场追迹仿真(电磁场探测器)
~e~iCyW;S
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
(]n^_G#-$
EtjN :p|$
M.O3QKU4
_w/w~;7
场追迹仿真(电磁场探测器)
-&I)3
paF$o6\
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
ak 94"<p
~4S@kYe{3K
LE%3.. !
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计