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2024-05-13 07:55 |
白光迈克尔逊干涉仪
1.摘要 pz.fZV W@~a#~1O 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 u#3Cst8Y VxU{ZD~<Z" [attachment=128501] R5<:3tk=X `>0(N.'T 2. 建模任务 ;|oem\dKv Nm3CeU [attachment=128502] w}x&wWM YH-W{]. 3. 干涉条纹的变化 ^YEMR C qi8~bQ{rH [attachment=128503] jYW-}2L Gk|T1% 4. 走进VirtualLab Fusion Qr~yHFc1y |(9l_e| [attachment=128504] SqoO"(1x z~;@Mo"*f 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ~e+pa|lO Ystd[ [attachment=128505] Sqla+L* =8DS~J{ 6. VirtualLab Fusion 技术 vGp`P O{=@c96rl [attachment=128506]
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