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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 M
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 \9T /%[r#
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建模任务 #Zt(g( T
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仿真干涉条纹 #/LU@+
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走进VirtualLab Fusion n|AV7c
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VirtualLab Fusion中的工作流程 /7jb&f
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•设置输入场 g vu1
−基本光源模型[教程视频] 9A!B|s
•使用导入的数据自定义表面轮廓 )0N^rw kW
•定义元件的位置和方向 X &s"}Hf
− LPD II：位置和方向[教程视频] EaUO>S
•正确设置通道以进行非序列追迹 }\3jcnn
−非序列追迹的通道设置[用例] \<0xg[
•使用参数运行检查影响/变化 x#c%+
−参数运行文档的使用[用例] lXOT >$qR<
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VirtualLab Fusion技术 W|4h;[w
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