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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 W;-Qze\D
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 S&=B &23T
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建模任务 ]Pd *w`R
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仿真干涉条纹 2)8lJXM$L
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走进VirtualLab Fusion 3Q ]MT
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VirtualLab Fusion中的工作流程 =_1" d$S&
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•设置输入场 @KpzxcEoO
−基本光源模型[教程视频] ?eO|s5r
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ;|^fAc~9{r
•定义元件的位置和方向 )3
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− LPD II：位置和方向[教程视频] @E)XT\;3
•正确设置通道以进行非序列追迹 sooh yK8
−非序列追迹的通道设置[用例] d G rA 18
•使用参数运行检查影响/变化 U iSc*_N"
−参数运行文档的使用[用例] W#wM PsB
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VirtualLab Fusion技术 wTW"1M
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