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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 "xI"
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 j`'`)3f
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建模任务 ;h6v@)#GX
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仿真干涉条纹 FuG4F
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走进VirtualLab Fusion ] xC#rwHUC
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VirtualLab Fusion中的工作流程 )[H{yQ
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•设置输入场 6R- &-4
−基本光源模型[教程视频] fbyQjvURnC
•使用导入的数据自定义表面轮廓 C *U'~qRK
•定义元件的位置和方向 'E/*d2CDM(
− LPD II：位置和方向[教程视频] M` q?Fk
•正确设置通道以进行非序列追迹 |b-9b&
−非序列追迹的通道设置[用例] 3 !Sp0P
•使用参数运行检查影响/变化 p.ANVA@:
−参数运行文档的使用[用例] GoA4f 3
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VirtualLab Fusion技术 s2?T5oWU
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