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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 dI};l
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >)\x\e
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建模任务 4>x]v!d
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仿真干涉条纹 9$U@h7|Q`
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走进VirtualLab Fusion : p %G+q2
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VirtualLab Fusion中的工作流程 'Km
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•设置输入场 /Y| y0iK
−基本光源模型[教程视频] 6:_@ ;/03%
•使用导入的数据自定义表面轮廓 jd ]$U_U (
•定义元件的位置和方向 trlZ ^K
− LPD II：位置和方向[教程视频] %c:v 70*h=
•正确设置通道以进行非序列追迹 {EU?{ #
−非序列追迹的通道设置[用例] PW 7{,1te,
•使用参数运行检查影响/变化 r?Q`b2Q
−参数运行文档的使用[用例] ,6T F]6:
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