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2024-05-13 07:54 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 Rw u
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 e15_$M;RW
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建模任务 K
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仿真干涉条纹 4$HU=]b6Tf
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走进VirtualLab Fusion $>Y 2N5
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VirtualLab Fusion中的工作流程 rt5FecX\
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•设置输入场 C 2 $_Ad=s
−基本光源模型[教程视频] |@Cx%aEKU
•使用导入的数据自定义表面轮廓 5" 5tY
•定义元件的位置和方向 %Y0, ww2
− LPD II：位置和方向[教程视频] k/U1
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•正确设置通道以进行非序列追迹 7FQ&LF46
−非序列追迹的通道设置[用例] UaW,#P
•使用参数运行检查影响/变化 <FaF 67[Q
−参数运行文档的使用[用例] lfle7;
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VirtualLab Fusion技术 @y"/hh_?
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