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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
[attachment=128447] {YIf rM 内容简介 j4+kL4M@H Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 -d*je{c| 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }3=^Ik;x 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]5+<Rqdbg AEo
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 &d=ZCaP 目录 j7qGZ"8ak Preface 1 "$ U!1 内容简介 2 {7^D!lis 目录 i qsHjqK@( 1 引言 1 K9c5HuGy 2 光学薄膜基础 2 QBLha']'% 2.1 一般规则 2 "f4atuuXa 2.2 正交入射规则 3 Z`x*Igf8 2.3 斜入射规则 6 aH*5(E] 2.4 精确计算 7 _$m1?DZ 2.5 相干性 8 UgD&tD0fp 2.6 参考文献 10 %YwIR.o 3 Essential Macleod的快速预览 10 C n.x:I@r 4 Essential Macleod的特点 32 hIFfvUl 4.1 容量和局限性 33 '\R/-. 4.2 程序在哪里? 33 N _|tw 4.3 数据文件 35 Bn5$TiTcl 4.4 设计规则 35 d[y(u<Vl 4.5 材料数据库和资料库 37 ,XYtoZa 4.5.1材料损失 38
t&H3yV 4.5.1材料数据库和导入材料 39 lH"4"r 4.5.2 材料库 41 d7qYz7=d 4.5.3导出材料数据 43 uolEX+ 4.6 常用单位 43 %Iv*u sXP 4.7 插值和外推法 46 T*rx5*:o 4.8 材料数据的平滑 50 aS&,$sR 4.9 更多光学常数模型 54 |WsB0R 4.10 文档的一般编辑规则 55 6HRr4NDcj 4.11 撤销和重做 56 o$k9$H>Na 4.12 设计文档 57 4(TR'_X( 4.10.1 公式 58 8'o6: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 `-[|@QNFz 4.10.3 沉积密度 59 -HUlB|Q8r 4.10.4 平行和楔形介质 60 iDV.C@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8Lr&-w8J 4.10.4 性能 61 hYSf;cG}A 4.10.5 保存设计和性能 64 (!0fmL 4.10.6 默认设计 64 L(DDyA{bA 4.11 图表 64 E[2xo/H 4.11.1 合并曲线图 67 -gVsOX0 4.11.2 自适应绘制 68 ]OLe&VRix 4.11.3 动态绘图 68 _
cm^Fi5 4.11.4 3D绘图 69 !uSG 1j"y 4.12 导入和导出 73 ?k+>~k{}a 4.12.1 剪贴板 73 L<Q>:U.@\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 l1eF&wNC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 U flS` 4.13 背景 77 I:edLg1T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 W \XLf,_+ 4.15 生成Rugate 84 2dnyIgi 4.16 参考文献 91 =jkiM_<h 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 G!.%Qqs 5.1 Jobs 92 `w EAU7m: 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;P9cjfSn 5.3 输入材料 94 ?V' zG&n@ 5.4 设计数据文件夹 95 UB,:won 5.5 默认设计 95 pd}Cg'}X 6 细化和合成 97 WnL7 A:sZ 6.1 优化介绍 97 N^%7 6.2 细化 (Refinement) 98 B;c2gu
6.3 合成 (Synthesis) 100 T1i}D"H % 6.4 目标和评价函数 101 +\U#:gmw 6.4.1 目标输入 102 .dKFQH iYJ 6.4.2 目标 103 4x"9Wr=} 6.4.3 特殊的评价函数 104 ZiaHLpk 6.5 层锁定和连接 104 9qI#vHA 6.6 细化技术 104 !dGSZ|YZ 6.6.1 单纯形 105 ' ?uwUBi 6.6.1.1 单纯形参数 106 jP}Ix8vc= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 GL'l "L 6.6.2.1 Optimac参数 108 !z2 KQ
4C 6.6.3 模拟退火算法 109 THY=8&x) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )<[)7` 6.6.4 共轭梯度 111 Mq52B_ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1Uk Gjw1J 6.6.5 拟牛顿法 112 T7?cnK" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 UZx8ozv' 6.6.6 针合成 113 'w?}~D.y
6.6.6.1 针合成参数 114 q#\4/Dt 6.6.7 差分进化 114 <g1=jG:7k 6.6.8非局部细化 115 0bl 8J5Ar5 6.6.8.1非局部细化参数 115 /Jf}~}JP 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7&
'p"hF 6.7.1 细化 116 QE+HL8c^s 6.7.2 合成 117 SaFNPnk= 6.8 参考文献 117 GUC.t7! 7 导纳图及其他工具 118 @G^m+- 7.1 简介 118 U?=-V8#M| 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 `rb}"V+ 7.2.1 四分之一波长规则 119 *9tRhRc 7.2.2 导纳图 120 )8%m|v#W 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +*Zjo&pc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Iad&Z8E 7.5 斜入射导纳图 141 X=jHH=</ 7.6 对称周期 141 {<Y\flj{@m 7.7 参考文献 142 r<5i 8 典型的镀膜实例 143 p(.z#o# 8.1 单层抗反射薄膜 145 97vQM 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 om2)Cd9~7 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 w5;d/r<q 8.4 W-膜层 148 W~j>&PK,? 8.5 V-膜层 149 nrKir 8.6 V-膜层高折射基底 150 ..Bf-)w 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 =w ! 6un 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 g17 fge6% 8.9 四层抗反射薄膜 153 (?1/\r 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )6{,y{5! 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 DLO2$d 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 H1r8n$h 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 7V-uQ)* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ?*&5`Xh 8.15十五层宽带抗反射膜 159 6#kmV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ZuT5}XxF 8.17 1/4波长堆栈 162 LAY~hF" 8.18 陷波滤波器 163 &M7AM"9 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 M\9+? 8.20 褶皱 165 ;%Kh~ 8.21 消偏振分光器1 169 xwojjiV 8.22 消偏振分光器2 171 soh9Oedml- 8.23 消偏振立体分光器 172 $l_\9J913 8.24 消偏振截止滤光片 173 BG/RNem 8.25 立体偏振分束器1 174 mD7kOOMY
8.26 立方偏振分束器2 177 g`dAj4B 8.27 相位延迟器 178 >
1=]. 8.28 红外截止器 179 vngn^2 8.29 21层长波带通滤波器 180 S]?I7_ 8.30 49层长波带通滤波器 181 ('+C $ 8.31 55层短波带通滤波器 182 IQQ>0^Q~ 8.32 47 红外截止器 183 IHv>V9yiG 8.33 宽带通滤波器 184 :"gu=u! 8.34 诱导透射滤波器 186 %7
$X
* 8.35 诱导透射滤波器2 188 q<Y#-Io%3 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 K{0 gkORF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 |#zj~>7? 8.35 增益平坦滤波器 193 FiKGB\_] 8.38 啁啾反射镜 1 196 |eK^Yhym 8.39 啁啾反射镜2 198 vf-8DB 8.40 啁啾反射镜3 199 lsU`~3nr 8.41 带保护层的铝膜层 200 cToT_Mk 8.42 增加铝反射率膜 201 e17]{6y 8.43 参考文献 202 |y4j:`@. 9 多层膜 204 rC6@
] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ,6aF~p;wI| 9.2 内部透过率 204 wZt2%+$6m 9.3 内部透射率数据 205 x{S2 9.4 实例 206 "
f.9u 9.5 实例2 210 JZ/T:Hsh4 9.6 圆锥和带宽计算 212 5C-XQS1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 $V;0z~&!' 10 光学薄膜的颜色 216 )H+ p6< 10.1 导言 216 6S^JmYq 10.2 色彩 216 EP{/]T 10.3 主波长和纯度 220 Wa9yyc 10.4 色相和纯度 221 Lc0=5]D 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]xPy-j6C 10.6 色差 226 Tr,
zV 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 n$<n
Yr`X 10.8 颜色渲染指数 234 k0,]2R 10.9 色差计算 235 |CPyCM$ 10.10 参考文献 236 8Yf=) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 0F 6~S 11.1 短脉冲 238 S}6xkX 11.2 群速度 239 0P;\ :-&p 11.3 群速度色散 241 ($t;Xab 11.4 啁啾(chirped) 245 w{ Pl 11.5 光学薄膜—相变 245 &3:<WU:U 11.6 群延迟和延迟色散 246 5YLc4z* 11.7 色度色散 246 YwZ]J 11.8 色散补偿 249 IGo+O*dMw 11.9 空间光线偏移 256 3\K;y>NK 11.10 参考文献 258 s3=slWY= 12 公差与误差 260 &t}6sD9o 12.1 蒙特卡罗模型 260 4c<\_\\ck 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^(KDtc 12.2.1 误差工具 267 cyB2=, 12.2.2 灵敏度工具 271 Xt!wOW 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <4TF ]5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 AsR}qqG 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 bd[iD?epD] 12.3 参考文献 276 0@RVM| 13 Runsheet 与Simulator 277 TjOK8
t 13.1 原理介绍 277 \zhCGDm1_ 13.2 截止滤光片设计 277 6u xF< 14 光学常数提取 289 r`e6B!p 14.1 介绍 289 M6y|;lh''c 14.2 电介质薄膜 289 a0's6C 14.3 n 和k 的提取工具 295 ysFp$!9Ux 14.4 基底的参数提取 302 L$^)QxH7 14.5 金属的参数提取 306 {FR+a** 14.6 不正确的模型 306 ol}}c6 14.7 参考文献 311 ,_@) IN 15 反演工程 313 j|@8VxZ 15.1 随机性和系统性 313 )lP(isFP 15.2 常见的系统性问题 314 j9.%(* 15.3 单层膜 314 er<_;"`1 15.4 多层膜 314 y0'WB`hNQ 15.5 含义 319 kArF Gb2c 15.6 反演工程实例 319 (O/W`qo 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 le6eorK8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 u]P9ip"Z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 6\? 2=dNX 16.1 光学性质的热致偏移 329 {"O-/*
f+( 16.2 应力工具 335 JY%l1:}G3 16.3 均匀性误差 339 K6 ,d{n 16.3.1 圆锥工具 339 I_|W'%N] 16.3.2 波前问题 341 -c#vWuLl 16.4 参考文献 343 f7Gs1{ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 4@0Z<8Mo 17.1 引言 345 q[x|tO 17.2 操作数 345 _p<wATv?7t 18 如何在Function中编写脚本 351 pL: r\Y:R 18.1 简介 351 P`y.3aK 18.2 什么是脚本? 351 h<7@3Ur 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 xPJ@!ks9 18.4 基础 352 8v6AfTo% 18.4.1 Classes(类别) 352 U-D00l7C 18.4.2 对象 352 @*WrHoa2N 18.4.3 信息(Messages) 352 0CI\Yd= 18.4.4 属性 352 ?y,KN}s_ 18.4.5 方法 353 Wr8}=\/ 18.4.6 变量声明 353 )Jh:~9L%=' 18.5 创建对象 354 vnqLcNB H 18.5.1 创建对象函数 355 TXqtE("BDl 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Ob]J!. 18.5.3 丢弃对象 356 6 kD. 18.5.4 总结 356 4W=fQx] 18.6 脚本中的表格 357 +kq+x6& 18.6.1 方法1 357 [}5mi?v 18.6.2 方法2 357 0Kg?X 18.7 2D Plots in Scripts 358 /&l4 sF1 18.8 3D Plots in Scripts 359 =+H,} 18.9 注释 360 >|mZu)HIY; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8&CQx* 18.11 一个更高级的脚本 362 b`;Cm)@X!) 18.12 <esc>键 364 :g{ybTSEe 18.13 包含文件 365 ED>P>Gg 18.14 脚本被优化调用 366 yoM^6o^,D 18.15 脚本中的对话框 368 XJ1Bl 18.15.1 介绍 368 {D8yqO A} 18.15.2 消息框-MsgBox 368 "YVr/u 18.15.3 输入框函数 370 z~ua#(z1S 18.15.4 自定义对话框 371 /Eu|Jg=I 18.15.5 对话框编辑器 371 NMzq10M=6 18.15.6 控制对话框 377 27MwZz 18.15.7 更高级的对话框 380 xRZ/[1f! 18.16 Types语句 384 pDcGf7 18.17 打开文件 385 s%G%s,d 18.18 Bags 387 7v}(R:* 18.13 进一步研究 388 cGlpJ)'-{ 19 vStack 389 c7nbHJi 19.1 vStack基本原理 389 DX ZZZ[# 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8EU/}Ym 19.3 五棱镜 393 Sa/]81aG 19.4 光束距离 396 Q'YakEv >= 19.5 误差 399 [rz5tfMp 19.6 二向分色棱镜 399 @S 0mNA 19.7 偏振泄漏 404 H%0WD_ 19.8 波前误差—相位 405 D5Z)"~' 19.9 其它计算参数 405 %eGI]!vf 20 报表生成器 406 xl9S=^`= 20.1 入门 406 AuY*x;~ 20.2 指令(Instructions) 406 )"_&CYnd 20.3 页面布局指令 406 5ka6=R(r 20.4 常见的参数图和三维图 407 1?G%&X@
X 20.5 表格中的常见参数 408 z
G`|) 20.6 迭代指令 408 55=YM'5] 20.7 报表模版 408 9U3 .=J 20.8 开始设计一个报表模版 409 E`]un. 21 一个新的project 413 Z6&bUZF$bE 21.1 创建一个新Job 414 WA.c.{w\ 21.2 默认设计 415 OF,_6"m 21.3 薄膜设计 416 YD0j&@. 21.4 误差的灵敏度计算 420 ,[3}t%Da 21.5 显色指数计算 422 yh'*eli 21.6 电场分布 424 Ao@WTs9 后记 426 AYDAt5K_ 有兴趣可以扫码加微咨询[attachment=128443] "BIhd*K[~
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