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2024-04-11 08:02 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 QPB,B>Z 8>[g/%W 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 9o5D3
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,:W •使用参数运行的容差分析 L_!ShE CfU|]< [attachment=127832] :/|"db&` 4c<
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