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2024-04-11 08:02 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 Tz+2g&+
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Yi &;4vC
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设计任务 -'3vQXj&
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1级参数优化 .\X/o!xC
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结果-容差分析 t= "EbPE
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结果-容差分析 ' IFbD["r
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VirtualLab Fusion一瞥 $@Zb]gavt?
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VirtualLab Fusion中的工作流程 HGfYL')Z
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构建光栅结构 V!3G\*$?
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 'SY j Ehvw
−倾斜光栅高级设定[用例] IpGq_TU
•光栅衍射效率分析 \r^=W=
−光栅阶序分析器[用例] -
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•使用参数优化进行光栅参数优化 hUSr1jlA
•使用参数运行的容差分析 rl'Yy O}2
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VirtualLab Fusion技术 .Di+G-#aEs
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