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2024-04-11 08:02 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 @.T(\Dq^ c+|,qm 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pCS2sq8RC !$P+hX` [attachment=127826] _R-[*ucq u;rK.3o 设计任务 Ao~ZK[u ]@)T] [attachment=127827] , v,mBYaU )y&}c7xW 1级参数优化 k$1ya7-@ C50&SrnBU1 [attachment=127828] chv0\k"' S(<r-bV< 结果-容差分析 1sKKmtgH V~ph1Boz2 [attachment=127829] W!|A3V35\: yG -1g0 结果-容差分析 __< | |