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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 g~S>_~WL
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 u I}S9
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建模任务 v[q2OWcL
?kI-o0@O.
[attachment=127808] 6@t4 pML
概述 Zm >Q-7r9
pLE|#58I
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s7A{<>:
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5hUYxF20h8
U}x2,`PI
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光线追迹仿真 Xai ,
vQ#$.*Cvn
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O5CIK}A
•单击go！ 2l}FO dq
•获得了3D光线追迹结果。 O[+S/6uy
tV<}!~0,*
[attachment=127810] j7 K9T
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光线追迹仿真 N6S0(%
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e#(0af8A
•单击go！ d QVV0)z
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 cKEf- &~
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[attachment=127811] 0?qXD O&~
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场追迹仿真 1mm/Ssw:C
QZ$9 4XLI
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `C%,Nj
•单击go！ UTGR{>=>
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[attachment=127812] }L^Yoq]
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场追迹仿真（相机探测器） 0}2Uj>!i
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 yH#zyO4fD-
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `<i|K*u
LzB)o\a
[attachment=127813] Tw/kD)u{
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场追迹仿真（电磁场探测器） =24)`Lyb
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .;ml[DXH
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[attachment=127814] ck>|p09q'9
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场追迹仿真（电磁场探测器） wv>Pn0cO
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /6B!& b2f
VQ5T$,&
[attachment=127815]
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