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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 N.Wdi
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?( dYW7S
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建模任务 Fv7%TK{oe
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概述 GJ^]ER-K
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 057G;u/
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 nTlv'_Y(
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光线追迹仿真 \w0b"p
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?3"D|
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•单击go！ BHJ'[{U*w
•获得了3D光线追迹结果。 e
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光线追迹仿真 j~L1~@
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 mTuB*
•单击go！ b#I*~
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iP? ASqo{
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场追迹仿真 QY\wQj wuW
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 wq_oh*"
•单击go！ *A1TDc$
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场追迹仿真（相机探测器） >p H775I=
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 2eR+dT
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _hyxKrm'
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场追迹仿真（电磁场探测器） k-ex<el)#
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f~" V
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场追迹仿真（电磁场探测器） yDyeP{
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;7n*PBUJJ
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