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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 03$-U0.;-
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 G|MjKe4}
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建模任务 [!1z;
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概述 )NAC9:8!
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |<t Z|
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m} /L MY
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光线追迹仿真 yZ k HBG4
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
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•单击go！ gSLwpIK%
•获得了3D光线追迹结果。 uis ; S)+
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光线追迹仿真 cfI5KLG~#
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $T7hY$2Q l
•单击go！ s 33< }O0
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~um+r],@@
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场追迹仿真 3&i8C,u]/O
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 R7aS{8nn
•单击go！ k#"Pv"
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场追迹仿真（相机探测器） R:= C
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _Y F~DU
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 )US|&>
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场追迹仿真（电磁场探测器） -f?Rr:#
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =uK Gh`^[
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场追迹仿真（电磁场探测器） ,Ie~zZE &
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N{n}]Js1D-
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