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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 <D;Q8
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 h=r <
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建模任务 8;f<q u|w
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概述 C| IQM4
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r9a! ,^}F
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J ~'Q^O3@
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光线追迹仿真 P9mxY*K)%5
V -4*nV
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;@YF} %!+W
•单击go！ )bXx9,VL
•获得了3D光线追迹结果。 UEQ'D9
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[attachment=127810] 4[C BW
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光线追迹仿真 2{]S_. zV
$N+ {r=
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 y_4krY|Zx
•单击go！ ji)4WG /1
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /xm#:+Sc
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场追迹仿真 BOiz ~h6
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {}J@+Zsi
•单击go！ U> _\
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场追迹仿真（相机探测器）
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 yK%GsCJd:
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :OQ:@Yk
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场追迹仿真（电磁场探测器） ]D) ' I`
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K)Xs L
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[attachment=127814] KIAe36.~
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场追迹仿真（电磁场探测器） (&P0la 1
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w^due P7J
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[attachment=127815]
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