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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 K a jyQ"j
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _JXE/
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建模任务 ^m9cEl^:nQ
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概述 \k8_ ZJw
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HmKE>C/
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 xg&vZzcl
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光线追迹仿真 d+;~x*
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AnQRSB (
•单击go！ FS0SGB o
•获得了3D光线追迹结果。 'UKB
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光线追迹仿真 ^q$sCt}
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ijfT!W
•单击go！ #kA+Yqy \)
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t1S\M%?
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场追迹仿真 \uH;ng|m
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $o z
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•单击go！ x.I-z@\E
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场追迹仿真（相机探测器） fsu'W]f
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Fa8>+
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 OLq/OO, w
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场追迹仿真（电磁场探测器） }0
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rz(DZ V
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场追迹仿真（电磁场探测器） pLRHwL.
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z(#a-_ g
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[attachment=127815]
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