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2024-04-11 07:55 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 XC3Kh^
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 Dli^2hD
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[attachment=127808] a!c[!
概述 b~C$R[S
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Zz |MIGHm
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |"$uRV=qm
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[attachment=127809] DV]7.Bm
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光线追迹仿真 TE-;X,gDV_
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =]Hs|{
•单击go！ MY nH2w]
•获得了3D光线追迹结果。 6vf\R*D|A
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[attachment=127810] 1(GHCxA8G
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光线追迹仿真 } i)$n(A)K
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D;F{1[s(
•单击go！ :PnSQjV:
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )yb+M ez
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[attachment=127811] !m{2WW-
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场追迹仿真 W)S jQp6
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {R&ZqEo'D
•单击go！ mg+k'Myo+
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场追迹仿真（相机探测器） fjDpwb:x)
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mKg@W;0ML
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \w )?SVp
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[attachment=127813] < 3 j~=-
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场追迹仿真（电磁场探测器） h <[+HsI
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?Nl"sVCo
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[attachment=127814] cvAtw Q'
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场追迹仿真（电磁场探测器） ~%q7Vmk9
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }NX\~S"
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[attachment=127815]
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