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2024-04-10 07:54 |
白光迈克尔逊干涉仪
1.摘要 <Y"h2#M " =+
vl+h 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 S(
Vssi|y SpJIEw [attachment=127783] 8%Eemk >G{ eJ3;Sd'' 2. 建模任务 Tk~Y ;'i>^zX` [attachment=127784] i8Xz'Sw07 O+ghw1/ 3. 干涉条纹的变化 T6^H%;G fMluVND [attachment=127785] 2Sb68hJIE /kH
7I 4. 走进VirtualLab Fusion }_|qDMk+ ~`Rb"Zn [attachment=127786] ?Jy/]j5fI a,`f`;\7N% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 =tQ^t4_ +.pri [attachment=127787] 1G`zwfmh~ <;P40jDL 6. VirtualLab Fusion 技术 YQN@; H7?Sd(U [attachment=127788]
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