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2024-04-10 07:54 |
白光迈克尔逊干涉仪
1.摘要 5i9Ub|!P / O)6iJ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 =v0~[E4 >'Hx1; [attachment=127783] os**hFPk;1 rzT{-DZB[4 2. 建模任务 yVYkuO z!Hx @){| [attachment=127784] *"T+G*~ TQ-KkH}y 3. 干涉条纹的变化 fIkT"? `M]BhW) [attachment=127785] @C_ =* 4J}3,+ 4. 走进VirtualLab Fusion Tf[dZ(+\ b1)\Zi [attachment=127786] x4 hO$3o #90c$ dc 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 6[+j'pW? (9'be\ [attachment=127787] ,qu:< PWG;&ma 6. VirtualLab Fusion 技术 U8[Qw}T P }4KW@L[g [attachment=127788]
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